技术总结
本实用新型公开了一种PECVD载板安装检测平台，包括机架，安装在机架上下两层上的不锈钢板，所述机架上层不锈钢板面固定有两块并排的铝标准面板，每块铝板标准面板的一侧装有两个用激光打标的刻度尺，所述铝标准面板两侧的不锈钢板面上分别设有支撑板，所述支撑板上安装载板外框，每块支撑板上设有用于载板外框定位安装的定位块，所述载板外框之间嵌入拉紧的钨丝，钨丝之间套入支撑框。本实用新型载板安装简单方便，即可保证安装精度同时提高安装的效率，减少安装人员劳动强度，实现PECVD载板安装的标准化、规范化、高精度。
技术研发人员：杨与胜;王树林;陈剑雨;陈清彬;王武鹏;郑良结
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
文档号码：201720616478
技术研发日：2017.05.31
技术公布日：2018.02.02