一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备的制作方法

1.本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别是涉及一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备。


背景技术：

2.碳化硅晶片的主要应用领域有led固体照明和高频率器件。该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅由于其优良的性能而可能取代硅作芯片，打破硅芯片由于材料本身性能的瓶颈，将给电子业带来革命性的变革，碳化硅的主要应用领域有led固体照明和高频率器件，未来手机和笔记本电脑的背景光市场将给碳化硅提供巨大的需求增长，碳化硅主要有四大应用领域，即：功能陶瓷、高级耐火材料、磨料及冶金原料。碳化硅粗料已能大量供应，不能算高新技术产品,而技术含量极高的纳米级碳化硅粉体的应用短时间不可能形成规模经济，但碳化硅片在生产过程中需要对其进行磨削加工，在磨削加工过程中会产生大量的粉尘，会加工环境产生很大的污染，而且目前的碳化硅片的磨削设备每次加工只能进行单面加工，加工完一面后还需要对其进行翻转后再进行加工，效率低下而且不便于进行除尘。
3.因此，现在亟需设计能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备。
5.本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备，包括放置台，所述放置台的顶部固定连接有加工台，所述放置台的内底部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端通过转轴转动连接有转动轴，所述转动轴的另一端与放置台的内侧壁转动连接，所述转动轴上固定连接有第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮的上下方分别设有第二齿条板和第一齿条板，所述第二齿条板和第一齿条板的齿面均与第二齿轮啮合，所述第一齿轮的一侧啮合连接有第三齿条板。
6.优选的，所述放置台的顶部对称开设有第一滑槽，所述第一齿条板和第二齿条板远离第二齿轮的一端侧面均固定连接有移动柱，每个所述移动柱的顶部均贯穿对应第一滑槽固定连接有连接块，两个所述移动柱均与对应第一滑槽滑动连接，每个所述连接块靠近加工台的一侧均固定连接有驱动箱，每个所述驱动箱的内部均固定连接有电动机，每个所述电动机的输出端均通过转轴贯穿驱动箱转动连接有磨削板。
7.优选的，所述第二齿条板的底部设有支撑块，所述支撑块与放置台的内底部固定
连接。
8.优选的，所述第三齿条板的顶端贯穿加工台呈滑动连接，所述第三齿条板的顶端固定连接有插座，所述放置台的内底部开设有第二滑槽，所述第二滑槽与第三齿条板呈配合设置。
9.优选的，所述插座的内部开设有插槽。
10.优选的，所述加工台的顶部固定连接有集尘网，所述加工台的内部滑动连接有集尘盒，所述集尘盒的外侧开设有拉槽。
11.优选的，所述加工台的顶部对称固定连接有固定座，每个所述固定座的顶部固定连接有气缸箱，每个所述气缸箱内均固定连接有气缸，每个所述气缸的伸缩杆均贯穿对应气缸箱固定连接有固定夹。
12.本实用新型的有益效果是：本实用新型可以将硅片放置在插座上，通过启动放置台内部的电机带动转动轴使第二齿轮转动，从而带动第一齿条板和第二齿条板运动，使移动柱靠近带动磨削板对放置的硅片进行打磨，同时气缸箱能带动固定夹对放置的硅片进行固定，在磨削板靠近进行磨削的过程中，转动轴上的第一齿轮同步转动带动第三齿条板运动时插座下移，方便磨削板对硅片的两侧同步进行磨削，磨削过程中产生的粉末会落入集尘盒内进行收集，实现同时对硅片两面进行磨削，并且能收集打磨粉末。
附图说明
13.图1为本实用新型的立体结构示意图；
14.图2为本实用新型的正视结构示意图；
15.图3为本实用新型的侧视内部结构示意图;
16.图4为本实用新型的俯视内部结构示意图;
17.图5为本实用新型的插座内部结构示意图。
18.附图标记说明：1、放置台；2、加工台；3、集尘盒；4、拉槽；5、移动柱；6、连接块；7、驱动箱；8、磨削板；9、集尘网；10、固定座；11、气缸箱；12、固定夹；13、插座；14、第一滑槽；15、第一齿条板；16、支撑块；17、第二齿条板；18、第三齿条板；19、第一齿轮；20、第二齿轮；21、第二滑槽；22、固定板；23、电机；24、转动轴；25、插槽。
具体实施方式
19.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
20.如图1-5所示，本实用新型提供了一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备，包括放置台1，所述放置台1的顶部固定连接有加工台2，所述放置台1的内底部固定连接有固定板22，所述固定板22的顶部固定连接有电机23，所述电机23的输出端通过转轴转动连接有转动轴24，所述转动轴24的另一端与放置台1的内侧壁转动连接，所述转动轴24上固定连接有第一齿轮19和第二齿轮20，所述第二齿轮20的上下方分别设有第二齿条板17和第一
齿条板15，所述第二齿条板17和第一齿条板15的齿面均与第二齿轮20啮合，所述第一齿轮19的一侧啮合连接有第三齿条板18，电机23能带动转动轴24转动使第一齿轮19和第二齿轮20转动，带动两个移动柱5和插座13进行同步运动。
21.进一步的，所述放置台1的顶部对称开设有第一滑槽14，所述第一齿条板15和第二齿条板17远离第二齿轮20的一端侧面均固定连接有移动柱5，每个所述移动柱5的顶部均贯穿对应第一滑槽14固定连接有连接块6，两个所述移动柱5均与对应第一滑槽14滑动连接，每个所述连接块6靠近加工台2的一侧均固定连接有驱动箱7，每个所述驱动箱7的内部均固定连接有电动机，每个所述电动机的输出端均通过转轴贯穿驱动箱7转动连接有磨削板8，两个驱动箱7对称设置有利于对硅片进行双面同时打磨。
22.进一步的，所述第二齿条板17的底部设有支撑块16，所述支撑块16与放置台1的内底部固定连接，支撑块16有利于第二齿条板17所连接的移动柱5稳定滑动。
23.进一步的，所述第三齿条板18的顶端贯穿加工台2呈滑动连接，所述第三齿条板18的顶端固定连接有插座13，所述放置台1的内底部开设有第二滑槽21，所述第二滑槽21与第三齿条板18呈配合设置，插座13有利于在固定打磨前放置硅片。
24.进一步的，所述插座13的内部开设有插槽25，插槽25有利于使放置的硅片保持稳定。
25.进一步的，所述加工台2的顶部固定连接有集尘网9，所述加工台2的内部滑动连接有集尘盒3，所述集尘盒3的外侧开设有拉槽4，集尘网9和集尘箱有利于对打磨过程中产生的粉末进行收集处理。
26.进一步的，所述加工台2的顶部对称固定连接有固定座10，每个所述固定座10的顶部固定连接有气缸箱11，每个所述气缸箱11内均固定连接有气缸，每个所述气缸的伸缩杆均贯穿对应气缸箱11固定连接有固定夹12，固定夹12有利于固定硅片，使硅片能稳定打磨。
27.工作原理：先将硅片放置在插座13上，启动气缸箱11带动固定夹12对硅片进行固定，然后启动放置台1内部的电机23带动转动轴24使第二齿轮20转动，从而带动第一齿条板15和第二齿条板17运动，使移动柱5靠近带动磨削板8对放置的硅片进行打磨，在磨削板8靠近进行磨削的过程中，转动轴24上的第一齿轮19同步转动带动第三齿条板18运动时插座13下移，方便磨削板8对硅片的两侧同步进行磨削，磨削过程中产生的粉末会落入集尘盒3内进行收集，实现同时对硅片两面进行磨削，并且能收集打磨粉末。
28.以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。