一种纳米尺寸金属W膜/NiTi复合板材及其制备方法

文档序号:30210085发布日期:2022-05-31 11:17阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材,其特征在于,包括金属w膜层和niti合金层,niti合金层的化学式为ni
a
ti
50-a
,49.5≤a≤51.5。2.一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,将niti合金板材的双面均进行机械抛光,之后用乙醇和丙酮超声清洗抛光后的niti合金板材,然后使用氮气喷枪中氮气吹干,放入超高真空磁控溅射设备基底台上;步骤2,将niti合金靶材和金属w靶材放在磁控溅射仪中的直流靶台上,在溅射仪器的真空度为1.0
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10-5
~4
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10-5
pa的条件下,再通入氩气,调节真空室真空度为1~7pa,然后开始起辉,进行预溅射;步骤3,待预溅射完成后,将真空室的真空度调制3~4pa,在niti合金板材按照先沉积niti合金膜再沉积w膜的顺序依次交替沉积,最后一层沉积niti合金膜,控制w膜和niti膜的厚度相同,最终在niti合金板材的双面均沉积w/niti纳米多层膜;步骤4,将多个沉积w/niti纳米多层膜的niti合金板叠放在一起,然后通过钢套包裹,并通过焊接对钢套进行密封,随后将密封后钢套在进行热轧,最后去掉钢套,得到纳米尺寸金属w膜/niti复合板材。3.根据权利要求2所述的一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,所述步骤1中,niti合金板材的厚度为0.1-2毫米。4.根据权利要求2所述的一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,所述步骤2中,预溅射时间为20min~60min。5.根据权利要求2所述的一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,沉积niti合金膜时,溅射功率为100-600w,溅射速率为20-60nm/min;沉积w膜时,溅射功率为100-600w,溅射速率10-40nm/min。6.根据权利要求2所述的一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,单层w膜和单层niti合金膜的厚度均为5-150纳米;w/niti纳米多层膜的总厚度为200-5000纳米。7.根据权利要求2所述的一种纳米尺寸金属w膜/niti复合板材的制备方法,其特征在于,所述步骤4中,热轧时,开轧温度为700-900℃,终轧温度为900-1100℃,热轧变形量为30%-40%。

技术总结
本发明公开了一种纳米尺寸金属W膜/NiTi复合板材及其制备方法,包括金属W膜层和NiTi合金层,NiTi合金层的化学式为Ni


技术研发人员:王涛涛 艾桃桃 邹祥宇 唐玲 王永善 廖仲尼 刘艳 侯军才 王博
受保护的技术使用者:陕西理工大学
技术研发日:2022.03.15
技术公布日:2022/5/30
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