技术特征：
1.一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括反应腔室(1)，其特征在于：所述反应腔室(1)的左侧设置有观察窗(2)，所述反应腔室(1)的右侧固定连接有出气通道(3)，所述出气通道(3)的下端固定连接有抽气单元(4)，所述反应腔室(1)的下端通过螺栓安装有底盖(5)，所述底盖(5)内转动连接有螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)的上端通过螺纹连接有螺纹套(11)，所述螺纹套(11)的上端固定连接有下电极板(12)，所述下电极板(12)的上端固定连接有待沉积基板(13)，所述下电极板(12)的下端固定连接有导杆(14)，所述反应腔室(1)的上端固定连接有能量传输通道(15)，所述能量传输通道(15)的下端固定连接有上电极板(16)，所述上电极板(16)的上端固定连接有进气通道(17)，所述进气通道(17)的外侧设置有凸环(18)，所述进气通道(17)的外侧通过螺纹连接有通风筒(19)，所述通风筒(19)内安装有干燥剂(21)，所述干燥剂(21)的右端粘合有过滤网(22)，所述通风筒(19)的右端通过螺纹连接有筒盖(23)。2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：所述底盖(5)的边缘处接触连接有密封垫(6)，所述密封垫(6)与反应腔室(1)的下端接触。3.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：所述底盖(5)的上端开设有滑槽(7)，所述滑槽(7)内滑动连接有导杆(14)。4.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：所述螺纹杆(8)的外侧固定连接有限位环(9)，所述螺纹杆(8)的下端固定连接有旋钮(10)。5.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：所述通风筒(19)的左端接触连接有密封圈(20)，所述密封圈(20)套接于进气通道(17)的外侧，所述密封圈(20)与凸环(18)接触。6.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：所述筒盖(23)内固定连接有接头(24)，所述筒盖(23)的左端固定连接有扰流片(25)。