一种PECVD载板安装检测平台的制作方法

文档序号:13602032阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PECVD载板安装检测平台,其特征在于:包括机架,安装在机架上下两层上的不锈钢板,所述机架上层不锈钢板面固定有两块并排的铝标准面板,每块铝板标准面板的一侧装有两个用激光打标的刻度尺,所述铝标准面板两侧的不锈钢板面上分别设有支撑板,所述支撑板上安装载板外框,每块支撑板上设有用于载板外框定位安装的定位块,所述载板外框之间嵌入拉紧的钨丝,钨丝之间套入支撑框。

2.根据权利要求1所述一种PECVD载板安装检测平台,其特征在于:所述机架的四个角装有四个万向轮。

3.根据权利要求1所述一种PECVD载板安装检测平台,其特征在于:所述每块支撑板上的定位块设有七块,七块定位块形成用于放置载板外框的槽。

4.根据权利要求1所述一种PECVD载板安装检测平台,其特征在于:所述支撑框为2*2框体,每个支撑框分别与铝板标准面板上的刻度尺对应。

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