技术特征：
1.一种掩模支撑模板的制造方法，该掩模支撑模板用于支撑oled像素形成用掩模并将掩模对应至框架，所述方法包括以下步骤：(a)将掩模金属膜粘合到转移衬底；(b)在与粘合有转移衬底的掩模金属膜一面相对的另一面上形成副掩模图案；(c)将转移衬底剥离；(d)在形成有副掩模图案的掩模金属膜的另一面上形成隔板绝缘部，并将掩模金属膜的另一面以夹设隔板绝缘部的方式粘合到模板上；(e)通过在掩模金属膜的一面上形成主掩模图案来制造掩模。2.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(a)中，第一临时粘合部夹设在转移衬底与掩模金属膜之间。3.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(b)中，在掩模金属膜的掩模单元部形成副掩模图案，并在除掩模单元部以外的虚设部形成焊接图案。4.如权利要求3所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，副掩模图案和焊接图案不贯通掩模金属膜。5.如权利要求2所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(c)中，将转移衬底剥离后去除第一临时粘合部。6.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(d)中，模板为容纳在模板支撑部槽中的状态，将掩模金属膜的另一面以夹设隔板绝缘部的方式粘合到模板和模板支撑部上。7.如权利要求6所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，模板和模板支撑部的上部面的高度相同，第三临时粘合部夹设在隔板绝缘部与模板及模板支撑部之间。8.如权利要求6所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在模板支撑部的槽中形成第二临时粘合部，以使模板的至少一面以夹设第二临时粘合部的方式粘合在模板支撑部上。9.如权利要求6所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，模板支撑部包括底板及连接在底板的一面边缘且具有中空区域的边缘板，中空区域对应模板支撑部的槽，且模板安置在中空区域。10.如权利要求6所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，进一步包括(f)将模板从模板支撑部剥离的步骤。11.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(d)与步骤(e)之间，进一步包括(d2)在掩模金属膜的一面上缩减掩模金属膜厚度的步骤。12.如权利要求11所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在(d2)步骤中，缩减掩模单元部的厚度，然而在对应焊接部的区域不进行厚度缩减。13.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(e)中，主掩模图案贯通掩模金属膜，主掩模图案的宽度和厚度大于副掩模图案的宽度和厚度，主掩模图案与副掩模图案之和构成掩模图案。14.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(e)中，在形成主掩模图案的同时切除掩模金属膜的边缘使其与模板的尺寸相同。15.如权利要求14所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，准备掩模支撑模板，所述掩模支撑模板支撑具有与模板相同的尺寸且形成有多个掩模图案的掩模。
16.如权利要求1所述的掩模支撑模板的制造方法，其中，在步骤(a)之后，在掩模金属膜上进一步形成第一对准孔和第二对准孔，所述第一对准孔用于对准副掩模图案和主掩模图案的位置；所述第二对准孔用于对准掩模金属膜与模板支撑部。17.一种掩模支撑模板，其支撑oled像素形成用掩模并将掩模对应至框架，该掩模支撑模板包括：模板，其用于支撑掩模；临时粘合部，其形成于模板上；隔板绝缘部，其形成于临时粘合部上；以及掩模，其形成于隔板上且形成有多个掩模图案，掩模图案由与隔板绝缘部相接触的副掩模图案及副掩模图案上部的主掩模图案构成，主掩模图案的宽度和厚度大于副掩模图案的宽度和厚度。18.一种框架一体型掩模的制造方法，所述框架一体型掩模由至少一个掩模及用于支撑掩模的框架一体形成，该方法包括以下步骤：(a)将掩模金属膜粘合到转移衬底上；(b)在与粘合有转移衬底的掩模金属膜一面相对的另一面上形成副掩模图案；(c)将转移衬底剥离；(d)在形成有副掩模图案的掩模金属膜的另一面上形成隔板绝缘部，并将掩模金属膜的另一面以夹设隔板绝缘部的方式粘合到模板上；(e)通过在掩模金属膜的一面上形成主掩模图案来制造掩模；(f)在具有至少一个掩模单元区域的框架上装载模板，并将掩模对应至框架的掩模单元区域；(g)将掩模附着到框架上。19.一种框架一体型掩模的制造方法，所述框架一体型掩模由至少一个掩模及用于支撑掩模的框架一体形成，该方法包括以下步骤：(a)在具有至少一个掩模单元区域的框架上装载通过权利要求1所述的制造方法制造的模板，并将掩模对应至框架的掩模单元区域；以及(b)将掩模附着到框架上。
技术总结
本发明涉及掩模支撑模板的制造方法、掩模支撑模板及框架一体型掩模的制造方法。本发明的掩模支撑模板的制造方法，该掩模支撑模板用于支撑OLED像素形成用掩模并将掩模对应至框架，所述方法包括以下步骤：(a)将掩模金属膜粘合到转移衬底；(b)在与粘合有转移衬底的掩模金属膜一面相对的另一面上形成副掩模图案；(c)将转移衬底剥离；(d)在形成有副掩模图案的掩模金属膜的另一面上形成隔板绝缘部，并将掩模金属膜的另一面以夹设隔板绝缘部的方式粘合在模板上；(e)在掩模金属膜的一面上缩减掩模金属膜的厚度；(f)通过在掩模金属膜的一面上形成主掩模图案来制造掩模。上形成主掩模图案来制造掩模。上形成主掩模图案来制造掩模。
技术研发人员：李炳一 金奉辰 李永浩
受保护的技术使用者：悟勞茂材料公司
技术研发日：2021.09.03
技术公布日：2022/4/8