技术特征：
1.一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，包括：化学气相沉积反应箱，其特征在于，所述化学气相沉积反应箱的内侧安装于分流腔结构、运输结构、清洁结构以及气体调节结构；所述分流腔结构包含有：若干个分流反应腔、活性气体罐、若干个中转箱、若干个中转引流阀门、抽气泵、分流阀门、若干个引流管以及密封组件；若干个所述分流反应腔均匀的安装于所述化学气相沉积反应箱的内侧，所述活性气体罐安装于所述化学气相沉积反应箱上，若干个所述中转箱分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述中转引流阀门分别插装于若干个所述分流反应腔上，且若干个所述中转引流阀门分别插装于若干个所述中转箱上，所述抽气泵安装于所述活性气体罐上，所述分流阀门安装于所述抽气泵上，且所述分流阀门连接于若干个所述引流管上，若干个所述引流管分别插装于若干个所述分流负压腔上，所述密封组件分别安装于若干个所述分流反应腔上。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述运输结构包含有：多项式螺纹杆、若干个搬运螺纹管、若干个限位轴、若干个载物凹型搬运块、搬运驱动机、若干个热丝、若干个钼电极、若干个热丝支架以及升降组件；所述多项式螺纹杆通过轴承插装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述限位轴分别插装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述搬运螺纹管分别插装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述搬运螺纹管分别套装于多项式螺纹杆上，所述搬运驱动机安装于所述化学气相沉积反应箱上，若干个所述热丝支架分别通过升降组件安装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述热丝以及若干个所述钼电极分别安装于若干个所述热丝支架以及若干个所述载物凹型搬运块上。3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述气体调节结构包含有：若干个分流圆环管、若干个网状分流管、若干个中转收集箱、若干个抽气收集泵、若干个电热管、若干个冷却管以及若干个散热器；若干个所述分流圆环管分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述网状分流管分别连接于若干个所述引流管上，且若干个所述网状分流管分别连接于若干个所述分流圆环管上，若干个所述中转收集箱分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述抽气收集泵分别连接于若干个所述中转收集箱上，且若干个所述抽气收集泵另一端分别连接于若干个所述分流反应腔上，若干个所述电热管以及若干个所述冷却管分别连接于若干个所述中转箱上，若干个所述散热器分别安装于若干个所述中转箱的外侧上。4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述清洁结构包含有：若干个限位轴管、若干个电磁圆环、若干个磁铁圆环、若干个回形清洁块以及若干个回形清洁刷；若干个所述限位轴管分别两两平行安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述回形清洁块分别套装于若干个所述限位轴管上，若干个所述电磁铁圆环分别水平平行套装于若干个所述限位轴管上，若干个所述磁铁圆环分别安装于若干个所述回形清洁块，若干个所述回形清洁刷分别安装于若干个所述回形清洁块上。5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述密封组件包含有：若干个充气泵、若干个升降液压推杆、若干个凸型密封升降辅助块、若
干个升降密封凹型滑道、若干个升降密封凸型滑块、若干个升降密封板、若干个回形充气垫、若干个凸型密封挤压块以及若干个密封胶垫；若干个所述升降液压推杆分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述凸型密封升降辅助块分别安装于若干个所述升降液压推杆的推动端上，若干个所述升降密封块分别安装于若干个所述凸型密封升降辅助块上，若干个所述升降密封凹型滑道分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述升降密封凸型滑块分别安装于若干个所述升降密封板上，且若干个所述升降密封凸型滑块分别活动插装于若干个所述升降密封凹型滑道的内侧，若干个所述升降密封板上分别开设有挤压口，若干个所述回形充气垫分别安装于若干个所述升降密封板上，若干个所述凸型密封挤压块分别活动插装于若干个所述挤压口的内侧，且若干个所述凸型密封挤压块分别连接于若干个所述回形充气垫上，若干个所述密封胶垫分别安装于若干个所述凸型密封挤压块。6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述升降组件包含有：若干个升降剪叉式支架、若干个升降液压缸、若干个运输轴、若干个运输轮、若干个运输链轮、若干个运输链条以及若干个运输驱动机；若干个所述升降剪叉式支架分别安装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述升降液压缸分别安装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述热丝支架分别安装于若干个所述升降剪叉式支架以及若干个所述升降液压缸的推动端上，若干个所述运输轴分别通过轴承安装于若干个所述热丝支架上，若干个所述运输轮分别安装于若干个所述运输轴上，若干个所述运输链轮分别安装于若干个所述运输轴上，若干个所述运输驱动机驱动端分别连接于若干个所述运输轴上，若干个所述运输链条分别套装于若干个所述运输链轮上。7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，若干个所述运输驱动机以及若干个所述运输链条上分别设置有防护板。8.根据权利要求7所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，若干个所述中转箱内侧分别设置有气体传感器。9.一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺，包括以下操作步骤：步骤s1、气体中转引流；步骤s2、气体加热镀膜；步骤s3、气体中转收集；步骤s4、原料运输；步骤s1气体中转引流：通过将需要使用的气体引流到中转箱的内侧，通过中转箱对不同原料的气体进行初步处理；步骤s2气体加热镀膜：通过运输结构对板材进行加热；步骤s3气体中转收集：将反应产生的废气进行回收，收集；步骤s4原料运输：通过原料运输进行逐一运行加工。10.根据权利要求9所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺，其特征在于，所述步骤s2，通过运输结构，各个分流反应腔同时调整高度，实现输送的稳定性，实现不同工艺参数下的沉积。
技术总结
本发明公开了一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备，本发明的有益效果是，复杂的工艺条件和顺序下，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，尤其是在会产生具有毒性、高污染的物质的工艺段中，一个相对独立的腔体尤其重要，可以采用特殊的材质和安全处理工艺，并针对性的完成腔体清洁和尾气的处理，同时避免了在同一腔体中的不同工艺段产生交叉污染的风险，既节省了沉积反应的时间，又增加了安全性，并且提高了腔体和设备的使用寿命。命。命。
技术研发人员：王萍
受保护的技术使用者：德州智南针机械科技有限公司
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2022/5/17