1.一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，按质量百分数之和为100%计，所述koh显影液组合物中各组分所占质量百分数为：
2.根据权利要求1所述的一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，所述无机碱为浓度45wt%的电子级氢氧化钾水溶液，其金属杂质含量低于10ppm。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，所述显影增强剂为偏硅酸钾、偏硅酸钠、硼酸、四硼酸钾、四硼酸钠、磷酸、柠檬酸、均苯四甲酸中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，所述表面活性剂为腰果酚席夫碱表面活性剂，其化学结构式为：
5.根据权利要求4所述的一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，所述表面活性剂的制备方法包括以下步骤：
6.根据权利要求1所述的一种集成电路用koh显影液组合物，其特征在于，所述水为电阻率不低于18mω·cm的高纯水。