1.一种靶材安装结构，包括背板结构和固定装置，其特征在于，所述背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；
2.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，所述连接组件包括：与背板平面平行设置的平板，其中，所述支撑轴通过第一旋转结构与所述平板中心连接；
3.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，所述连接组件包括：分别连接各个子背板的第二旋转结构与所述第一旋转结构的多个第一伸缩装置；其中，每个第一伸缩装置对应安装一个子背板及其第二旋转结构；
4.根据权利要求3所述的靶材安装结构，其特征在于，所述第一旋转结构包括多个分别绕所述支撑轴进行转动的第一子旋转结构；其中，每个所述第一子旋转结构连接一个第一伸缩装置的一端；
5.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，各个子背板的第二旋转结构通过调角结构与连接组件连接；
6.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，各个子背板上还设有平面度检测装置；
7.根据权利要求1-6任一项所述的靶材安装结构，其特征在于，所述第一旋转结构安装有连接工控机的第一驱动电机，用于驱动所述连接组件绕支撑轴进行转动；
8.一种真空镀膜机，用于离子束溅射镀膜，其特征在于，包括：真空腔体，离子源，权利要求1-7任一项所述的靶材安装结构，以及工控机；
9.根据权利要求8所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工控机还用于根据各个靶材的平面度参数获取靶材的表面消耗状态，并对靶材表面进行3d建模，通过3d模型呈现所述靶材的表面消耗状态。
10.根据权利要求8所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工控机还用于根据各个靶材的平面度参数获取靶材的表面消耗状态，根据所述表面消耗状态自动控制所述靶材安装结构的各个靶材位置，使得靶材的表面消耗处于动态平衡状态。