技术特征：
1.一种cvd镀膜机，包括镀膜部件本体(1)，其特征在于：所述镀膜部件本体(1)的外侧套接有镀膜箱体(2)，且镀膜箱体(2)的底部连接有支撑架(3)，且镀膜部件本体(1)的一端连接有机械泵(4)，所述镀膜箱体(2)中部的表面分别连接有复合杆件(5)和缓冲部件(6)，且复合杆件(5)的底部与缓冲部件(6)顶部的内侧卡接。2.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜机，其特征在于：所述机械泵(4)的底部与支撑架(3)底部的内侧之间设置有升降连接部件(7)，且升降连接部件(7)的内部包括有底板(71)，且底板(71)活动套接在支撑架(3)底部的内侧，所述底板(71)的顶面与机械泵(4)的底面固定连接，所述底板(71)的顶部与支撑架(3)中部的内壁之间固定安装有电动伸缩杆(72)。3.根据权利要求2所述的一种cvd镀膜机，其特征在于：所述底板(71)的顶面固定连接有t型杆，且t型杆中部的外侧活动套接在支撑架(3)底部内壁的内侧，所述底板(71)顶部设置的t型杆顶部的表面与支撑架(3)底部的内壁之间固定连接有第二压缩弹簧(73)。4.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜机，其特征在于：所述复合杆件(5)的内部包括有直杆和弧杆，且支杆的一端与弧杆的一端固定连接，所述复合杆件(5)内部直杆的表面固定连接过渡块，且过渡块通过螺丝与镀膜箱体(2)顶部的反面固定连接。5.根据权利要求4所述的一种cvd镀膜机，其特征在于：所述缓冲部件(6)的内部包括有限位套板(61)和活动板(62)，且限位套板(61)的底面与活动板(62)的顶面之间固定连接有第一压缩弹簧(63)，所述限位套板(61)的一侧与镀膜箱体(2)一侧的侧面固定连接，所述限位套板(61)另一侧的内部与复合杆件(5)内部的弧杆的另一端活动套接，且活动板(62)的顶面与复合杆件(5)内部的弧杆另一端的端面活动连接。6.根据权利要求5所述的一种cvd镀膜机，其特征在：于第一压缩弹簧(63)的内部活动套接有限位杆，且限位杆的一端活动套接在限位套板(61)的内部，而限位杆另一端则是与活动板(62)的顶面固定连接。
技术总结
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种CVD镀膜机，包括镀膜部件本体，镀膜部件本体的外侧套接有镀膜箱体，且镀膜箱体的底部连接有支撑架，且镀膜部件本体的一端连接有机械泵，镀膜箱体中部的表面分别连接有复合杆件和缓冲部件，且复合杆件的底部与缓冲部件顶部的内侧卡接。本实用新型所设置的缓冲部件、复合杆件配合组装后，可形成缓冲开合机构，继而在不干涉镀膜箱体内部上下箱体往复开合作业的同时对上下箱体的闭合冲击进行缓冲保护，消除安全隐患，所设置的升降连接部件配合机械泵使用后，可将机械泵、镀膜部件本体、镀膜箱体、支撑架进行一体化设置，方便运输转移设备的同时保证机械泵的作业震动不影响设备。备的同时保证机械泵的作业震动不影响设备。备的同时保证机械泵的作业震动不影响设备。
技术研发人员：因福明 沈杰
受保护的技术使用者：昆山福钻新材料科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/9/19