技术特征：
1.一种酸蚀液，其特征在于：由以下组分及含量组成：氢氟酸1～2wt％，硝酸20～30wt％。2.一种酸蚀液的应用，其特征在于：将权利要求1所述酸蚀液应用于气相沉积设备的清洗工艺中。3.根据权利要求2所述的一种酸蚀液的应用，所述工艺包括碱洗、水洗和酸洗步骤，其特征在于：在水洗和酸洗步骤之间，还包括酸蚀步骤；所述酸蚀步骤使用权利要求1所述的酸蚀液。4.根据权利要求3所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：所述酸蚀的时间为1～3min。5.根据权利要求3所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：所述碱洗步骤使用碱洗液，所述碱洗液包括3～5wt％碳酸钠、氢氧化钠或氢氧化钾中的一种或多种。6.根据权利要求5所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：所述碱洗步骤的时间为20～40s，温度为30～40℃。7.根据权利要求3所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：在酸洗步骤后还包括喷砂步骤；所述喷砂步骤的工艺参数为压力2～3kg，砂材100～180目白刚玉，距离100～500mm，移速500～1200mm/s，pich为5～10mm。8.根据权利要求7所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：所述喷砂步骤后进行第二次酸洗；所述第二次酸洗使用10～30wt％草酸、磷酸、硫酸或硝酸中的一种或多种；时间30～60min。9.根据权利要求3所述的一种酸蚀液的应用，其特征在于：还包括在碱洗之前脱脂的步骤：在5～10wt％的表面活性剂中浸泡5～10min，温度45～55℃，超声波20～100khz。
技术总结
本发明属于电解法除外的化学法金属材料清洗及除油技术领域，涉及一种酸蚀液及其应用。针对现有技术中酸蚀液酸度过高，易导致气体扩散器等化学气相沉积工艺部件扩孔变大，不均匀性增加，寿命降低，而酸度过低导致聚集异物清洗不完全，影响终产品质量的技术问题，本申请提供一种酸蚀液，能清洁干净部件的同时，降低扩孔大小，减小不均匀性，提高使用寿命。本申请还提供了一种酸蚀液的应用，能有效清洗化学气相沉积工艺部件，缩短清洗时间。缩短清洗时间。缩短清洗时间。
技术研发人员：许杰 王益宝 夏礼飞
受保护的技术使用者：合肥升滕半导体技术有限公司
技术研发日：2022.06.10
技术公布日：2022/9/9