1.一种钽硅合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)将钽粉和硅粉按照原子比例混合；
(2)将步骤(1)混合后的钽硅粉末装入模具并封口；
(3)对步骤(2)封口后的模具进行冷等静压处理，得到钽硅坯料；
(4)将步骤(3)得到的钽硅坯料装入包套并封口，进行脱气处理；
(5)将步骤(4)脱气后的包套在1050-1350℃下进行热等静压处理，得到钽硅合金溅射靶材粗品；
(6)将步骤(5)得到的钽硅合金溅射靶材粗品进行机加工，得到钽硅合金溅射靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合在惰性气体保护下进行；
优选地，所述惰性气体包括氦气、氮气或氩气中的任意一种或至少两种的组合，优选为氩气；
优选地，所述惰性气体的压力为0.02-0.06mpa，优选为0.03-0.05mpa。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合的时间为12-48h，优选为12-24h；
优选地，步骤(1)所述混合在混粉机中进行；
优选地，所述混粉机为v型混粉机；
优选地，所述混粉机设置内衬；
优选地，所述内衬为聚氨酯内衬；
优选地，所述混粉机的混合速率为5-20r/min，优选为8-12r/min；
优选地，步骤(1)所述混合包括停机、敲打处理；
优选地，所述停机的间隔时间为3-6h，优选为4-5h；
优选地，所述敲打采用橡胶锤；
优选地，在步骤(1)所述混合前还包括清洗步骤；
优选地，所述清洗是将混粉机清洗干净，以保证混粉机内无污染。
4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述模具为橡胶套；
优选地，步骤(2)所述装入模具后，用工具夯实，然后盖上模具盖再封口。
5.根据权利要求1至4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述冷等静压的压力为140-250mpa，优选为160-200mpa；
优选地，步骤(3)所述冷等静压的保压时间为15-60min，优选为20-40min；
优选地，步骤(3)所述冷等静压处理是在冷等静压机中进行。
6.根据权利要求1至5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(4)所述包套为不锈钢包套；
优选地，步骤(4)所述脱气处理的温度为400-600℃，优选为450-550℃；
优选地，步骤(4)所述脱气处理的真空度为5-1.5e-3pa，优选为4-2e-3pa。
7.根据权利要求1至6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(5)所述热等静压处理的温度为1150-1250℃；
优选地，步骤(5)所述热等静压的压力为130-180mpa，优选为140-165mpa；
优选地，步骤(5)所述热等静压的保温保压时间为2-6h，优选为3-5h；
优选地，步骤(5)所述热等静压处理在热等静压炉中进行。
8.根据权利要求1至7任一项所述的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将钽粉和硅粉按照原子比例，加入带有聚氨酯内衬的v型混粉机中，在压力为0.02-0.06mpa的惰性气体保护下，以8-12r/min的混合速率混合12-24h，混合期间每间隔4-5h，就停机并采用橡胶锤敲打v型混粉机；
(2)将步骤(1)混合后的钽硅粉末装入橡胶套模具后，用工具夯实，然后封口；
(3)将步骤(2)封口后的模具放入冷等静压机中，加压至160-200mpa并保压20-40min进行冷等静压处理，得到钽硅坯料；
(4)将步骤(3)得到的钽硅坯料装入不锈钢包套并封口，加热至400-600℃，并在真空度为4-2e-3pa下进行脱气处理；
(5)将步骤(4)脱气后的包套放入热等静压炉中，升温至1050-1350℃，加压至130-180mpa，然后保温保压2-6h进行热等静压处理，得到钽硅合金溅射靶材粗品；
(6)将步骤(5)得到的钽硅合金溅射靶材粗品进行机加工，得到钽硅合金溅射靶材。
9.根据权利要求1至8任一项所述制备方法制备得到的钽硅合金溅射靶材。
10.根据权利要求9所述的钽硅合金溅射靶材，其特征在于，所述钽硅合金溅射靶材的致密度＞99％。