技术特征：
1.一种成膜装置，其特征在于，其具备：成膜室，在以卷对卷方式输送的基材的膜形成面侧形成薄膜；引导部件，通过与基材的膜形成面侧或其相反侧接触而引导基材的输送方向，从而形成基材的输送路径；保护部件贴合部，位于基材的输送路径中的所述成膜室的下游侧且设置于最先与基材的膜形成面侧接触的所述引导部件与所述成膜室之间，将具有挠性的保护部件贴合在基材的膜形成面侧。2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述保护部件的与基材对置的一侧的面中，在基材的宽度方向上与基材的两端部对置的部分的粘合力比两端部之间的部分的粘合力高。3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述保护部件在基材的宽度方向上仅与基材的一部分对置。4.如权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，基材的输送方向可以反转，所述保护部件贴合部隔着所述成膜室设置在基材的输送路径的两侧。5.如权利要求1～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，在所述保护部件贴合于基材上的状态下卷取基材。6.如权利要求1～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，其进一步具有在卷取基材前将所述保护部件从基材上剥离的保护部件剥离部。7.如权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，由所述保护部件剥离部剥离的所述保护部件被送至所述保护部件贴合部，形成保护部件的循环路径。
技术总结
本发明提供一种成膜装置，其能够不降低功能膜的性能而在基材上形成功能膜。具体而言，该成膜装置具备：成膜室(7)，其在以卷对卷方式输送的基材(2)的膜形成面侧形成薄膜；引导部件(8)，其通过与基材(2)的膜形成面侧或其相反侧接触而引导基材(2)的输送方向，从而形成基材(2)的输送路径；保护部件贴合部(9a)，其位于基材(2)的输送路径中的成膜室(7)的下游侧且设置于最先与基材(2)的膜形成面侧接触的引导部件(8)与成膜室(7)之间，将具有挠性的保护部件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。
技术研发人员：恩地卓也 小森常范
受保护的技术使用者：东丽工程株式会社
技术研发日：2020.09.04
技术公布日：2022/6/15