真空镀膜装置的制作方法

文档序号:16954597发布日期:2019-02-22 22:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜装置,包括具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构及用于对OLED基板进行承托的承托板,所述夹持机构及承托板位于所述封闭空间内,所述夹持机构还沿所述真空腔体的左右方向呈一左一右的布置,所述承托板位于所述夹持机构对应的上方,其特征在于,所述真空镀膜装置还包括段位调节机构,所述段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、沿所述真空腔体的上下方向安装在所述封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于所述导轨上的滑块,所述导轨至少开设有二个沿所述真空腔体的上下方向呈间隔开布置的段位孔,所述段拉调节杆沿所述真空腔体的左右方向穿置于所述滑块上,所述段位调节杆的第一端朝所述封闭空间的中心处伸出所述滑块并形成操作端,所述段位调节杆的第二端伸向所述段位孔并形成卡合端,所述伸缩弹簧套于所述段位调节杆上并呈弹性地抵压于所述卡合端与所述滑块之间,所述伸缩弹簧恒具有驱使所述卡合端卡入所述段位孔内的趋势。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述段位调节杆包含同轴布置的第一圆柱段、第二圆柱段及第三圆柱段,所述第一圆柱段及第三圆柱段的直径各大于所述第二圆柱段的直径,所述伸缩弹簧套于所述第二圆柱段上,且所述伸缩弹簧呈弹性地抵压于所述第一圆柱段的端面与所述滑块之间,所述第一圆柱段还与所述第二圆柱段构成一体式结构,所述卡合端形成于所述第一圆柱段上,所述操作端形成于所述第三圆柱段上。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述夹持机构包含导电基座、导电定夹块、导电动夹块、抵压块、螺杆、扭转弹簧及压缩弹簧,所述导电定夹块及导电动夹块在所述导电基座呈一前一后的相对布置,所述导电定夹块、导电动夹块及导电基座三者之间围出供蒸发材料之安装端放置的容置槽,所述导电定夹块安装在所述导电基座的顶部处,所述导电动夹块沿所述真空腔体的前后方向滑设于所述导电基座上,所述导电动夹块背对所述导电定夹块的一侧延伸出沿所述真空腔体的前后方向布置的套接导柱,所述导电基座上安装有供与所述套接导柱滑动穿置的抵挡块,所述压缩弹簧套于所述套接导柱上,所述压缩弹簧抵接于所述抵挡块与所述导电动夹块之间以使所述导电动夹块朝靠近所述导电定夹块处滑移,所述螺杆沿所述真空腔体的前后方向穿置于所述导电定夹块的顶部,所述抵压块套于所述螺杆上,所述扭转弹簧位于所述抵压块与所述导电定夹块之间并套于所述螺杆上,所述扭转弹簧的一端插于所述抵压块处,所述扭转弹簧的另一端插于所述导电定夹块处,所述扭转弹簧恒具有驱使所述抵压块绕所述螺杆枢摆至压紧所述容置槽内的蒸发材料之安装端的趋势。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述导电动夹块位于所述导电定夹块的前侧处。

5.根据权利要求3所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述导电基座开设有沿所述真空腔体的前后方向布置的T型导滑槽,所述导电动夹块的底部具有匹配所述T型导滑槽的T型导滑块,所述导电动夹块藉由所述T型导滑块和T型导滑槽的配合而滑设于所述导电基座上。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述抵挡块位于所述T型导滑槽的前端内,所述套接导柱位于所述T型导滑槽内。

7.根据权利要求3所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述套接导柱的横截面之外轮廓为圆形或正多边形。

8.根据权利要求3所述的真空镀膜装置,其特征在于,所述螺杆包含螺头段、螺身段及螺纹尾段,所述螺头段的尺寸大于所述螺身段的尺寸,所述螺纹尾段与所述导电定夹块螺纹连接,所述抵压块及扭转弹簧套于所述螺身段上,所述螺头段还沿所述真空腔体的前后方向与所述抵压块阻挡配合。

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