一种CVD镀膜机的制作方法

一种cvd镀膜机
技术领域
1.本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种cvd镀膜机。


背景技术：

2.化学气相沉积简称cvd，是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，而现有的化学气相沉积镀膜机主流的电极设计为阴极电极和阳极电极均放置于真空镀膜室内，镀膜激发源主要采用的是射频电源或者直流高压电源，cvd镀膜机的使用大大提升了生产效率，但是它也存在一些问题，例如镀膜箱的上下壳体开合过程中是采用常规金属活动页设置，存在操作不当，大力扣合的使用安全隐患。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种cvd镀膜机，解决了上述背景技术提出的问题。
4.本实用新型提供如下技术方案：一种cvd镀膜机，包括镀膜部件本体，所述镀膜部件本体的外侧套接有镀膜箱体，且镀膜箱体的底部连接有支撑架，且镀膜部件本体的一端连接有机械泵，所述镀膜箱体中部的表面分别连接有复合杆件和缓冲部件，且复合杆件的底部与缓冲部件顶部的内侧卡接。
5.精选的，所述机械泵的底部与支撑架底部的内侧之间设置有升降连接部件，且升降连接部件的内部包括有底板，且底板活动套接在支撑架底部的内侧，所述底板的顶面与机械泵的底面固定连接，所述底板的顶部与支撑架中部的内壁之间固定安装有电动伸缩杆。
6.精选的，所述底板的顶面固定连接有t型杆，且t型杆中部的外侧活动套接在支撑架底部内壁的内侧，所述底板顶部设置的t型杆顶部的表面与支撑架底部的内壁之间固定连接有第二压缩弹簧。
7.精选的，所述复合杆件的内部包括有直杆和弧杆，且支杆的一端与弧杆的一端固定连接，所述复合杆件内部直杆的表面固定连接过渡块，且过渡块通过螺丝与镀膜箱体顶部的反面固定连接。
8.精选的，所述缓冲部件的内部包括有限位套板和活动板，且限位套板的底面与活动板的顶面之间固定连接有第一压缩弹簧，所述限位套板的一侧与镀膜箱体一侧的侧面固定连接，所述限位套板另一侧的内部与复合杆件内部的弧杆的另一端活动套接，且活动板的顶面与复合杆件内部的弧杆另一端的端面活动连接。
9.精选的，第一压缩弹簧的内部活动套接有限位杆，且限位杆的一端活动套接在限位套板的内部，而限位杆另一端则是与活动板的顶面固定连接。
10.与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
11.1、本实用新型所设置的缓冲部件、复合杆件配合组装后，可形成缓冲开合机构，继而在不干涉镀膜箱体内部上下箱体往复开合作业的同时对上下箱体的闭合冲击进行缓冲
保护，消除安全隐患。
12.2、本实用新型所设置的升降连接部件配合机械泵使用后，可将机械泵、镀膜部件本体、镀膜箱体、支撑架进行一体化设置，方便运输转移设备的同时保证机械泵的作业震动不影响整体设备。
附图说明
13.图1为本实用新型结构的后视示意图；
14.图2为本实用新型结构的正视示意图；
15.图3为本实用新型结构图1中a处的放大示意图；
16.图4为本实用新型结构图1中b处的放大示意图。
17.图中：1、镀膜部件本体；2、镀膜箱体；3、支撑架；4、机械泵；5、复合杆件；6、缓冲部件；61、限位套板；62、活动板；63、第一压缩弹簧；7、升降连接部件；71、底板；72、电动伸缩杆；73、第二压缩弹簧。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1、图4，一种cvd镀膜机，包括镀膜部件本体1，镀膜部件本体1的外侧套接有镀膜箱体2，且镀膜箱体2的底部连接有支撑架3，且镀膜部件本体1的一端连接有机械泵4，机械泵4的底部与支撑架3底部的内侧之间设置有升降连接部件7，且升降连接部件7的内部包括有底板71，且底板71活动套接在支撑架3底部的内侧，底板71的顶面与机械泵4的底面固定连接，底板71的顶部与支撑架3中部的内壁之间固定安装有电动伸缩杆72，升降连接部件7配合机械泵4使用后，可将机械泵4、镀膜部件本体1、镀膜箱体2、支撑架3进行一体化设置，方便运输转移设备的同时保证机械泵4的作业震动不影响整体设备，底板71的顶面固定连接有t型杆，且t型杆中部的外侧活动套接在支撑架3底部内壁的内侧，底板71顶部设置的t型杆顶部的表面与支撑架3底部的内壁之间固定连接有第二压缩弹簧73，第二压缩弹簧73是作为电动伸缩杆72往复移动缓冲结构。
20.请参阅图1、图2、图3、图4，镀膜箱体2中部的表面分别连接有复合杆件5和缓冲部件6，且复合杆件5的底部与缓冲部件6顶部的内侧卡接，复合杆件5的内部包括有直杆和弧杆，且支杆的一端与弧杆的一端固定连接，复合杆件5内部直杆的表面固定连接过渡块，且过渡块通过螺丝与镀膜箱体2顶部的反面固定连接，复合杆件5为直杆和弧杆组成，满足镀膜箱体2内部的上下箱体的往复弧形移动，缓冲部件6的内部包括有限位套板61和活动板62，且限位套板61的底面与活动板62的顶面之间固定连接有第一压缩弹簧63，限位套板61的一侧与镀膜箱体2一侧的侧面固定连接，限位套板61另一侧的内部与复合杆件5内部的弧杆的另一端活动套接，且活动板62的顶面与复合杆件5内部的弧杆另一端的端面活动连接，缓冲部件6、复合杆件5配合组装后，可形成缓冲开合机构，继而在不干涉镀膜箱体2内部上下箱体往复开合作业的同时对上下箱体的闭合冲击进行缓冲保护，消除安全隐患，第一压
缩弹簧63的内部活动套接有限位杆，且限位杆的一端活动套接在限位套板61的内部，而限位杆另一端则是与活动板62的顶面固定连接，限位杆对第一压缩弹簧63的往复变形活动进行约束，保证第一压缩弹簧63的正常活动。
21.工作原理：使用时，当镀膜箱体2内部的上下箱体往复开合过程中，复合杆件5内部的弧杆将会往复贯穿限位套板61一侧的内部与活动板62接触并顶压，继而利用第一压缩弹簧63的往复变形的结构特点进行压力缓冲；
22.当需要使用机械泵4时，启动升降连接部件7内部的电动伸缩杆72，由电动伸缩杆72内部的伸缩杆推移底板71以及机械泵4进行下降，直至底板71的底面接触到底面，完成后，正常使用机械泵4，而当需移动整体设备时，则是关闭升降连接部件7内部的电动伸缩杆72，由电动伸缩杆72内部的伸缩杆推移底板71以及机械泵4进行上移复位，使镀膜部件本体1、镀膜箱体2、支撑架3、机械泵4成为整体，方便移动。
23.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。同时在本实用新型的附图中，填充图案只是为了区别图层，不做其他任何限定。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。