1.一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）取单质铜粉、单质铟和单质镓按摩尔比30～70：20～50：10～30配料，所述的单质铜粉由粒径1～100 μm的铜颗粒组成；
（2）准备一设备，该设备包括熔炼炉和送粉器，所述的熔炼炉的炉体周围绕设有加热线圈，所述的熔炼炉的炉体的底壁开设有出液孔，所述的送粉器设置在所述的熔炼炉的炉体的下部，所述的送粉器上安装有多个喷嘴，所述的多个喷嘴环绕所述的熔炼炉的炉体的底壁设置；
（3）将单质铟和单质镓置于熔炼炉的炉体内，接通加热线圈的电源，对炉体加热，使单质铟和单质镓受热熔化为可流动的熔体，搅拌熔体后，通过高压泵对熔体的液面加压，使熔体自出液孔流出，形成液流，与此同时，送粉器工作，向送粉器内通入带压力载气，所述的载气内加有所述的单质铜粉，通过所述的载气将所述的单质铜粉送入所述的多个喷嘴内，使所述的单质铜粉连同载气一起从多个喷嘴中喷出，形成气流，喷出的气流撞击所述的液流，各个铜颗粒的外表分别由液态铟镓熔液包覆，形成合金颗粒；
（4）得到的合金颗粒经模压成型或者3D打印直接形成平面靶材或者旋转靶材。
2.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于所述的出液孔的孔径为0.5～2 mm。
3.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于所述的熔炼炉的炉体为上大下小的锥形。
4.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于步骤（3）中，炉体的加热温度为30～350 ℃。
5.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于步骤（3）中，经高压泵加压后，熔体的液面所受压力为0.1～10 MPa，熔体自出液孔流出的流量为0.01～5 L/min。
6.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于步骤（3）中，混有所述的单质铜粉的载气送向所述的多个喷嘴的流量为0.01～5 L/min。
7.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于所述的载气为氩气或者氮气，所述的载气的气体压力为0.8～30 MPa。
8.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于步骤（3）中，所述的液流与所述的气流间的夹角为20～90°。
9.根据权利要求1所述的一种铜铟镓合金靶材的制备方法，其特征在于所述的合金颗粒的粒径D50为5～150 μm。