W90%W上的取代率取代酪径基而成的。 当乙缩醒或缩酬基对酪径基的取代率低于90%时，非曝光区对显影液的耐药品性下降，会 产生显影之后残膜率下降的问题。
[0043] 在本实施例中，光致酸生成剂可由W下化学式2表示。
[0044] 化学式2 W45] 其中，所述化学式2中的X为訊Fe。
[0046] 在本实施例中，丙締酸类共聚物为碱溶性树脂，通过使不饱和簇酸、不饱和簇酸酢 及其混合物中的至少一种物质和締控类不饱和化合物共聚而形成。此外，丙締酸类共聚 物可通过将i)不饱和簇酸、不饱和簇酸酢或其混合物和ii)締控类不饱和化合物作为单 体，在溶剂和聚合引发剂的存在下进行自由基反应而合成之后，通过沉淀、过滤及真空干燥 (VacuumD巧ing)工序来去除未反应单体而获得。
[0047] 在本实施例中，不饱和簇酸、不饱和簇酸酢及其混合物中的至少一种物质可包含 选自丙締酸、甲基丙締酸、马来酸、富马酸、巧康酸、中康酸、衣康酸及其酢中的至少一种物 质。其中，当使用丙締酸、甲基丙締酸、马来酸酢时，在共聚反应性和对于作为显影液的碱水 溶液的溶解性方面上更加优选。
[0048] 相对于单体总量，可包含5重量份~40重量份的不饱和簇酸、不饱和簇酸酢及其 混合物中的至少一种物质。当少于5重量份时，存在难W溶解于碱水溶液中的问题；当超过 40重量份时，存在对碱水溶液的溶解性过大的问题。
[0049] 在本实施例中，締控类不饱和化合物可包含选自甲基丙締酸甲醋、甲基丙締酸 乙醋、甲基丙締酸正下醋、甲基丙締酸仲下醋、甲基丙締酸叔下醋、丙締酸甲醋、丙締酸异 丙醋、甲基丙締酸环己醋、甲基丙締酸2-甲基环己醋、丙締酸二环戊締醋、丙締酸二环戊 烧醋、甲基丙締酸二环戊締醋、甲基丙締酸二环戊烧醋、丙締酸1-金刚烧醋、甲基丙締酸 1-金刚烧醋、甲基丙締酸二环戊烷基氧基乙醋、甲基丙締酸异冰片醋、丙締酸环己醋、丙締 酸2-甲基环己醋、丙締酸二环戊烷基氧基乙醋、丙締酸异冰片醋、甲基丙締酸苯醋、丙締酸 苯醋、丙締酸节醋、甲基丙締酸2-径基乙醋、苯乙締、邻甲基苯乙締、间甲基苯乙締、对甲基 苯乙締、乙締基甲苯、对甲氧基苯乙締、1, 3-下二締、异戊二締、2, 3-二甲基1, 3-下二締、 丙締酸缩水甘油醋、甲基丙締酸缩水甘油醋、a-乙基丙締酸缩水甘油醋、a-正丙基丙 締酸缩水甘油醋、a-正下基丙締酸缩水甘油醋、丙締酸-0 -甲基缩水甘油醋、甲基丙締 酸-e-甲基缩水甘油醋、丙締酸-e-乙基缩水甘油醋、甲基丙締酸-e-乙基缩水甘油醋、 丙締酸-3, 4-乙氧基下醋、甲基丙締酸-3, 4-乙氧基下醋、丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、甲基 丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、a-乙基丙締酸-6, 7-乙氧基庚醋、邻乙締基苄基缩水甘油酸、 间乙締基苄基缩水甘油酸、对乙締基苄基缩水甘油酸W及甲基丙締酸3, 4-乙氧基环己醋 中的至少一种物质。
[0050] 其中，相对于单体总量，优选包含60重量份~95重量份的締控类不饱和化合物。 当其含量少于60重量份时，存在清晰度和耐热性下降的问题；当超过95重量份时，存在丙 締酸类共聚物难W溶解于作为显影液的碱水溶液中的问题。
[0051] 为了将如上所述单体溶液聚合（solutionpolymerization)而使用的溶剂可使用 甲醇、四径基巧喃、甲苯或二氧六环等。
[0052] 为了将如上所述单体溶液聚合而使用的聚合引发剂可使用自由基聚合引发剂， 具体可使用2, 2-偶氮二异下腊、2, 2-偶氮二化4-二甲基戊腊）、2, 2-偶氮二（4-甲氧 基-2, 4-二甲基戊腊）、1，1-偶氮二（环己烧-1-甲腊）或2, 2' -偶氮二异下酸二甲醋等。
[0053] 在溶剂和聚合引发剂的存在下，使如上所述单体进行自由基反应，并通过沉淀、过 滤及真空干燥（VacuumDrying)工序来去除未反应单体而获得丙締酸类共聚物，所述丙締 酸类共聚物的由聚苯乙締换算的重均分子量（Mw)优选为3, 000~30, 000。当有机绝缘膜 的所述由聚苯乙締换算的重均分子量小于3, 000时，存在显影性和残膜率等下降或图案显 影及耐热性等下降的问题；当有机绝缘膜的由聚苯乙締换算的重均分子量超过30, 000时， 存在图案显影下降的问题。
[0054] 下面，对本发明的一实施例的感光树脂组合物的具体实施例及比较例进行说明。 阳化引 巧備酸类共聚物的制备
[0056] 连施俩I1-1
[0057] 在具备冷凝器和揽拌机的化烧杯中加入2, 2'-偶氮二化4-二甲基戊腊）10重 量份、丙二醇单甲酸乙酸醋200重量份、甲基丙締酸20重量份、甲基丙締酸缩水甘油醋25 重量份、甲基丙締酸径基乙醋35重量份及苯乙締20重量份，并且取代氮之后进行缓慢的揽 拌。将此时获得的反应溶液升溫至65°C后将此溫度保持五小时W制备包含丙締酸类共聚物 的聚合物。之后，将停止聚合的烧杯的溫度降低至18°C之后，用500重量份的正己烧进行沉 淀而获得沉淀物并进行过滤。将通过过滤获得的沉淀物85重量份放入作为溶剂的丙二醇 单甲酸丙酸醋中，并使得沉淀物的含量为45重量％，W获得丙締酸类共聚物。通过凝胶渗 透色谱法（GPC)测量所获得聚合物溶液的丙締酸类聚合物的重均分子量（Mw)。
[0058] 在凝胶渗透色谱法测量中，色谱柱使用KF-801、KF-802、KF-803,并且流速为Iml/ 分钟，洗脱（elution)溶剂为四氨巧喃灯HF),色谱柱溫度为40°C，测量仪为差动式折射计， 在上述条件下通过凝胶渗透色谱法测量的重均分子量（Mw)为11,000。此时，重均分子量 (Mw)为使用GPC来测量的单分散型聚苯乙締换算平均分子量。 阳化9] 连施俩I1-2 W60] 在所述实施例1-1中，加入甲基丙締酸20重量份、甲基丙締酸缩水甘油醋10重量 份、甲基丙締酸径基乙醋50重量份及苯乙締20重量份，并且取代氮之后进行缓慢的揽拌。 将所述反应溶液升溫至65°C后将此溫度保持五小时W制备包含丙締酸类共聚物的聚合物。 之后的工序与实施例1-1相同地进行，W获得重均分子量为11，000的丙締酸共聚物。
[0061]连施俩I1-3
[0062] 在所述实施例1-1中，加入甲基丙締酸20重量份、甲基丙締酸缩水甘油醋10重量 份、甲基丙締酸径基乙醋50重量份及苯乙締20重量份，并且取代氮之后进行缓慢的揽拌。 将所述反应溶液升溫至65°C后将此溫度保持五小时W制备包含丙締酸类共聚物的聚合物。 之后的工序与实施例1-1相同地进行，W获得重均分子量为22,OOO的丙締酸共聚物。
[0063] 附溶剂的合成
[0064]连施俩I2-1
[0065] 在具备冷凝管和揽拌机的化烧杯中加入丙酬200重量份、由化学式1表示的酪径 基100重量份、酸1重量份及胺0. 5重量份之后，缓慢地滴入乙基乙締酸单体60重量份，滴 入完毕后进行一小时的反应。在反应一小时后进行常溫冷却，之后使用超纯水进行=次分 步提纯并进行真空蒸馈，从而合成酪径基被乙缩醒单体取代90%而成的阻溶剂。
[0066] 化学式1
[0067] 化学放大巧巿巧威化树胎紀合物的制备
[0068]连施俩I3-1 牵 3-12
[0069] 将包含所述实施例1-1至1-3中制备的丙締酸类共聚物的聚合物溶液100重量 份、在所述实施例2-1中制备的阻溶剂20~30重量份和由W下化学式2表示的光致酸生 成剂1重量份或3重量份混合，W制备W下实施例3-1至3-12的感光树脂组合物。在所述 混合物中加入二乙二醇二甲酸W溶解所述混合物之后，用0. 2um的微孔滤膜进行过滤，W 制备化学放大型正型感光树脂组合物涂布溶液。
[0070] 化学式2
[0071] 其中，所述化学式2中的X为訊Fe。 W72] 实施例表
[0073]
123456789101112 比巧连施例1 (巿巧威化树胎紀合物的制备） 2
[00巧]将包含所述实施例1-1中制备的丙締酸类共聚物的聚合物溶液100重量份、 1,2-酿二叠氮 5-横酸醋（1,2-quinonediazide5-sulfonicacidester)化合物 30 重量 份混合而制备感光树脂组合物。在所述混合物中加入二乙二醇二甲酸W溶解所述混合物之 后，用0. 2um的微孔滤膜进行过滤，W制备正型感光树脂组合物涂布溶液。 3 比巧连施例2 (巿巧威化树胎紀合物的制备） 4 除了使用包含所述实施例1-2中制备的丙締酸类共聚物的聚合物溶液100重量份 之外，通过与比较实施例1相同的方式制备正型感光树脂组合物涂布溶液。 5 比巧连施例3 (巿巧威化树胎紀合物的制备） 6 除了使用包含所述实施例1-3中制备的丙締酸类共聚物的聚合物溶液100重量份 之外，通过与比较实施例1相同的方式制备正型感光树脂组合物涂布溶液。 7 使用