1.一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，其特征在于，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳-碳复合材料导轨、多个碳-碳复合材料螺杆以及多个碳-碳复合材料六角螺母；
所述镀膜载板的两个相互对称的边部分别设置有多个内六角沉头式通孔；
所述石墨导轨上设置有多个内六角沉头式通孔；
所述碳-碳复合材料导轨上设置有多个内六角沉头式通孔；
所述碳-碳复合材料螺杆的顶端面上设置有内六角盲孔；
所述镀膜载板的一个设置有内六角沉头式通孔的边部、一根石墨导轨、一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起；
所述镀膜载板的另一个设置有内六角沉头式通孔的边部、另一根石墨导轨、另一根碳-碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起；
所述镀膜载板上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料导轨上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆从上往下穿透所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母、石墨导轨上的内六角沉头式通孔、所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆与所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆与所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板、石墨导轨与碳-碳复合材料导轨三者连接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，其特征在于，所述石墨导轨上的内六角沉头式通孔中放置有碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆从上往下穿透所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母、石墨导轨上的碳-碳复合材料六角螺母、所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母，所述碳-碳复合材料螺杆与所述镀膜载板上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，所述碳-碳复合材料螺杆与所述石墨导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，且所述碳-碳复合材料螺杆与所述碳-碳复合材料导轨上的碳-碳复合材料六角螺母构成螺纹连接，以用于将所述镀膜载板、石墨导轨与碳-碳复合材料导轨三者连接在一起。
3.根据权利要求1所述的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，其特征在于，所述石墨导轨为矩形横截面的长条片状。
4.根据权利要求1所述的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，其特征在于，所述碳-碳复合材料导轨为矩形横截面的长条片状。
5.根据权利要求1所述的一种板式pecvd系统中的镀膜载板部件，其特征在于，所述镀膜载板为碳-碳复合材料材质。