技术特征：
技术总结
本发明公开了一种提高BiFeO3薄膜磁电耦合效应的退火方法。以化学溶液沉积法结合层层退火工艺，以ITO/glass为基体制备BiFeO3薄膜，薄膜的奇数层采用低温退火，偶数层采用高温退火。利用高低温退火相结合的方式一方面可以保证偶数层可以形成较大的晶粒，增强铁电性能，另外一方面可以保证奇数层的晶粒粒径小于62nm，有利用薄膜磁性的提高。利用这种退火方式提高了BiFeO3薄膜的磁电耦合效应。
技术研发人员：张丰庆;王玲续;郭晓东;刘慧莹;范素华
受保护的技术使用者：山东建筑大学
技术研发日：2018.09.20
技术公布日：2018.12.18