一种增加镀膜均匀性的装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种增加镀膜均匀性的装置，用于管式镀膜设备，能改善硅片镀膜均匀性，属于太阳能电池制备技术领域。


背景技术：

[0002]
现有技术中，管式镀膜设备的炉尾部直接连接真空泵，真空泵管路相对于炉体直径小很多，一般炉体的管径为450mm，而真空泵的管径为100mm，这样反应气体从炉口位置进气后，多余气体和生成物从炉尾抽走，炉尾部会形成涡流，造成尾部与其他部位的气体浓度存在差异，从而在硅片上沉积薄膜时，导致镀膜均匀性降低。


技术实现要素：

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实用新型目的：针对现有技术中存在的问题与不足，本实用新型提供一种增加镀膜均匀性的装置，可安装在炉管尾部与真空泵之间，使炉管尾部气体保持均匀抽出，可以解决如下问题：
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（1）炉腔体中的气体在真空泵的抽力下，向炉管尾部汇聚，本装置避免气体在炉管尾部汇聚，解决由于真空泵管径相对于炉管管径突然变小而产生的涡流，影响气体均匀性的问题；
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（2）在硅片镀膜时，大量高温气体汇聚于炉管尾部，造成炉管尾部的温度上升，从而影响镀膜速率（温度越高镀膜速率越快），造成太阳能电池品质下降，本装置可有效改善炉管尾部的气体汇聚，避免炉管尾部温度上升，提升太阳能电池品质。
[0006]
技术方案：一种增加镀膜均匀性的装置，包括一个连接管体；所述连接管体包括一个大端和一个小端；所述大端的连接管体端部或者内部设有带有多个孔洞的圆盘；所述圆盘的边部与连接管体内管壁连接。
[0007]
所述圆盘的多个孔洞均匀分布在圆盘上。
[0008]
所述圆盘设在连接管体大端的端口处，圆盘的边与连接管体内管壁密封连接。
[0009]
所述连接管体连接在炉管尾部和真空泵之间，连接管体的大端端口管径与炉管管径相等，且连接管体的大端端口与炉管尾部连接；所述连接管体的小端与真空泵连接。
[0010]
有益效果：本实用新型提供的增加镀膜均匀性的装置，安装在管式镀膜设备的炉尾部后，由于炉尾与真空泵通过本装置连接，本装置与炉尾接触处，圆盘有众多孔洞，使得每个孔洞都能均匀出气，可使气体平行抽走，避免炉尾产生涡流，从而提升硅片镀膜均匀性；
[0011]
本装置安装后使得炉尾气体汇聚于大端口位置，避免炉尾处温度上升，造成镀膜不均。
附图说明
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图1为现有技术中管式镀膜设备的炉尾部与真空泵管路连接示意图；
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图2为本实用新型装置连接在炉尾部与真空泵之间的使用状态示意图；
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图3为本实用新型装置的结构示意图；
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图4为图3的左视图。
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图中，1、炉管尾部，2、真空泵管，3、炉口，4、连接管体，5、圆盘，6、孔洞，41、大端，42、小端。
具体实施方式
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下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型。
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如图2-4所示，增加镀膜均匀性的装置，包括一个喇叭形状的连接管体4，即连接管体4包括一个大端41和一个小端42；大端41的连接管体4端部设有带有多个孔洞6的圆盘5；圆盘5的多个孔洞6均匀分布在圆盘5上，圆盘5的边与连接管体4内管壁密封连接。
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如图2所示，连接管体4设在炉管尾部1和真空泵之间，连接管体4的大端41端口管径与炉管管径相等，且连接管体4的大端41端口与炉管尾部1端口密封连接在一起；连接管体4的小端42通过真空泵管2与真空泵连接。
[0020]
本装置按照图2方式安装于炉管尾部1和真空管2之间，其中本装置小端42管径与真空泵管2直径大小一致。
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多个孔洞6孔径大小一致，可以使气体均匀抽出，达到提升镀膜均匀性的目的。
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以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。