一种特殊角度硅靶材的生产方法与流程

本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种特殊角度硅靶材的生产方法。

背景技术：

普通平面靶材在加工特殊角度或控制精度倒角时，其生产难度在于其普通平面磨床不能掉转角度，龙门磨床不方面小件加工，利用加工中心等数控机床刀具问题难解决，利用电火花加工粗糙度底，硅材料由于脆性大，机械加工成为难点，目前传统方式采用普通倒角机进行45度角加工，效率低，加工精度难控制，崩边严重，无法完成其他角度的的加工，更无法完成所需角度的精度的控制。

技术实现要素：

为克服现有技术的不足，本发明提供一种特殊角度硅靶材的生产方法。本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式。

所述一种特殊角度硅靶材的生产方法，具体包括以下步骤：

第一步：将普通方形靶材按照传统的标准靶材生产工艺进行加工；

第二步：将加工成的标准靶材进行倒角处理，特殊角度边不进行倒角处理；

第三步：将正弦吸盘在磨床上找正，根据所要加工的角度按公式H＝L×sina算出所垫块规的高度，其中：H为块规高度，L为两正弦柱中心距，把计算好的块规放到吸盘下面后的正弦柱下垫正，按照三角函数，调整为所需加工角度；

第四步：用精密口钳将标准方靶进行固定，固定于正弦吸盘进行找正；

第五步：用磨床按照平面加工方式计算出图纸所需尺寸进行研磨；

第六步：将方形靶进行清洗，按图纸检验，形成特殊角度硅靶材产品。

所述所要加工的角度a为0—60度。

所述最终加工出的特殊角度硅靶材的加工误差在+0.1mm,粗糙度小于1.6。

本发明产品精度由+0.3mm提高到+0.1mm；粗糙度由Ra>3.2提高到<1.6；综合成本降低30％以上，有效避免多工序加工导致的崩边崩角硅片出成率可到90％以上；生产角度由单一45度，增加到0—60度，极大的延伸了异性靶材特殊角度加工范围。

附图说明

图1为本发明的工艺流程图。

图2为本发明正弦吸盘找正原理示意图。

图中：1-正弦吸盘，2、方形靶。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步说明，但本发明并不限于具体实施例。

实施例1

一种特殊角度硅靶材的生产方法，将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式，具体包括以下步骤：

第一步：将普通方形靶材按照传统的标准靶材生产工艺进行加工；

第二步：将加工成的标准靶材进行倒角处理，特殊角度边不进行倒角处理；

第三步：将正弦吸盘在磨床上找正，所要加工的角度为60度，如图2所示，根据所要加工的角度a按公式H＝L×sina算出所垫块规的高度，其中：H为块规高度，L为两正弦柱中心距，图中虚线部分为实际使用尺寸，把计算好的块规放到吸盘下面后的正弦柱下垫正，按照三角函数，调整为所需加工角度；

第四步：用精密口钳将标准方靶进行固定，固定于正弦吸盘进行找正；

第五步：用磨床按照平面加工方式计算出图纸所需尺寸进行研磨；

第六步：将方形靶进行清洗，按图纸检验，形成特殊角度硅靶材产品。

最终加工出的特殊角度硅靶材的加工误差在+0.1mm,粗糙度为1.5。

实施例2

本实施例中所述的一种特殊角度硅靶材的生产方法的各步骤均与实施例1中相同，不同的技术参数为：所要加工的角度为45度；最终加工出的特殊角度硅靶材的粗糙度为1.4。

实施例3

本实施例中所述的一种特殊角度硅靶材的生产方法的各步骤均与实施例1中相同，不同的技术参数为：所要加工的角度为30度；最终加工出的特殊角度硅靶材的粗糙度为1.0。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征，本领域的技术人员应该了解本发明不受上述实施例的限制，上述的实施例和说明书描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书和等效物界定。