一种酸蚀液及其应用的制作方法

1.本发明属于电解法除外的化学法金属材料清洗及除油技术领域，具体地，涉及一种酸蚀液及其应用。


背景技术：

2.气体扩散器(diff)是薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)等领域用到化学气相沉积工艺(pecvd)中的核心部件，具有精度高，空洞多的特点，气体扩散器常用于腔室顶部，气体通过孔洞进入腔室内部，在高温高压的条件下，形成等离子体对玻璃基板成膜。因腔室内部的高温高压条件，故对气体扩散器的要求十分严格，必须保证绝对的洁净度和平滑度，无毛刺(arcing)和颗粒物(particle)残留，不然在客户端使用，容易产生毛刺或颗粒物残留等不良品。
3.气体扩散器上沉积的膜主要成分为氟化物或氮化硅等，国内的主要维修去膜工艺采用强酸强碱去除。如中国专利申请公布号cn102108482a，发明名称为“一种物理气相沉积设备备件清洗方法”，公开的方法对铝腔备件使用含有磷酸和去离子水的混合溶液去除铝膜层，然后使用硝酸、氢氟酸和去离子水的混合溶液浸泡并冲洗或者喷砂的方式进行后处理，对钛腔备件使用含有双氧水和氢氧化铵混合溶液去除铁膜层，然后使用含有硝酸、氢氟酸和去离子水的混合溶液浸泡并冲洗或者喷砂的方式进行后处理，对反溅腔备件，使用含有硝酸、氢氟酸和去离子水的混合溶液去除备件表面的氧化层，该方法可以较好地去除备件表面粘附的金属层或氧化层，在保证生产需要的清洁程度的前提下，具有简单易行、不受场地限制、耗时短的优点，能够更好地保证生产进度的需要。该方案虽能够完全去除沉积物，但在强酸强碱的溶液中浸泡时间过长，强酸浓度过大，造成产品孔洞的扩孔率增大，扩孔不均匀等现象，扩孔率增大会缩短了产品的维修次数，增加了客户的运营成本，而扩孔不均有可能直接导致产品报废。目前的去膜工艺扩孔大小在0.03～0.04mm，不均匀性在0.01～0.02mm之间。
4.目前对气体扩散器的清洗大多采用先碱洗再酸洗，如中国专利申请公布号cn113774389a，发明名称为“一种大世代液晶屏生产用气体扩散板的再生方法”，公开的方法首先检测气体扩散板的平面度；接着对气体扩散板进行整形处理；再对气体扩散板进行喷砂处理；然后对气体扩散板进行浸泡和高压清洗；然后对气体扩散板进行水磨处理、浸泡和高压清洗；然后对气体扩散板进行喷砂处理和水磨处理；然后对气体扩散板进行化学清洗、浸泡和高压清洗；然后对气体扩散板进行氧化处理和高压清洗；然后对气体扩散板进行吹干；最后对气体扩散板进行烘烤。该方法通过工艺流程的优化，有效降低了异物聚集、沉积的概率，但该方案碱洗之后先用弱酸，清洗效果不明，后使用单一强酸，虽去除了异物聚集，但可见对扩孔大小的影响也是存在的。


技术实现要素：

5.1、要解决的问题
6.针对现有技术中酸蚀液酸度过高，易导致气体扩散器等化学气相沉积工艺部件扩孔变大，不均匀性增加，寿命降低，而酸度过低导致聚集异物清洗不完全，影响终产品质量的技术问题，本技术提供一种酸蚀液，能清洁干净部件的同时，降低扩孔大小，减小不均匀性，提高使用寿命。本技术还提供了一种酸蚀液的应用，能有效清洗化学气相沉积工艺部件，缩短清洗时间。
7.2、技术方案
8.为达到上述目的，提供的技术方案为：
9.本技术的一种酸蚀液，由以下组分及含量组成：氢氟酸1～2wt％，硝酸20～30wt％。
10.优选的，氢氟酸2wt％，硝酸20wt％。本技术的一种酸蚀液是强酸与弱酸混合，其腐蚀性能减弱，但对沉积层的去除能力却得到加强。对沉积层进行去除的同时去除金属氧化层。
11.一种酸蚀液的应用，将所述酸蚀液应用于气相沉积设备的清洗工艺中。
12.优选的，将所述酸蚀液应用于tft-lcd的pecvd(化学气相沉积)工艺的气体扩散器。
13.进一步地，所述工艺包括碱洗、水洗和酸洗步骤，在水洗和酸洗步骤之间，还包括酸蚀步骤；所述酸蚀步骤使用权利要求1所述的酸蚀液。
14.优选的，在碱洗之前，进行自检、上挂、脱脂和水洗步骤。自检：检查产品外观和孔径，外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。上挂：注意对产品的保护。水洗：在水洗槽浸泡5min，常温，对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
15.优选的，酸洗步骤中，在酸洗槽浸泡20～40min，常温，成分可为草酸、磷酸、硫酸、硝酸中的一个或几个组成，主要成分的质量浓度为10～30％，进一步去除沉积层和金属氧化层。
16.优选的，酸洗后用水冲洗后，再进行高压清洗，单面冲洗30～50min，压力350～500mpa，双面合计冲洗1～2h，本步骤对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
17.进一步地，所述酸蚀的时间为1～3min。
18.进一步地，所述碱洗步骤使用碱洗液，所述碱洗液包括3～5wt％碳酸钠、氢氧化钠或氢氧化钾中的一种或多种。
19.优选的，所述碱洗液包括3wt％的氢氧化钠和2wt％的氢氧化钾。所述碱洗液还包括葡萄糖酸纳与络合物等添加物。本步骤对对沉积层进行消磨和去除。
20.进一步地，所述碱洗步骤的时间为20～40s，温度为30～40℃。
21.优选的，所述碱洗步骤的时间为30s，温度为40℃。碱洗后再次水洗：在水洗槽浸泡5min，常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
22.进一步地，在酸洗步骤后还包括喷砂步骤；所述喷砂步骤的工艺参数为压力2～3kg，砂材100～180目白刚玉，距离100～500mm，移速500～1200mm/s，pich为5～10mm。
23.优选的，压力为2.5kg，砂材为100目白刚玉，距离400mm，移速800mm/s，pich为8mm。
24.进一步地，所述喷砂步骤后进行第二次酸洗；所述第二次酸洗使用10～30wt％草酸、磷酸、硫酸或硝酸中的一种或多种；时间30～60min。
25.优选的，所述第二次酸洗使用20wt％的硝酸，时间为30～60min，温度为常温。成分为草酸、磷酸、硫酸或硝酸中的一个或几个组成，主要成分的质量浓度为10～30％。
26.进一步地，还包括在碱洗之前脱脂的步骤：在5～10wt％的表面活性剂中浸泡5～10min，温度45～55℃，超声波20～100khz。
27.优选的，所述表面活性剂为10wt％的isoprep 49l，浸泡10min，温度55℃，超声波频率80khz。
28.3、有益效果
29.采用本发明提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：
30.(1)本发明的一种酸蚀液，由氢氟酸1～2wt％和硝酸20～30wt％组成。用于扩散器等化学气相沉积工艺部件的清洗中，不易导致气体扩孔变大，延长了设备使用寿命，且聚集异物清洗完全，不影响终产品质量，具有去除膜层而不损伤基材的效果。
31.(2)本发明的一种酸蚀液的应用，将所述酸蚀液应用于气相沉积设备的清洗工艺中，包括碱洗、水洗和酸洗步骤，在水洗和酸洗步骤之间，还包括使用酸蚀液的酸蚀步骤。缩短强碱的浸泡时间，避免过刻，且能对沉积层进性刻蚀部分，起到疏松作用降低了扩孔大小，继而再进行酸蚀液浸泡，对沉积层有刻蚀作用，且可透过沉积层与基材反应，迫使沉积层脱落，最后再进行一次酸液的短时间浸泡，通过碱洗——酸蚀——酸洗的工艺，增加酸蚀工序，缩减扩孔大小，降低产品的维修次数，缩短客户端的使用成本。在化学气相沉积工艺部件清洗的实际作业中，扩孔大小低至0.014mm，不均匀性控制在≤0.01mm。
附图说明
32.图1为实施例1中一种酸蚀液清洗前后效果图，其中a和b为清洗前，c和d为清洗后；
33.图2为对比例1中一种酸蚀液清洗前后效果图，其中a和b为清洗前，c为清洗后；
34.图3为对比例2中一种酸蚀液清洗前后效果图，其中a和b为清洗前，c和d为清洗后；
35.图4为对比例3中一种酸蚀液清洗前后效果图，其中a和b为清洗前，c为清洗后；
36.图5为对比例4中一种酸蚀液清洗前后效果图，其中a和b为清洗前，c和d为清洗后；
37.图6为实施例1中一种酸蚀液应用的工艺流程图。
具体实施方式
38.为进一步了解本发明的内容，结合实施例和附图对本发明作详细描述。
39.实施例1
40.本实施例的一种酸蚀液及其应用，流程见图6，包括以下步骤：
41.1.自检：检查产品外观，孔径。外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。
42.2.上挂：注意对产品的保护。
43.3.超声脱脂：在脱脂槽中浸泡10min，成分为isoprep 49l或其他表面活性剂。温度为55℃。质量浓度为10％。超声波频率为80khz。对产品表面油污进行清洗，同时对附着物进行活化。
44.4.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温；对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
45.5.碱洗：在碱洗槽浸泡30s。温度为40℃。成分为氢氧化钠与氢氧化钾的混合物，还
可添加葡萄糖酸纳与络合物等添加物。氢氧化钠质量浓度为3％，氢氧化钾质量浓度为2％。对沉积层进行消磨和去除。
46.6.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温；对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
47.7.酸蚀：在酸蚀槽浸泡2min，温度为常温。成分为氢氟酸和硝酸，氢氟酸的质量浓度为2％。硝酸的质量浓度为20％。因是强酸与弱酸混合，其腐蚀性能减弱，但对沉积层的去除能力却得到加强。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
48.8.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
49.9.酸洗：在酸洗槽浸泡30min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为为20％。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
50.10.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
51.11.高压清洗：单面冲洗40min，压力为350mpa。双面合计冲洗1h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
52.12.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
53.13.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。孔径：扩孔0.02mm以内。
54.14.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
55.15.喷砂：产品未剥离完全，采用喷砂进行去除。压力为2.5kg，砂材为100#白刚玉，距离为400mm，移速为800mm/s，pich为8mm。
56.16.酸洗：对喷砂后对产品进行吹扫，然后进行上挂，上挂后对产品进行酸洗，酸洗时间为30min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为：20％。
57.17.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温；对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
58.18.高压清洗：单面冲洗50min，压力为350mpa。双面合计冲洗2h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
59.19.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
60.20.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。
61.21.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
62.具体数据见表1和表2，结果如图1所示。本技术中所列数据均为气体排出的面。
63.表1实施例1清洗前的孔径
[0064][0065]
孔径：0.505mm。极差：0.02mm。
[0066]
表2实施例1清洗后的孔径
[0067][0068]
孔径；0.519mm。极差：0.03mm。
[0069]
清洗后孔径扩大0.014mm，极差增大0.01mm。
[0070]
对比例1
[0071]
本对比例的一种酸蚀液及其应用，具体步骤如下：
[0072]
1.自检：检查产品外观，孔径。外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。
[0073]
2.上挂：注意对产品的保护。
[0074]
3.超声脱脂：在脱脂槽中浸泡10min，成分：isoprep 49l或其他表面活性剂。温度为55℃。质量浓度为10％。超声波频率为80khz。对产品表面油污进行清洗，同时对附着物进行活化。
[0075]
4.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温；对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0076]
5.碱洗：在碱洗槽浸泡150s。温度为40℃。成分为氢氧化钠与氢氧化钾，还可天健葡萄糖酸纳与络合物等添加物。氢氧化钠质量浓度为3％，氢氧化钾质量浓度为2％。对沉积层进行消磨和去除。
[0077]
6.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0078]
7.酸洗：在酸洗槽浸泡60min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为20％。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0079]
8.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0080]
9.高压清洗：单面冲洗40min，压力350mpa。双面合计冲洗1h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0081]
10.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0082]
11.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。
[0083]
12.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0084]
具体数据见表3和表4，结果如图2所示。
[0085]
表3对比例1清洗前的孔径(单位mm，下同)
[0086][0087]
孔径；0.519mm。极差：0.03mm。
[0088]
表4对比例1清洗后的孔径
[0089][0090]
孔径；0.545mm。极差：0.04mm。
[0091]
清洗后孔径扩大0.026mm，极差增大0.01mm。
[0092]
对比例2
[0093]
本对比例的一种酸蚀液及其应用，具体步骤如下：
[0094]
1.自检：检查产品外观，孔径。外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。
[0095]
2.上挂：注意对产品的保护。
[0096]
3.超声脱脂：在脱脂槽中浸泡10min，成分：isoprep 49l或其他表面活性剂。温度为55℃。质量浓度为10％。超声波频率为80khz。对产品表面油污进行清洗，同时对附着物进行活化。
[0097]
4.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0098]
5.碱洗：在碱洗槽浸泡150s。温度为40℃。成分为氢氧化钠与氢氧化钾，还可添加葡萄糖酸纳与络合物等添加物。氢氧化钠质量浓度为3％，氢氧化钾质量浓度为2％。对沉积层进行消磨和去除。
[0099]
6.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0100]
7.酸洗：在酸洗槽浸泡60min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为为20％。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0101]
8.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0102]
9.高压清洗：单面冲洗40min，压力为350mpa。双面合计冲洗1h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0103]
10.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0104]
11.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。孔径：扩孔0.02mm以内。
[0105]
12.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0106]
13.喷砂：产品未剥离完全，采用喷砂进行去除；压力：2.5kg，砂材为100#白刚玉，距离为400mm，移速为800mm/s，pich为8mm。
[0107]
14.酸洗：对喷砂后对产品进行吹扫，然后进行上挂，上挂后对产品进行酸洗，酸洗时间为30min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为20％。
[0108]
15.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0109]
16.高压清洗：单面冲洗50min，压力为350mpa。双面合计冲洗2h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0110]
17.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0111]
18.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。
[0112]
19.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0113]
具体数据见表5和表6，结果如图3所示。
[0114]
表5对比例2清洗前的孔径
[0115][0116]
孔径；0.519mm。极差：0.03mm。
[0117]
表6对比例2清洗后的孔径
[0118][0119]
孔径；0.545mm。极差：0.04mm。
[0120]
清洗后孔径扩大0.026mm，极差增大0.01mm。
[0121]
对比例3
[0122]
本对比例的一种酸蚀液及其应用，具体步骤如下：
[0123]
1.自检：检查产品外观，孔径。外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。
[0124]
2.上挂：注意对产品的保护。
[0125]
3.超声脱脂：在脱脂槽中浸泡10min，成分：isoprep 49l或其他表面活性剂。温度为55℃。质量浓度为10％。超声波频率为80khz。对产品表面油污进行清洗，同时对附着物进行活化。
[0126]
4.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0127]
5.碱洗：在碱洗槽浸泡30s。温度为40℃。成分为氢氧化钠与氢氧化钾，还可添加葡萄糖酸纳与络合物等添加物。氢氧化钠质量浓度为3％，氢氧化钾质量浓度为2％。对沉积层进行消磨和去除。
[0128]
6.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0129]
7.酸蚀：在酸蚀槽浸泡40s，温度为常温，成分为氢氟酸、硝酸中的组成，氢氟酸的质量浓度为为20％，硝酸的质量浓度为20％。因是强酸与弱酸混合，其腐蚀性能减弱，但对沉积层的去除能力却得到加强。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0130]
8.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0131]
9.酸洗：在酸洗槽浸泡30min，温度为常温；成分为硝酸，主要成分的质量浓度为20％。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0132]
10.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对
下一槽液的污染。
[0133]
11.高压清洗：单面冲洗40min，压力为350mpa。双面合计冲洗1h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0134]
12.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0135]
13.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。
[0136]
14.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0137]
具体数据见表7和表8，结果如图4所示。
[0138]
表7对比例3清洗前的孔径
[0139][0140]
孔径；0.505mm。极差：0.03mm。
[0141]
表8对比例3清洗前的孔径
[0142][0143]
孔径；0.526mm。极差；0.04mm。
[0144]
清洗后孔径扩大0.021mm，极差增大0.01mm。
[0145]
对比例4
[0146]
本对比例的一种酸蚀液及其应用，具体步骤如下：
[0147]
1.自检：检查产品外观，孔径。外观是否有磕碰划伤等缺陷，复核孔径。
[0148]
2.上挂：注意对产品的保护。
[0149]
3.超声脱脂：在脱脂槽中浸泡10min，成分：isoprep 49l或其他表面活性剂。温度为55℃。质量浓度为10％。超声波频率为80khz。对产品表面油污进行清洗，同时对附着物进行活化。
[0150]
4.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上脱脂剂进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0151]
5.碱洗：在碱洗槽浸泡30s。温度为40℃。成分为氢氧化钠与氢氧化钾，还可添加葡萄糖酸纳与络合物等添加物。氢氧化钠质量浓度为3％，氢氧化钾质量浓度为2％。对沉积层进行消磨和去除。
[0152]
6.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0153]
7.酸蚀：在酸蚀槽浸泡40s，温度为常温，成分为氢氟酸、硝酸中的组成，氢氟酸的质量浓度为20％。硝酸的质量浓度为20％。因是强酸与弱酸混合，其腐蚀性能减弱，但对沉积层的去除能力却得到加强。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0154]
8.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对
下一槽液的污染。
[0155]
9.酸洗：在酸洗槽浸泡30min，温度为常温，成分为硝酸，主要成分的质量浓度为20％。对沉积层进行去除，同时去除金属氧化层。
[0156]
10.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0157]
11.高压清洗：单面冲洗40min，压力为350mpa。双面合计冲洗1h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0158]
12.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0159]
13.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。
[0160]
14.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0161]
15.喷砂：产品未剥离完全，采用喷砂进行去除，压力为2.5kg，砂材为100#白刚玉，距离为400mm，移速为800mm/s，pich为8mm。
[0162]
16.酸洗：对喷砂后对产品进行吹扫，然后进行上挂，上挂后对产品进行酸洗，酸洗时间为30min，温度为常温，成分为硝酸，主要成分的质量浓度为20％。
[0163]
17.水洗：在水洗槽浸泡5min，温度为常温，对附着在产品上药液进行清洗，避免对下一槽液的污染。
[0164]
18.高压清洗：单面冲洗50min，压力为350mpa。双面合计冲洗2h，对孔内进行附着颗粒物理去除，同时对残留的药液进行清洗。
[0165]
19.cda吹干：对产品进行吹干，特别是孔内无水分残留。
[0166]
20.检查：对外观、孔径进行检测。外观：无异色。孔径：扩孔0.02mm以内。
[0167]
21.下挂：确认无误后进行下挂，下挂注意对产品的保护。
[0168]
具体数据见表9和表10，结果如图5所示。
[0169]
表9对比例4清洗前的孔径
[0170][0171]
孔径:0.505mm。极差：0.03mm。
[0172]
表10对比例4清洗前的孔径
[0173][0174]
孔径；0.526mm。极差：0.04mm。
[0175]
清洗后孔径扩大0.021mm，极差增大0.01mm。
[0176]
本技术的去膜工艺，缩短强碱的浸泡时间，降低了扩孔大小。同时也开发了一种混酸，在化学去膜后又新增物理喷砂环节，进一步确保沉积物的去除。此工艺可缩减扩孔率，降低产品的维修次数，缩短客户端的使用成本。在产品在实际作业中，扩孔0.014mm，不均性
控制在≤0.01mm。
[0177]
因化学气相沉积工艺部件的沉积膜比较致密，主要为氟化物或氮化硅等，现有技术中酸蚀液的选用首选为强酸强碱去膜，其主要原理为利用强酸强碱强行刻蚀掉表面沉积物，因沉积层的厚度不均，且化学刻蚀的反应速率不等，该工艺容易造成产品过刻且刻蚀不均的现象，即会造成扩孔过大且不均性差。
[0178]
针对此缺陷，本技术缩减了强碱的反应时间，避免过刻，且能对沉积层进性刻蚀部分起到疏松作用。继而再进行酸蚀液浸泡。酸蚀液选用氢氟酸1～2wt％和硝酸20～30wt％组成，对沉积层有刻蚀作用，且可透过沉积层与基材反应，迫使沉积层脱落。但高浓度的氢氟酸会对槽体材料腐蚀，且可能导致作业人员损伤，并有着污水处理困难等缺陷。
[0179]
由对比表11可以看出：实施例1碱洗时间缩短，增加低浓度酸蚀，提高去膜能力，工艺管控强，结合喷砂工艺，确保去膜后孔内无颗粒物附着。对比例1无酸蚀及喷砂步骤，存在扩孔过大，颗粒物残留问题，其主要是碱洗时间长，导致扩孔过大，但如不以此方式，单一的化学清洗很难一次解决去膜问题。对比例2在传统工艺上增加本技术的喷砂步骤，可以解决颗粒物残留问题，但仍存在扩孔过大的问题。对比例3增加酸蚀工艺，缩短了碱洗时间和高浓度酸蚀时间，但作业时很难把控工艺，清洗效果具有不确定性，作业后仍可能有颗粒物残留。对比例4增加酸蚀和喷砂步骤，缩短了碱洗时间，也缩短了高浓度酸蚀时间，在作业时很难把控工艺，对清洗效果亦具有不确定性。
[0180]
表11实施例1和对比例1-4的比较
[0181]