技术总结
本实用新型公开了一种用于沉积炉内的支撑件，它的顶部设有一组上支撑顶，底部设有一组下支撑脚；所述上支撑顶之间设有一顶部导气槽；所述下支撑脚之间设有一纵向的底部导气槽，以及一横向的侧向导气槽。上支撑顶用于支撑上部的待沉积工件，下支撑脚支撑在沉积炉内的底板平台上。顶部导气槽、底部导气槽以及侧向导气槽方便沉积气体的流动，充分的与沉积工件表面接触。使用二至三组支撑件将待沉积工件支撑起来，能够最大化的增加工件沉积面积，同时气流能够顺畅流经各沉积面，不会被支撑件所阻挡，从而保证了最终沉积效果，提高产品品质，延长使用寿命。延长使用寿命。延长使用寿命。
技术研发人员：汪勋 张春伟
受保护的技术使用者：江苏协鑫特种材料科技有限公司
技术研发日：2020.06.29
技术公布日：2021/2/5