一种制备高熵钎料合金的多边形装置的制作方法

文档序号:20062432发布日期:2020-03-06 08:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:包括真空腔室(7),所述真空腔室为多边形,在真空腔室内壁上均设置有磁场发生机构(8),在磁场发生机构(8)的内侧还设置有靶材(3),所述真空腔室底部有中心柱,真空腔室底板和中心柱构成基底(5);

还包括直流电源(12),直流电源的负极与靶材连接,直流电源的阳极与基底的中心柱连接,直流电源还与控制系统连接,;

还包括转动机构(17),转动机构套设在基底的中心柱上,且转动机构通过变频器(14)与控制系统(13)连接,在真空腔室内设置压力传感器(16),压力传感器与控制系统连接;

还包括真空调节系统,真空调节系统包括与真空腔室连通的高压气体存储装置(1),和抽气泵(10),抽气泵通过排气管道(9)与真空腔室连通,高压气体存储装置通过进气管道(2)与真空腔室连通,高压气体存储装置和抽气泵均与控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述靶材的长度小于磁场发生机构。

3.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述相邻磁场发生机构连接处对应的基底上设置有磁力搅拌装置(6),磁力搅拌装置与控制系统连接。

4.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述高压气体存储装置为高压co2存储装置。

5.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述真空腔室的真空度(0.5~2)×10-2

6.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述控制系统为计算机或工控机。

7.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述旋转机构包括套在中心柱上的从动轮和电机,电机与变频器连接,电机输出轴上的主动轮与从动轮啮合。

8.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述磁力发生器包括两个n极和夹设在两个n极内的s极,磁力发生器为长条状,对应的靶材也是条状。

9.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述磁力搅拌装置的电机与控制系统连接。

10.根据权利要求1所述的制备高熵钎料合金的多边形装置,其特征在于:所述真空腔室为至少六边形。

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