技术特征：
1.一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其特征在于，其设置在进料舱或出料舱中，用于将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；所述夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，所述移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在所述底固定板上，即移动安装板通过双重导轨滑动安装在所述底固定板上，所述移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；所述动力组与所述直线模组相连，所述直线模组与所述移动安装板相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组驱动所述移动安装板做直线往复运动；所述滑动爪部分包括分设于所述移动安装板左右两侧的两滑动爪，两滑动爪在气缸的作用下相向或背向运动，实现挂板的抓取或放松。2.根据权利要求1所述的侧机械手，其特征在于，两所述滑动爪的驱动结构如下：两滑动爪通过横向导轨滑动安装在所述移动安装板上，两滑动爪具有左右相对的垂直部和底部向对侧延伸的连接板，连接板上设有斜槽，两滑动爪上的斜槽构成八字形或倒八字形，所述移动安装板中部固定有一气缸，该气缸的输出轴上固连一驱动板，该驱动板中轴两侧对称的设有一组凸轮轴承，分套入对应侧的滑动爪的斜槽内。3.根据权利要求2所述的侧机械手，其特征在于，所述滑动爪部分还包括夹紧块，其横截面呈u字形，设置在两滑动爪垂直部的相对侧。
技术总结
一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其设置在进料舱或出料舱中，将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在底固定板上，移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；动力组与直线模组相连，直线模组与移动安装板相连。本实用新型机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。内大型挂板的传送任务。内大型挂板的传送任务。
技术研发人员：李志方 陈思 李运俊 陸创程 冯晓庭
受保护的技术使用者：广东汇成真空科技股份有限公司
技术研发日：2020.11.11
技术公布日：2021/10/18