感光树脂组合物、图案形成方法及利用该组合物及方法的液晶显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种感光树脂组合物、图案形成方法及利用该组合物及方法的液晶显 示装置。
【背景技术】
[0002] 一般来说，平板显示装置是当前广泛使用的显示装置，具有液晶显示装置化iquid Ciystaldisplay;LCD)和有机发光显示装置（OrganicIi曲temittingdisplay;0LED) 等各种类型。
[0003] 在形成运种平板显示装置时，为了对膜进行构图，可W采用光刻工序，而在此时使 用光阻剂物质。或者，也可W对光阻剂物质进行曝光及显影而直接形成膜。
[0004] 可使用运种光阻剂来形成绝缘膜、柱形间隔体、保护层和色滤层，而根据用于形成 光阻剂的感光树脂组合物的成分结构，清晰度、粘合力和残膜率等受到影响。
【发明内容】
[0005] 本发明所要解决的课题是提供一种感光树脂组合物及利用该组合物的图案形成 方法，该组合物的敏感度、透射度和耐药品性等性能优异。
[0006] 此外，本发明所要解决的课题是提供一种液晶显示装置，该液晶显示装置在形成 显示装置的有机膜时，不会产生泛红巧eddish)缺陷或泛绿（Greenish)缺陷。
[0007] 本发明的一实施例的感光树脂组合物包含：使i)不饱和簇酸、不饱和簇酸酢或其 混合物和ii)締控类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙締酸类共聚物；由酸解性乙缩 醒或缩酬基保护酪径基的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。
[0008] 所述阻溶剂可由W下化学式1表示。
[0009]
化学式I
[0010] 其中，所述化学式I包含4, 4' -[I-[4-[I-[4-径苯基]-I-甲基乙基]苯基]乙撑] 双酪，Ri为径基或甲基，X1及X2分别独立地为氨、烷基或芳基，X3为烷基或芳基，或者X1或 Xz与X3连接而形成环状酸。
[0011] 所述光致酸生成剂可由W下化学式2表示。
[0012] 化学成2
[0013] 其中，所述化学式2中的X为訊Fe。
[0014] 使i)所述不饱和簇酸、所述不饱和簇酸酢或其混合物5重量份~40重量份和ii) 所述締控类不饱和化合物或其混合物60重量份~95重量份共聚，并去除未反应单体后得 到的所述丙締酸类共聚物的含量可为100重量份，所述阻溶剂的含量可为5重量份~50重 量份，所述硫盐光致酸生成剂可为0.Ol重量份~10重量份，所述溶剂可为10重量份~90 重量份。
[0015] 所述不饱和簇酸、所述不饱和簇酸酢或其混合物可包含选自丙締酸、甲基丙締酸、 马来酸、富马酸、巧康酸、中康酸（mesaconicacid)、衣康酸及其酢中的至少一种物质。
[0016] 所述締控类不饱和化合物可包含选自甲基丙締酸甲醋、甲基丙締酸乙醋、甲基丙 締酸正下醋、甲基丙締酸仲下醋、甲基丙締酸叔下醋、丙締酸甲醋、丙締酸异丙醋、甲基丙締 酸环己醋、甲基丙締酸2-甲基环己醋、丙締酸二环戊締醋、丙締酸二环戊烧醋、甲基丙締酸 二环戊締醋、甲基丙締酸二环戊烧醋、丙締酸1-金刚烧醋、甲基丙締酸1-金刚烧醋、甲基丙 締酸二环戊烷基氧基乙醋、甲基丙締酸异冰片醋、丙締酸环己醋、丙締酸2-甲基环己醋、丙 締酸二环戊烷基氧基乙醋、丙締酸异冰片醋、甲基丙締酸苯醋、丙締酸苯醋、丙締酸节醋、甲 基丙締酸2-径基乙醋、苯乙締、邻甲基苯乙締、间甲基苯乙締、对甲基苯乙締、乙締基甲苯、 对甲氧基苯乙締、1，3-下二締、异戊二締、2, 3-二甲基1，3-下二締、丙締酸缩水甘油醋、甲 基丙締酸缩水甘油醋、a-乙基丙締酸缩水甘油醋、a-正丙基丙締酸缩水甘油醋、a-正下 基丙締酸缩水甘油醋、丙締酸-e-甲基缩水甘油醋、甲基丙締酸-e-甲基缩水甘油醋、丙 締酸-0 -乙基缩水甘油醋、甲基丙締酸-0 -乙基缩水甘油醋、丙締酸-3, 4-乙氧基下醋、 甲基丙締酸-3, 4-乙氧基下醋、丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、甲基丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、 a-乙基丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、邻乙締基苄基缩水甘油酸、间乙締基苄基缩水甘油酸、 对乙締基苄基缩水甘油酸W及甲基丙締酸3, 4-乙氧基环己醋中的至少一种物质。
[0017] 所述丙締酸类共聚物的由聚苯乙締换算的重均分子量可为3000~30000。
[0018] 所述阻溶剂可由W下化学式1表示，且在所述阻溶剂中，可由酸解性乙缩醒或缩 酬基W90 %W上的取代率取代所述酪径基。
[0019]
化学式1
[0020] 其中，所述化学式1包含4, 4' -[ 1-[4-[ 1-[4-径苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙撑] 双酪，Ri为径基或甲基，X1及X2分别独立地为氨、烷基或芳基，X3为烷基或芳基，或者X1或 Xz与X3连接而形成环状酸。
[0021] 所述光致酸生成剂可包含选自重氮盐类、憐盐类、硫盐类、酷亚胺横酸醋类、目亏横 酸醋类、重氮二讽类、二讽类、邻硝基苄基横酸醋类的rthonitrobenz^Sulfonate)及经 面化的=嗦类化合物中的至少一种物质。
[0022] 本发明的一实施例的液晶显示装置包含使用感光树脂组合物而形成的绝缘膜。
[0023] 所述液晶显示装置可进一步包含：基板；和位于所述基板上的薄膜晶体管，并且 在所述薄膜晶体管上配置有所述绝缘膜，且配置有位于所述绝缘膜上的像素电极。
[0024] 所述绝缘膜可包含接触孔，通过所述接触孔，所述薄膜晶体管的一端子和所述像 素电极连接。
[0025] 本发明的一实施例的图案形成方法包含步骤：在基板上涂布感光树脂组合物；和 对所述感光树脂组合物进行曝光及显影，所述感光树脂组合物包含：使i)不饱和簇酸、不 饱和簇酸酢或其混合物和ii)締控类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙締酸类共聚 物；由酸解性乙缩醒基或缩酬基取代酪径基而形成的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。
[00%] 所述阻溶剂可由W下化学式1表示。
[0027] 化学式1
[0028] 其中，所述化学式1包含4, 4' -[ 1-[4-[ 1-[4-径苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙撑] 双酪，Ri为径基或甲基，X1及X2分别独立地为氨、烷基或芳基，X3为烷基或芳基，或者X1或 Xz与X3连接而形成环状酸。
[0029] 所述光致酸生成剂可由W下化学式2表示。
[0030]
化学或:2
[0031] 其中，在所述化学式2中X为訊Fe。
[0032] 使i)所述不饱和簇酸、所述不饱和簇酸酢或其混合物5重量份~40重量份和ii) 所述締控类不饱和化合物或其混合物60重量份~95重量份共聚，并去除未反应单体后得 到的所述丙締酸类共聚物的含量可为100重量份，所述阻溶剂的含量可为5重量份~50重 量份，所述硫盐光致酸生成剂可为0.Ol重量份~10重量份，所述溶剂可为10重量份~90 重量份。
[0033] 如此根据本发明的一实施例，使用新型感光树脂组合物，能够形成防止泛红 (Reddish)缺陷或泛绿（Greenish)缺陷的同时敏感度、透射度和耐药品性等特性优异的有 机膜。
【附图说明】
[0034] 图1为示出本发明的一实施例的显示装置的俯视图。 阳03引图2为图1的II-II向剖视图。
【具体实施方式】
[0036] 参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明。但本发明并不限于在此说明的实 施例，而能具体化为其他形式。相反，在此介绍的实施例是为了使所公开的内容更加彻底而 完整，并且向本领域的技术人员能够充分传递本发明的思想而提供的。
[0037] 为了清楚起见，图中的层及区域的厚度有所夸张。此外，当提到某层在另一层或基 板"上"时，可W表示该层直接形成在另一层或基板的上面，也可W表示它们之间设置有第 =层。在说明书全文中用相同的附图标记表示的部分表示相同的结构要素。
[0038] 本发明的一实施例的感光树脂组合物包含：使i)不饱和簇酸、不饱和簇酸酢或其 混合物和ii)締控类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙締酸类共聚物；由酸解性乙缩 醒基或缩酬基取代酪径基而形成的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。
[0039] 在本实施例中，阻溶剂可由W下化学式1表示。
[0040]
化学式1
[0041] 其中，所述化学式1包含4, 4' -[ 1-[4-[ 1-[4-径苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙撑] 双酪，Ri为径基或甲基，X1及X2分别独立地为氨、烷基或芳基，X3为烷基或芳基，或者X1或 Xz与X3连接而形成环状酸。环状酸优选为四氨化喃基或四氨巧喃基。
[0042] 阻溶剂优选为由酸解性乙缩醒或缩酬基