一种等离子体增强化学气相沉积装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，具体为一种等离子体增强化学气相沉积装置。


背景技术：

[0002]
等离子体增强化学气相沉积是利用微波或射频等能量，使含有薄膜组成原子的气体电离成高能原子、正负离子、电子等的混合体，形成等离子体，在基板上反应，沉积薄膜，从而实现高速率成膜。
[0003]
专利授权公告号“cn 205556778 u”提出一种等离子体增强化学气相沉积装置。该装置通过在反应腔室内设置第一磁镜单元和第二磁镜单元从而形成双磁镜系统，利用该双磁镜系统可以产生不均匀磁力线，使得等离子体约束在双磁镜内部，可以从不同方向同时对等离子体进行约束，可以显著的提高等离子体密度，达到增加薄膜的沉积速率的目的。但是在进气通道端，缺乏对气体的过滤和干燥措施，导致一些含有湿气的气体进入反应腔室，对电极板造成损伤，而且下电极板上的待沉积基板的高度不可调节，难以进行校正。因此，需要对现有技术进行改进。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种等离子体增强化学气相沉积装置，解决了现有的化学气相沉积装置缺乏对气体的过滤和干燥，导致存在一定的湿气，可能对电极板造成影响，而且下电极板上的待沉积基板的高度不可调节，难以进行调整校正。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括反应腔室，所述反应腔室的左侧设置有观察窗，所述反应腔室的右侧固定连接有出气通道，所述出气通道的下端固定连接有抽气单元，所述反应腔室的下端通过螺栓安装有底盖，所述底盖内转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端通过螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的上端固定连接有下电极板，所述下电极板的上端固定连接有待沉积基板，所述下电极板的下端固定连接有导杆，所述反应腔室的上端固定连接有能量传输通道，所述能量传输通道的下端固定连接有上电极板，所述上电极板的上端固定连接有进气通道，所述进气通道的外侧设置有凸环，所述进气通道的外侧通过螺纹连接有通风筒，所述通风筒内安装有干燥剂，所述干燥剂的右端粘合有过滤网，所述通风筒的右端通过螺纹连接有筒盖。
[0006]
优选的，所述底盖的边缘处接触连接有密封垫，所述密封垫与反应腔室的下端接触。
[0007]
优选的，所述底盖的上端开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有导杆。
[0008]
优选的，所述螺纹杆的外侧固定连接有限位环，所述螺纹杆的下端固定连接有旋钮。
[0009]
优选的，所述通风筒的左端接触连接有密封圈，所述密封圈套接于进气通道的外侧，所述密封圈与凸环接触。
[0010]
优选的，所述筒盖内固定连接有接头，所述筒盖的左端固定连接有扰流片。
[0011]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
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1、本实用新型通过在进气通道末端安装通气筒，通气筒内设计过滤网和干燥剂，通气筒末端设计筒盖和接头，可对输入的气体进行过滤和干燥，使得气体洁净且干燥，降低气体对电极板的损伤，使得设备的使用寿命更长。
[0013]
2、本实用新型通过在底盖上设计螺纹杆，螺纹杆上配合螺纹套，螺纹套与下电极板连接，下电极板的下端设计导杆，且导杆与底盖上的滑槽配合，可通过螺纹杆调节下电极板和待沉积基板的高度，便于根据需要进行校正调整。
附图说明
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图1为本实用新型的结构示意图；
[0015]
图2为本实用新型的图1的a部结构放大图；
[0016]
图3为本实用新型的图1的b部结构放大图。
[0017]
图中：1、反应腔室；2、观察窗；3、出气通道；4、抽气单元；5、底盖；6、密封垫；7、滑槽；8、螺纹杆；9、限位环；10、旋钮；11、螺纹套；12、下电极板；13、待沉积基板；14、导杆；15、能量传输通道；16、上电极板；17、进气通道；18、凸环；19、通风筒；20、密封圈；21、干燥剂；22、过滤网；23、筒盖；24、接头；25、扰流片。
具体实施方式
[0018]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]
实施例
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请参阅图1-3，一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括反应腔室1，反应腔室1的左侧设置有观察窗2，反应腔室1的右侧固定连接有出气通道3，出气通道3的下端固定连接有抽气单元4，反应腔室1的下端通过螺栓安装有底盖5，底盖5内转动连接有螺纹杆8，螺纹杆8的上端通过螺纹连接有螺纹套11，螺纹套11的上端固定连接有下电极板12，下电极板12的上端固定连接有待沉积基板13，下电极板12的下端固定连接有导杆14，反应腔室1的上端固定连接有能量传输通道15，能量传输通道15的下端固定连接有上电极板16，上电极板16的上端固定连接有进气通道17，进气通道17的外侧设置有凸环18，进气通道17的外侧通过螺纹连接有通风筒19，通风筒19内安装有干燥剂21，干燥剂21为袋装干燥剂，干燥剂21的右端粘合有过滤网22，过滤网22为无纺布材料制成，通风筒19的右端通过螺纹连接有筒盖23。
[0021]
请参阅图1，底盖5的边缘处接触连接有密封垫6，密封垫6与反应腔室1的下端接触。通过密封垫6的设计，可将反应腔室1和底盖5进行密封。
[0022]
请参阅图1，底盖5的上端开设有滑槽7，滑槽7内滑动连接有导杆14。通过滑槽7和导杆14的配合，可对下电极板12进行限位，防止其发生转动。
[0023]
请参阅图2，螺纹杆8的外侧固定连接有限位环9，螺纹杆8的下端固定连接有旋钮
10。旋钮10和限位环9的设计可防止螺纹杆8发生轴向移动，旋钮10的设计方便转动螺纹杆8。
[0024]
请参阅图3，通风筒19的左端接触连接有密封圈20，密封圈20套接于进气通道17的外侧，密封圈20与凸环18接触。密封圈20的设计，可对通风筒19的左端进行密封。
[0025]
请参阅图3，筒盖23内固定连接有接头24，筒盖23的左端固定连接有扰流片25。接头24的设计用于和输气管道连接，扰流片25为弹性片，可进行气流扰动，防止气流经过过滤网22时，由于气流稳定造成的粉尘堵塞的问题。
[0026]
本实用新型具体实施过程如下：当该装置工作时，通过接头24与输气管道连接，气体进入通风筒19，然后经过过滤网22、干燥剂21、进气通道17，进入反应腔室1内，在气体经过过滤网22和干燥剂21时，可对气体进行过滤和干燥，防止气体湿度以及携带粉尘对电极板造成损伤，具有良好的保护效果；当需要调节待沉积基板13的高度时，转动旋钮10，旋钮10带动螺纹杆8转动，螺纹杆8与螺纹套11发生螺纹运动，产生相对位移，使得螺纹套11向上移动，螺纹套11带动下电极板12向上移动，下电极板12带动待沉积基板13向上移动，可实现调整，便于进行校正。
[0027]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。