1.自动化晶片抛光设备,其特征在于:包括
料盘(1),用于承载至少一个工件;
抛光机(2),用于对料盘(1)上的工件进行抛光;
上料载具(3),具有放置至少一个带有待加工工件的料盘(1)的结构;
下料载具(4),具有放置至少一个带有抛光后工件的料盘(1)的结构;
第一机械手(5),至少能够将上料载具(3)中的料盘(1)移动到抛光机(2)中及将抛光机(2)中的料盘(1)移动到下料载具(4)中。
2.根据权利要求1所述的自动化晶片抛光设备,其特征在于:所述抛光机(2)至少包括与所述料盘(1)构成行星轮系的太阳轮(21)及行星架(22);
动力装置,用于驱动所述太阳轮(21)自转;
抛光盘(23),用于放置至少一料盘(1)。
3.根据权利要求2所述的自动化晶片抛光设备,其特征在于:所述抛光盘(23)可绕其轴线自转。
4.根据权利要求1-3任一所述的自动化晶片抛光设备,其特征在于:还包括
粘结剂涂覆工位(6),通过第二机械手(7)对位于其中的料盘(1)的设定位置涂布粘合剂;
及第一载具(8),用于存放待加工的工件;
所述第二机械手(7)能够将第一载具(8)中的工件移动到粘结剂涂覆工位处的料盘(1)上的粘合剂处;
所述第一机械手(5)能够将空料盘放置于所述粘结剂涂覆工位(6)处。
5.根据权利要求4所述的晶片抛光设备,其特征在于:所述第一机械手(5)和第二机械手(7)设置于六轴机器人上。
6.根据权利要求4所述的自动化晶片抛光设备,其特征在于:还包括
剥离工位(9),能够使加工后的工件与料盘(1)分离;
第二载具(10),具有存放多个加工后的工件的结构;
所述第二机械手(7)能够将剥离工位(9)中的加工后的工件移动到第二载具(10)中;
所述第一机械手(5)能够将剥离工位(9)中的料盘移动到粘结剂涂覆工位处。
7.根据权利要求6所述的晶片抛光设备,其特征在于:还包括清洗工位(20),所述清洗工位(20)包括清洗池及风干装置;
所述第一机械手(5)能够将剥离工位(9)处的料盘移动到清洗工位(20)清洗后移动到粘结剂涂覆工位(6)。
8.根据权利要求6所述的晶片抛光设备,其特征在于:还包括AGV小车(30),用于移动装满工件的第二载具(10)。