技术总结
本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种特殊角度硅靶材的生产方法。该方法将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工。本发明产品精度由±0.3mm提高到±0.1mm；粗糙度由Ra>3.2提高到<1.6；综合成本降低30％以上，有效避免多工序加工导致的崩边崩角硅片出成率可到90％以上；生产角度由单一45度，增加到0—60度，极大的延伸了异性靶材特殊角度加工范围。
技术研发人员：张磊;陈良杰;张晓峰;顾正;郭校亮
受保护的技术使用者：青岛蓝光晶科新材料有限公司
文档号码：201710004418
技术研发日：2017.01.04
技术公布日：2017.05.31