端21和物镜端22形成为一体的。这种设计能够最优地节省显微镜头的空间，简化其结构，从而能够以最简易地方式将结合有反光镜40的显微镜头20以整体组件形式适用于本发明提供的显微镜系统或者其他类似场合，从而实现更加方便和更加广泛的应用。可选地，在本发明的其它实施例中，反光镜可以与显微镜头的目镜端和物镜端彼此独立。此时，反光镜可以设置在显微镜头的外部。这种设计能够灵活地处置反光镜，实现显微镜头结合反光镜和显微镜头不结合反光镜的双重应用，从而在一定程度上降低显微镜头的使用成本。
[0040]图3显示了根据本发明的另一个具体实施例的一种显微镜头，而图4显示了根据本发明的又一个具体实施例的一种显微镜头，它们与图2所示的显微镜头大致相同。然而，与图2所示的显微镜头的具体实施例不同之处在于，在图3和图4所示的具体实施例中，显微镜头20还包括自带光源50，其中，自带光源50以围绕方式设置在显微镜头20物镜端22内部。这样，不仅可以方便显微镜头作为整体组件使用，而且还可以增强反射光强度。进一步地，在图3所示的具体实施例中，自带光源50可以包括自带电源的LED光源，其中，自带电源可以为片状电池和/或环状电池。而在4所示的具体实施例中，自带光源50还可以包括用于引入外部光源(未图示)的光纤60，从而将外部光源引入显微镜头中。这样，本发明提供的显微镜头20，不仅可以采用现有设计中原有光源，而且还可以采用显微镜头20自带的光源，从而提高本发明提供的显微镜头20的使用灵活性，并且能够提高反射光强度。
[0041]与此同时，本发明还相应地提供了一种显微镜系统。如图2-4所示，该显微镜系统包括:用于承载被观察对象(例如玻璃基板)30的载物台10 ;用于观察位于载物台10上的被观察对象30的如前所述的显微镜头20 ;以及显微镜头旋转机构，该显微镜头旋转机构用于进行显微镜头20相对于位于载物台10上的被观察对象30的360°环形旋转，从而实现对被观察对象30的360°全方位观察。
[0042]如图6所示，显微镜头旋转机构包括环形轨道70，显微镜头20可移动地设置在环形轨道70上。优选地，显微镜头20可以通过齿轮机构(未图示)设置在环形轨道70上；当然，这里所指的齿轮机构可以是能够实现显微镜头相对于环形轨道移动的任何适宜的运动机构。还优选地，显微镜头旋转机构还可以包括用于驱动显微镜头20的驱动电机(未图示)；当然，这里所指的驱动电机可以是能够实现显微镜头相对于环形轨道移动的任何适宜的驱动源，例如微型伺服电机。
[0043]需要指出的是，本发明提供的显微镜系统中，可以通过至少以下两种方式完成显微镜头20相对于位于载物台10上的被观察对象30的360°环形旋转。第一种方式如图5所示，以显微镜头20的目镜端21的中心轴线为轴心，使得显微镜头20绕其目镜端21的中心轴线旋转，从而实现对位于载物台10上的被观察对象30的360°的观察。具体地，在图5所示的方式中，通过配置成使得显微镜头20绕其目镜端21的中心轴线旋转的显微镜头旋转驱动机构驱动显微镜头的旋转。进一步地，显微镜头旋转驱动机构包括用于驱动所述显微镜头旋转的驱动电机。第二种方式如图6所示，在显微镜系统中提供环形轨道70，使得包括目镜端21的显微镜头围绕环形轨道70的中心(通常为被观察对象30的放置位置)进行360°旋转，从而实现对位于载物台10上的被观察对象30的360°的观察。当然，本发明提供的显微镜系统中，第二种方式是优选的。进一步地，通过上述的显微镜头旋转机构，结合前面所述的显微镜头中反射镜的不同特定角度(例如，30°、45°、60°等)的设计，可以实现对被观察对象30的360°全方位的观察。
[0044]由上可知，本发明提供的显微镜系统，首先，通过在显微镜头内部设置特定角度反光镜，改变光路，达到特定角度的显微立体观察；其次，通过在显微镜头内部设置光源，起到增强光线的效果；再者，通过在显微镜系统中设置镜头旋转机构，实现显微镜头对被观察对象的360°全方位观察。因此，本发明提供的显微镜头和显微镜系统，能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提尚良率的准确性，进而避免对后续工序设备及工艺造成严重影响。
[0045]上述本发明的具体实施例仅例示性的说明了本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明，熟知本领域的技术人员应明白，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，对本发明所作的任何改变和改进都在本发明的范围内。本发明的权利保护范围，应如本申请的申请专利范围所界定的为准。
【主权项】
1.一种显微镜头，所述显微镜头具有目镜端和物镜端，其特征在于，所述目镜端的中心轴线和所述物镜端的中心轴线相交，并且所述显微镜头还包括设置在所述目镜端和所述物镜端之间的反光镜，以使入射光线和/或出射光线在所述目镜端和所述物镜端之间经由所述反光镜的反射而入射和/或出射。
2.根据权利要求1所述的显微镜头，其特征在于， 所述反光镜相对于所述目镜端的中心轴线的倾斜角度被设置成为入射光线的入射角度或出射光线的出射角度的一半。
3.根据权利要求1所述的显微镜头，其特征在于， 所述反光镜包括环形反射面，入射光线和/或出射光线经由所述环形反射面的反射而入射和/或出射。
4.根据权利要求1所述的显微镜头，其特征在于， 所述反光镜与所述目镜端和所述物镜端彼此独立，或者所述反光镜与所述目镜端和所述物镜端为一体的。
5.根据权利要求1所述的显微镜头，其特征在于， 所述显微镜头还包括自带光源，所述自带光源以围绕方式设置在物镜端内部。
6.根据权利要求5所述的显微镜头，其特征在于， 所述自带光源包括自带电源的LED光源或用于弓I入外部光源的光纤。
7.根据权利要求6所述的显微镜头，其特征在于， 所述自带电源为片状电池和/或环状电池。
8.一种显微镜系统，其特征在于，所述显微镜系统包括: 用于承载被观察对象的载物台； 如权利要求1至7任一项所述的显微镜头，用于观察位于所述载物台上的被观察对象；以及 显微镜头旋转机构，用于进行所述显微镜头相对于位于所述载物台上的被观察对象的360°环形旋转，从而实现对被观察对象的360°全方位观察。
9.根据权利要求8所述的显微镜系统，其特征在于， 所述显微镜头旋转机构包括环形轨道，所述显微镜头可移动地设置在所述环形轨道上。
10.根据权利要求9所述的显微镜系统，其特征在于， 所述显微镜头通过齿轮机构设置在所述环形轨道上。
11.根据权利要求9所述的显微镜系统，其特征在于， 所述显微镜头旋转机构还包括用于驱动所述显微镜头的驱动电机。
12.—种显微镜系统，其特征在于，所述显微镜系统包括: 用于承载被观察对象的载物台； 如权利要求1至7任一项所述的显微镜头，用于观察位于所述载物台上的被观察对象；以及 显微镜头旋转驱动机构，用于使得显微镜头绕其目镜端的中心轴线旋转。
13.根据权利要求12所述的显微镜系统，其特征在于， 所述显微镜头旋转驱动机构还包括用于驱动所述显微镜头旋转的驱动电机。
【专利摘要】本发明提供了一种显微镜头，所述显微镜头具有目镜端和物镜端，其中，所述目镜端的中心轴线和所述物镜端的中心轴线相交，并且所述显微镜头还包括设置在所述目镜端和所述物镜端之间的反光镜，以使入射光线和/或出射光线在所述目镜端和所述物镜端之间经由所述反光镜的反射而入射和/或出射。同时，本发明还提供了一种包括上述显微镜头的显微镜系统。通过本发明提供的显微镜头和显微镜系统，能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别，从而提高良率的准确性。
【IPC分类】G02B21-06, G02F1-13, G02B21-00, G02B21-04
【公开号】CN104765137
【申请号】CN201510203492
【发明人】郭兴奎, 王海涛, 翟建刚
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年4月24日