技术特征：
1.一种环形件，其特征在于，所述环形件包括环体和环体外表面的固定件；所述固定件内部设置有内孔；所述内孔的中心线与环体上端面的距离小于内孔的中心线与环体下端面的距离。2.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述环体的外径为380～390mm。3.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述环体的宽度为48～52mm。4.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述环体的厚度为2.5～3.5mm。5.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述固定件的外径为18～22mm。6.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述内孔的内径为8～10mm。7.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述内孔的中心线与环体上端面的距离为22～24mm。8.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述内孔的中心线与环体下端面的距离为26～28mm。9.根据权利要求1所述的环形件，其特征在于，所述内孔的中心线与环体上端面的距离与内孔的中心线与环体下端面的距离的差距为2～6mm。
技术总结
本实用新型提供一种环形件，所述环形件包括环体和环体外表面的固定件，固定件内部设置有内孔，内孔的中心线与环体上端面的距离小于内孔的中心线与环体下端面的距离，应用于溅射成膜中，使用寿命长，且结构简单，成本低，易于加工，能够提高溅射成膜中薄膜的接触孔覆盖率。率。率。
技术研发人员：姚力军 边逸军 潘杰 王学泽 龚润泽
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2021.03.15
技术公布日：2023/1/3