一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备的制作方法

文档序号:30037905发布日期:2022-05-17 10:39阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,包括放置台(1),其特征在于:所述放置台(1)的顶部固定连接有加工台(2),所述放置台(1)的内底部固定连接有固定板(22),所述固定板(22)的顶部固定连接有电机(23),所述电机(23)的输出端通过转轴转动连接有转动轴(24),所述转动轴(24)的另一端与放置台(1)的内侧壁转动连接,所述转动轴(24)上固定连接有第一齿轮(19)和第二齿轮(20),所述第二齿轮(20)的上下方分别设有第二齿条板(17)和第一齿条板(15),所述第二齿条板(17)和第一齿条板(15)的齿面均与第二齿轮(20)啮合,所述第一齿轮(19)的一侧啮合连接有第三齿条板(18)。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述放置台(1)的顶部对称开设有第一滑槽(14),所述第一齿条板(15)和第二齿条板(17)远离第二齿轮(20)的一端侧面均固定连接有移动柱(5),每个所述移动柱(5)的顶部均贯穿对应第一滑槽(14)固定连接有连接块(6),两个所述移动柱(5)均与对应第一滑槽(14)滑动连接,每个所述连接块(6)靠近加工台(2)的一侧均固定连接有驱动箱(7),每个所述驱动箱(7)的内部均固定连接有电动机,每个所述电动机的输出端均通过转轴贯穿驱动箱(7)转动连接有磨削板(8)。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述第二齿条板(17)的底部设有支撑块(16),所述支撑块(16)与放置台(1)的内底部固定连接。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述第三齿条板(18)的顶端贯穿加工台(2)呈滑动连接,所述第三齿条板(18)的顶端固定连接有插座(13),所述放置台(1)的内底部开设有第二滑槽(21),所述第二滑槽(21)与第三齿条板(18)呈配合设置。5.根据权利要求4所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述插座(13)的内部开设有插槽(25)。6.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述加工台(2)的顶部固定连接有集尘网(9),所述加工台(2)的内部滑动连接有集尘盒(3),所述集尘盒(3)的外侧开设有拉槽(4)。7.根据权利要求6所述的一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,其特征在于:所述加工台(2)的顶部对称固定连接有固定座(10),每个所述固定座(10)的顶部固定连接有气缸箱(11),每个所述气缸箱(11)内均固定连接有气缸,每个所述气缸的伸缩杆均贯穿对应气缸箱(11)固定连接有固定夹(12)。

技术总结
本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体是一种碳化硅片生产用便于收集粉尘的磨削设备,包括放置台,所述放置台的顶部固定连接有加工台,所述放置台的内底部固定连接有固定板,所述固定板的顶部固定连接有电机,所述电机的输出端通过转轴转动连接有转动轴,所述转动轴的另一端与放置台的内侧壁转动连接,所述转动轴上固定连接有第一齿轮和第二齿轮,所述第二齿轮的上下方分别设有第二齿条板和第一齿条板,所述第二齿条板和第一齿条板的齿面均与第二齿轮啮合,所述第一齿轮的一侧啮合连接有第三齿条板,本实用新型能实现同时对硅片两面进行磨削,并且能收集打磨产生的粉末。并且能收集打磨产生的粉末。并且能收集打磨产生的粉末。


技术研发人员:贺贤汉 李有群 章磊 董志勇 孙大方
受保护的技术使用者:安徽微芯长江半导体材料有限公司
技术研发日:2021.12.08
技术公布日:2022/5/16
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1