一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件的制作方法

本实用新型涉及硅片镀膜技术领域，尤其是涉及一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件。

背景技术：

太阳能电池片分为晶硅类和非晶硅类，其中晶硅类电池片又可以分为单晶电池片和多晶电池片。太阳能电池片的生产工艺流程为：硅片检测→表面制绒及酸洗→扩散制pn结→去磷硅玻璃→等离子刻蚀及酸洗→pecvd镀减反射膜→丝网印刷正负电极→快速烧结等。

上述其中，pecvd镀减反射膜：抛光硅表面的反射率为35％，为了减少表面反射，提高电池的转换效率，需要沉积一层氮化硅减反射膜；工业生产中常采用pecvd设备制备减反射膜；pecvd即等离子增强型化学气相沉积，它的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体sih4和nh3，温度约为430℃，气压约为20pa，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜；一般情况下，使用这种等离子增强型化学气相沉积方法沉积的薄膜厚度在70nm左右，这样厚度的薄膜具有光学的功能性，利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和输出就有很大增加，效率也有相当的提高。pecvd是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应。

pecvd系统包括管式pecvd系统和板式pecvd系统。

在板式pecvd系统中，镀膜载板用于在镀膜过程中承托着硅片，镀膜载板在设备上的循环运动是通过固定在镀膜载板底面上的导轨来实现的，现有技术中导轨多是通过金属螺栓与金属螺母紧固连接在镀膜载板上的。

碳/碳复合材料(也称作碳-碳复合材料)是碳纤维及其织物增强碳基体的复合材料，具有低密度(＜2.0g/cm³)、高强度、高比模量、高导热性、低膨胀系数、摩擦性能好，以及抗热冲击性能好、尺寸稳定性高等优点，是如今在1650℃以上应用的少数备选材料，最高理论温度高达2600℃，因此被认为是最有发展前途的高温材料之一。

随着光伏行业对电池片发电功率的要求原来越高，pecvd工艺中对镀膜的要求越发苛刻，镀膜载板是电池片镀膜过程中必不可少的工装夹具，现有技术中镀膜载板与导轨是通过金属螺栓及金属螺母连接固定的，但是在酸洗清理镀膜载板的过程中，由于金属螺栓及金属螺母容易被酸腐蚀，从而损坏了镀膜载板，影响了电池片的镀膜效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件。

为解决上述的技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳-碳复合材料导轨、多个碳-碳复合材料螺杆以及多个碳-碳复合材料六角螺母；

所述镀膜载板的两个相互对称的边部分别设置有多个内六角沉头式通孔；

所述石墨导轨上设置有多个内六角沉头式通孔；

所述碳-碳复合材料导轨上设置有多个内六角沉头式通孔；

所述碳-碳复合材料螺杆的顶端面上设置有内六角盲孔；

所述镀膜载板的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨、一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起；

所述镀膜载板的另一个设置有内六角沉头式通孔的边部、另一根石墨导轨、另一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起；

所述镀膜载板上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料导轨上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆从上往下穿透所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母、石墨导轨上的内六角沉头式通孔、所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆与所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆与所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板、石墨导轨与碳-碳复合材料导轨三者连接在一起。

优选的，所述石墨导轨上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆从上往下穿透所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母、石墨导轨上的碳-碳复合材料六角螺母、所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆与所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆与所述石墨导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，且所述碳-碳复合材料螺杆与所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板、石墨导轨与碳-碳复合材料导轨三者连接在一起。

优选的，所述石墨导轨为矩形横截面的长条片状。

优选的，所述碳-碳复合材料导轨为矩形横截面的长条片状。

优选的，所述镀膜载板为碳-碳复合材料材质。

本实用新型提供了一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳-碳复合材料导轨、多个碳-碳复合材料螺杆以及多个碳-碳复合材料六角螺母；

所述镀膜载板的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨、一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母连接在一起；

所述镀膜载板的另一个设置有内六角沉头式通孔的边部、另一根石墨导轨、另一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母连接在一起；

本申请中，碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母均为碳-碳复合材料，由于碳-碳复合材料具有优良的耐酸耐碱性能，使得碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母浸泡在酸洗过程中的氢氟酸中不会被氢氟酸腐蚀，从而解决了现有技术中连接镀膜载板与导轨的金属螺栓与金属螺母浸泡在氢氟酸中被氢氟酸腐蚀的问题；

再者，本申请之所以不使用碳-碳复合材料螺栓与碳-碳复合材料螺母，而是使用碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母，其原因是：由于螺栓包括螺杆与位于螺杆的顶端的大头部，螺栓中的螺杆与大头部的粗细是不一样的，一般螺栓中的大头部的外径是其螺杆的外径的2倍，即螺栓中的大头部与其螺杆之间有一个变径，由于碳-碳复合材料有易脆性，因此该变径处需要做倒角处理，该倒角处理增加了机加工的难度与工作量；再者，如果做一个碳-碳复合材料螺栓，需要先找一个外径大于上述大头部的碳-碳复合材料光杆，然后在该碳-碳复合材料光杆上车出大头部，以及车出螺杆及其上的外螺纹，从外径比较大的光杆车成外径比较小的螺杆会导致切削量较大，造成成本昂贵的碳-碳复合材料的浪费；

为此，本申请不使用碳-碳复合材料螺栓与碳-碳复合材料螺母，而是使用碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母，由于本申请中的碳-碳复合材料螺杆的外径不变，没有变径，因此不需要费时费力地再设置倒角了，碳-碳复合材料螺杆的机加工难度与机加工工作量要比碳-碳复合材料螺栓的机加工难度与机加工工作量小一些；再者，由于本申请中的碳-碳复合材料螺杆的外径不变，没有变径，直接拿一个外径比较小的光杆车出外螺纹即可，切削量显著地小于上述碳-碳复合材料螺栓的切削量，从而节省了碳-碳复合材料的成本；

本申请中，设置内六角沉头式通孔与碳-碳复合材料六角螺母均为六角结构，一是为了当通过碳-碳复合材料螺杆上的内六角盲孔旋拧碳-碳复合材料螺杆时，内六角沉头式通孔可以卡着固定住碳-碳复合材料六角螺母，防止碳-碳复合材料六角螺母旋转，二是为了定位与卡位，碳-碳复合材料六角螺母严丝合缝地放在内六角沉头式通孔中，使得碳-碳复合材料六角螺母被卡住固定进而不会左右方向移动或者倾斜，且从上到下一共2个或者3个碳-碳复合材料六角螺母叠加，且碳-碳复合材料螺杆是一根直杆从上往下穿过所有的碳-碳复合材料六角螺母，如此可以保证镀膜载板、石墨导轨与碳-碳复合材料导轨三者在上下方向上对齐摆正，三者中任何一个都不会发生左右方向的移位或者偏移，提高了安装精度。

附图说明

图1为本实用新型的实施例提供的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件中的镀膜载板的俯视图；

图2为图1中的镀膜载板的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨、一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母连接在一起的剖视结构示意图。

图中：1镀膜载板，101镀膜载板上的用于内嵌放置硅片的矩形通孔，102镀膜载板上的内六角沉头式通孔，2石墨导轨，3碳-碳复合材料导轨，4碳-碳复合材料螺杆，5碳-碳复合材料六角螺母。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“轴向”、“径向”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1～图2，图1为本实用新型的实施例提供的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件中的镀膜载板的俯视图；图2为图1中的镀膜载板的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨、一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆以及碳-碳复合材料六角螺母连接在一起的剖视结构示意图。

本申请提供了一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板1、两根石墨导轨2、两根碳-碳复合材料导轨3、多个碳-碳复合材料螺杆4以及多个碳-碳复合材料六角螺母5；

镀膜载板1上设置有用于内嵌放置硅片的矩形通孔101，所述镀膜载板1的两个相互对称的边部分别设置有多个内六角沉头式通孔102；

所述石墨导轨2上设置有多个内六角沉头式通孔；

所述碳-碳复合材料导轨3上设置有多个内六角沉头式通孔；

所述碳-碳复合材料螺杆4的顶端面上设置有内六角盲孔；

所述镀膜载板1的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨2、一根碳-碳复合材料导轨3按照从上到下的顺序依次叠加在一起；

所述镀膜载板1的另一个设置有内六角沉头式通孔的边部、另一根石墨导轨2、另一根碳-碳复合材料导轨3按照从上到下的顺序依次叠加在一起；

所述镀膜载板1上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母5，所述碳-碳复合材料导轨3上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母5，所述碳-碳复合材料螺杆4从上往下穿透所述镀膜载板1上的碳-碳复合材料六角螺母5、石墨导轨2上的内六角沉头式通孔、所述碳-碳复合材料导轨3上的碳-碳复合材料六角螺母5，所述碳-碳复合材料螺杆4与所述镀膜载板1上的碳-碳复合材料六角螺母5构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆4与所述碳-碳复合材料导轨3上的碳-碳复合材料六角螺母5构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板1、石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3三者连接在一起。

在本申请的一个实施例中，所述石墨导轨2上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母5，所述碳-碳复合材料螺杆4从上往下穿透所述镀膜载板1上的碳-碳复合材料六角螺母5、石墨导轨2上的碳-碳复合材料六角螺母5、所述碳-碳复合材料导轨3上的碳-碳复合材料六角螺母5，所述碳-碳复合材料螺杆4与所述镀膜载板1上的碳-碳复合材料六角螺母5构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆4与所述石墨导轨2上的碳-碳复合材料六角螺母5构成螺纹连接，且所述碳-碳复合材料螺杆4与所述碳-碳复合材料导轨3上的碳-碳复合材料六角螺母5构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板1、石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3三者连接在一起；

此处之所以在所述石墨导轨2上的内六角沉头式通孔中也放置有碳-碳复合材料六角螺母5，一是为了在从上到下的方向上再增加一个碳-碳复合材料六角螺母5，构成从上到下的方向上一共3个碳-碳复合材料六角螺母5叠加，每增加一个碳-碳复合材料六角螺母5会更有利定位与卡位，更有利于保证镀膜载板1、石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3三者在上下方向上对齐摆正，三者中任何一个都不会发生左右方向的移位或者偏移，进一步提高了安装精度；二是石墨导轨2上的碳-碳复合材料六角螺母5、碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料导轨3上的碳-碳复合材料六角螺母5可以将石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3连接在一起，从而当拆卸镀膜载板1部件的时候，可以只拆除镀膜载板1，只对镀膜载板1进行更换或者维修保养，剩下的石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3仍然连接在一起，后期再重新装配的时候，仅是只装上镀膜载板1即可形成镀膜载板部件，从而可以在一定程度上减少了镀膜载板部件进行装配与拆卸的工作量，节省了人力。

在本申请的一个实施例中，所述石墨导轨2为矩形横截面的长条片状。

在本申请的一个实施例中，所述碳-碳复合材料导轨3为矩形横截面的长条片状。

在本申请的一个实施例中，所述镀膜载板1为碳-碳复合材料材质。

本实用新型提供了一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板1、两根石墨导轨2、两根碳-碳复合材料导轨3、多个碳-碳复合材料螺杆4以及多个碳-碳复合材料六角螺母5；

所述镀膜载板1的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨2、一根碳-碳复合材料导轨3按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5连接在一起；

所述镀膜载板1的另一个设置有内六角沉头式通孔的边部、另一根石墨导轨2、另一根碳-碳复合材料导轨3按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5连接在一起；

本申请中，碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5均为碳-碳复合材料，由于碳-碳复合材料具有优良的耐酸耐碱性能，使得碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5浸泡在酸洗过程中的氢氟酸中不会被氢氟酸腐蚀，从而解决了现有技术中连接镀膜载板1与导轨的金属螺栓与金属螺母浸泡在氢氟酸中被氢氟酸腐蚀的问题；

再者，本申请之所以不使用碳-碳复合材料螺栓与碳-碳复合材料螺母，而是使用碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5，其原因是：由于螺栓包括螺杆与位于螺杆的顶端的大头部，螺栓中的螺杆与大头部的粗细是不一样的，一般螺栓中的大头部的外径是其螺杆的外径的2倍，即螺栓中的大头部与其螺杆之间有一个变径，由于碳-碳复合材料有易脆性，因此该变径处需要做倒角处理，该倒角处理增加了机加工的难度与工作量；再者，如果做一个碳-碳复合材料螺栓，需要先找一个外径大于上述大头部的碳-碳复合材料光杆，然后在该碳-碳复合材料光杆上车出大头部，以及车出螺杆及其上的外螺纹，从外径比较大的光杆车成外径比较小的螺杆会导致切削量较大，造成成本昂贵的碳-碳复合材料的浪费；

为此，本申请不使用碳-碳复合材料螺栓与碳-碳复合材料螺母，而是使用碳-碳复合材料螺杆4以及碳-碳复合材料六角螺母5，由于本申请中的碳-碳复合材料螺杆4的外径不变，没有变径，因此不需要费时费力地再设置倒角了，碳-碳复合材料螺杆4的机加工难度与机加工工作量要比碳-碳复合材料螺栓的机加工难度与机加工工作量小一些；再者，由于本申请中的碳-碳复合材料螺杆4的外径不变，没有变径，直接拿一个外径比较小的光杆车出外螺纹即可，切削量显著地小于上述碳-碳复合材料螺栓的切削量，从而节省了碳-碳复合材料的成本；

本申请中，设置内六角沉头式通孔与碳-碳复合材料六角螺母5均为六角结构，一是为了当通过碳-碳复合材料螺杆4上的内六角盲孔旋拧碳-碳复合材料螺杆4时，内六角沉头式通孔可以卡着固定住碳-碳复合材料六角螺母5，防止碳-碳复合材料六角螺母5旋转，二是为了定位与卡位，碳-碳复合材料六角螺母5严丝合缝地放在内六角沉头式通孔中，使得碳-碳复合材料六角螺母5被卡住固定进而不会左右方向移动或者倾斜，且从上到下一共2个或者3个碳-碳复合材料六角螺母5叠加，且碳-碳复合材料螺杆4是一根直杆从上往下穿过所有的碳-碳复合材料六角螺母5，如此可以保证镀膜载板1、石墨导轨2与碳-碳复合材料导轨3三者在上下方向上对齐摆正，三者中任何一个都不会发生左右方向的移位或者偏移，提高了安装精度。

本实用新型未详尽描述的方法和装置均为现有技术，不再赘述。

本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。