显微镜头与包括该显微镜头的显微镜系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光学显微技术领域，尤其涉及用于在TFT-LCD领域的阵列基板维修制程中全方位分析和观察被观察对象缺陷的显微镜头以及包括该显微镜头的显微镜系统。
【背景技术】
[0002]在TFT-LCD领域中，通常采用现有阵列基板维修设备中的显微镜系统分析和观察作为被观察对象(例如玻璃基板)的平面图像信息(例如缺陷)。具体地，如图1所示，在现有显微镜系统中，入射光线LI垂直于载物台I通过显微镜头2入射至被观察对象3表面，而反射光线L2则从被观察对象3表面反射回来，再次通过显微镜头2，从而进入照相机(未图示)，以经由光电转换器件在显示器上显示关于被观察对象3表面的图像信息。然而，通过上述观察分析系统和方法，只能得到被观察对象(例如玻璃基板)的平面图像信息，而不能获得其高度、形貌等其他信息，从而无法清晰和全面地辨识被观察对象上的缺陷，进而易造成错判或过判，对良率的准确统计造成影响。更有甚者，会对后续工序设备及工艺造成严重影响。
[0003]因此，业界亟待一种改善后的显微镜头以及包括该显微镜头的显微镜系统。
【发明内容】
[0004]本发明旨在克服或者减轻上述现有使技术中存在的至少一个或多个技术问题。
[0005]因此，本发明的至少一个目的在于提供一种显微镜头，其能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提高良率的准确性。
[0006]而本发明的另一个目的在于提供一种显微镜系统，其能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提高良率的准确性。
[0007]根据本发明的一个方面，本发明提供了一种显微镜头，该显微镜头具有目镜端和物镜端，其中，目镜端的中心轴线和物镜端的中心轴线相交，并且显微镜头还包括设置在目镜端和物镜端之间的反光镜，以使入射光线和/或出射光线在目镜端和物镜端之间经由反光镜的反射而入射和/或出射。
[0008]优选地，反光镜相对于目镜端的中心轴线的倾斜角度被设置成为入射光线的入射角度或出射光线的出射角度的一半。
[0009]优选地，反光镜包括环形反射面，入射光线和/或出射光线经由环形反射面的反射而入射和/或出射。
[0010]优选地，反光镜与目镜端和物镜端彼此独立，或者反光镜与目镜端和物镜端为一体的。
[0011]优选地，显微镜头还包括自带光源，自带光源以围绕方式设置在物镜端内部。
[0012]优选地，自带光源包括自带电源的LED光源或用于引入外部光源的光纤。
[0013]优选地，自带电源为片状电池和/或环状电池。
[0014]根据本发明的另一个方面，本发明提供了一种显微镜系统，该显微镜系统包括:
[0015]用于承载被观察对象的载物台；
[0016]如上所述的显微镜头，用于观察位于载物台上的被观察对象；以及
[0017]显微镜头旋转机构，用于进行显微镜头相对于位于载物台上的被观察对象的360°环形旋转，从而实现对被观察对象的360°全方位观察。
[0018]优选地，显微镜头旋转机构包括环形轨道，显微镜头可移动地设置在环形轨道上。
[0019]优选地，显微镜头通过齿轮机构设置在环形轨道上。
[0020]优选地，显微镜头旋转机构还包括用于驱动显微镜头的驱动电机。
[0021]根据本发明的又一个方面，本发明提供了一种显微镜系统，该显微镜系统包括:
[0022]用于承载被观察对象的载物台；
[0023]如上所述的显微镜头，用于观察位于载物台上的被观察对象；以及
[0024]显微镜头旋转驱动机构，用于使得显微镜头绕其目镜端的中心轴线旋转。
[0025]优选地，显微镜头旋转驱动机构还包括用于驱动显微镜头旋转的驱动电机。
[0026]由上可知，本发明提供的显微镜头和显微镜系统，至少取得了如下技术效果:首先，通过在显微镜头内部设置特定角度反光镜，改变光路，达到特定角度的显微立体观察；其次，通过在显微镜头内部设置光源，起到增强光线的效果；再者，通过在显微镜系统中设置镜头旋转机构，实现显微镜头对被观察对象的360°全方位观察。因此，本发明提供的显微镜头和显微镜系统，能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提高良率的准确性，进而避免对后续工序设备及工艺造成严重影响。
[0027]本发明能够实现的其它发明目的以及可以取得的其它技术效果将在下述的【具体实施方式】中结合对具体实施例的描述和附图的示意进行阐述。
【附图说明】
[0028]为了让本发明的上述和其它目的、特征及优点能更加明显易懂，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步说明。
[0029]图1是传统显微镜系统的工作原理和结构示意图；
[0030]图2是根据本发明一个具体实施例的显微镜系统的工作原理和结构示意图；
[0031]图3是根据本发明另一个具体实施例的显微镜系统的工作原理和结构示意图；
[0032]图4是根据本发明又一个具体实施例的显微镜系统的工作原理和结构示意图；
[0033]图5是根据本发明一个具体实施例的显微镜头的运动轨迹示意图；和
[0034]图6是根据本发明另一个具体实施例的显微镜头的运动轨迹示意图。
【具体实施方式】
[0035]下面详细描述本发明的具体实施例，所述具体实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同的标号表示相同或相似的元件。下面参考附图描述的具体实施例是示例性的，旨在解释本发明，而不能解释为对本发明的一种限制。
[0036]首先，本发明提供了一种显微镜头，可应用于现有技术的显微镜系统中，或者可应用于本发明提供的显微镜系统(参见图2-4，将在下面进行详述)中，用于在TFT-LCD领域的阵列基板维修制程中全方位地分析和观察被观察对象(如玻璃基板)上的缺陷。
[0037]以图2所示的显微镜系统为例，本发明提供了一种显微镜头20，该显微镜头20具有目镜端21和物镜端22，其中，目镜端21的中心轴线和物镜端22的中心轴线相交，并且显微镜头20还包括设置在目镜端21和物镜端22之间的反光镜40，以使入射光线LI和/或出射光线L2在目镜端21和物镜端22之间经由反光镜40的反射而入射和/或出射。也就是说，本发明提供的显微镜头20中，目镜端21和物镜端22之间采用了相对倾斜的布置方式来取代现有技术中直线形式的布置方式，同时在显微镜头20中还设置有特定角度的反光镜40。这样，可以将反射光线L2按预定角度光路返回且增加反射光强度。具体地，反光镜40相对于目镜端21的中心轴线的倾斜角度被设置成为入射光线LI的入射角度或者出射光线L2的出射角度的一半。例如，在如图2所示的具体实施例中，相对于目镜端21的中心轴线，入射光线LI的入射角或者出射光线L2的出射角为60°，相应地，反射镜40的倾斜角度则为30°。又例如，在其它实施例中，相对于目镜端21的中心轴线，若入射光线LI的入射角或者出射光线L2的出射角为45°，相应地，反射镜40的倾斜角度则为22.5°。这样，根据本发明，以上述方式设置的显微镜头20，通过在显微镜头内部设置特定角度的反光镜，改变光路，达到特定角度的显微立体观察。因此，本发明提供的显微镜头，能够全方位地分析和观察被观察对象(如玻璃基板)上的缺陷，从而改善对被观察对象上的缺陷的观察和识别，提高良率的准确性，进而避免对后续工序设备及工艺造成严重影响。
[0038]根据本发明的优选实施例，反光镜40可以包括环形反射面，其中，入射光线LI和/或出射光线L2可经由环形反射面的反射而入射和/或出射。这样，可以在改变光路的同时，增加反射光强度。值得一提的是，这里所描述的环形反射面可以是任意构造或形态的反射面，只要其能够实现对入射光线和出射光线的反射即可。
[0039]根据本发明，在如图2所示的本发明的一个具体实施例中，反光镜40设置在显微镜头20的内部，并且与显微镜头20的目镜