技术特征：
1.一种硅包覆钨复合粉，其特征在于，所述复合粉以钨粉为核心颗粒，以硅粉为包覆层包覆在核心颗粒的表面。2.一种硅包覆钨复合粉的制备方法，其特征在于，所述制备方法以钨粉、硅粉为原料，经混合、真空脱气、高温烧结和快速冷却后，制备得到硅钨粉团聚体，然后经气破处理，制备得到硅包覆钨复合粉。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将钨粉与球磨破碎后的硅粉混合均匀；（2）将混合后的粉末置于高温烧结炉中，先于500℃～590℃进行真空脱气，然后在1410℃～1550℃、通纯氢条件下进行高温烧结，烧结完成后冷却至室温；（3）对烧结后的硅钨粉进行气破处理，然后经分散后过筛处理，得到硅包覆钨复合粉。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤（1）中所述混合后粉末中硅粉的含量为40wt%～60 wt %。5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述球磨破碎以高纯硅球为球磨介质，步骤（2）中所述高温烧结的时间为0.5-2h。6.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤（1）中所述球磨为将硅粉在球料比为1.5:1～2.5:1条件下进行球磨，球磨时间为10-50min。7.根据权利要求3-5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中采用三维混料器中混合均匀，混合介质为高纯硅球。8.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤（1）中在球料比为1:1～1:2下混合至均匀，混合时间为0.5-4h。9.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤（3）中所述气破处理的气体压力为3～5bar，分级轮频率为800～1500r/min；步骤（3）中所述分散选用超声分散。10.一种硅包覆钨复合粉在制备硅钨靶材中的应用，其特征在于，所述硅包覆钨复合粉选自权利要求1所述的硅包覆钨复合粉或者选自由权利要求2-9任一项所述方法制备的硅包覆钨复合粉。
技术总结
本发明涉及一种硅包覆钨复合粉及其制备方法。本发明的硅包覆钨复合粉以钨粉为核心颗粒，在核心颗粒的表面均匀包覆硅粉包覆层。本发明以钨粉、硅粉为原料，经混合、真空脱气、高温烧结、快速冷却，然后经气破制备了分散性较好、表面均匀包覆粗颗粒硅的硅钨复合粉。本发明通过对硅粉进行球磨破碎，增加烧结过程中的融化速率，提高包覆性能；真空脱气和烧结可确保在硅与氧发生反应之前脱除粉末中的氧；使硅粉以快速融化，从而包覆钨粉，制备分散性较好的复合粉；最终制备出粗颗粒硅包覆钨复合粉。采用本发明方法制备得到的硅包覆钨复合粉可应用于制备钨均匀分布的硅钨薄膜，广泛应用在硅钨靶材中。硅钨靶材中。
技术研发人员：张龙辉 周俊安 徐国钻 杨诚辉 林丽萍 黄月玲 黄春燕 刘莉 李重义
受保护的技术使用者：崇义章源钨业股份有限公司
技术研发日：2022.06.02
技术公布日：2022/8/19