一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮的制作方法

1.本实用新型涉及砂轮技术领域，具体为一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮。


背景技术：

2.硅晶圆是指硅半导体电路制作所用的硅晶片，是以硅元素加以纯化，接着将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
3.现阶段，在利用树脂结合剂精磨砂轮对硅晶圆进行研磨加工的过程中，砂轮自身的温度会因为与硅晶圆产生摩擦而急剧上升，这些热量不易快速散失，砂轮长时间的处于高温状态下，树脂结合剂容易被烧毁，导致树脂结合剂精磨砂轮的使用寿命受到影响。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，该硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，结构新颖，构思巧妙，能够在砂轮对硅晶圆进行研磨加工的过程中实现对砂轮的水冷散热，从而解决了砂轮因工作过程中长时间处于高温状态而导致的使用寿命受到影响的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，包括砂轮主体，所述砂轮主体的外侧设置有外壳体，所述砂轮主体固定连接有穿过所述外壳体的连接轴，所述连接轴的两端分别固定连接有设置在所述外壳体前、后两侧的凸轮；
6.所述外壳体的顶部固定连接有水箱，所述水箱的下侧分别固定连接有设置在所述外壳体前、后两侧的水冷室，所述水冷室连通有插接至所述外壳体内部的喷淋管，所述喷淋管远离水冷室的一端活动连接有设置在所述外壳体内部的雾化喷头，所述水冷室的内部可滑动地设置有活塞板，所述活塞板的下侧固定连接有穿出所述水冷室外的活动杆，所述活动杆上套接有复位弹簧，所述复位弹簧的顶端固定连接在所述水冷室底部外壁上，所述活动杆的底端固定连接有用于抵触所述凸轮的活动板，所述水冷室与所述水箱之间设置有补水机构。
7.可选地，所述水箱的上表面开设有补水口。
8.可选地，所述活塞板的外侧壁设置有密封圈。
9.可选地，所述补水机构包括分别连通所述水冷室与所述水箱的若干补水孔，所述补水孔的下端开口封堵有位于所述水冷室内的密封板，所述密封板的顶部固定连接有延伸至所述水箱内部的连接杆，所述连接杆的外侧套设有位于所述水箱内的连接弹簧，所述连接杆的顶端固定连接有限位板。
10.可选地，所述密封板的上表面设置有密封垫。
11.本实用新型的有益效果为：
12.使用时，可通过连接轴使砂轮主体与驱动装置的输出轴连接，以此带动砂轮主体
转动，使砂轮主体可以对硅晶圆进行研磨加工，在驱动装置通过连接轴带动砂轮主体转动的过程中，连接轴还会带动凸轮同步转动，凸轮转动时通过与复位弹簧的配合作用带动活动板上下往复运动，活动板通过活动杆带动活塞板上下往复运动，活塞板上移时可对水冷室内部的冷却水进行挤压，使冷却水通过喷淋管输送至雾化喷头并雾化喷淋在砂轮主体的外表面，以此实现对砂轮主体的水冷散热，解决了砂轮主体因长时间处于高温状态而导致的使用寿命受到影响的问题，活塞板下移时，水冷室内部压强减小，密封板在压强作用下通过连接杆及限位板的配合作用压缩连接弹簧并下移，使补水孔不再被密封板封闭，此时水箱内部的水可通过补水孔流至水冷室的内部，起到补充水冷室内部冷却水的效果。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
14.图1是本实用新型整体结构主视图；
15.图2是本实用新型整体结构侧视图；
16.图3是本实用新型图2中a处结构放大示意图。
17.图中标号：1、砂轮主体；2、外壳体；3、连接轴；4、凸轮；5、水箱；6、补水口；7、水冷室；8、喷淋管；9、雾化喷头；10、活塞板；11、活动杆；12、复位弹簧；13、活动板；14、补水孔；15、密封板；16、连接杆；17、连接弹簧；18、限位板。
具体实施方式
18.为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.实施例一
22.如图1-3所示的一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，包括砂轮主体1，砂轮主体1的外侧设置有外壳体2，砂轮主体1的内部固定连接有穿过外壳体2的连接轴3，连接轴3的外侧分别固定连接有设置在外壳体2前后两侧的凸轮4，外壳体2的外侧固定连接有水箱5，水箱5的上表面开设有补水口6，通过补水口6方便为水箱5补充冷却水，水箱5的下侧分别固定连接有设置在外壳体2前后两侧的水冷室7，水冷室7的外侧分别插接有延伸至外壳体2内部的喷淋管8，喷淋管8的相对侧分别活动连接有设置在外壳体2内部的雾化喷头9，水冷
室7的内部设置有活塞板10，活塞板10的下侧固定连接有延伸出水冷室7的活动杆11，活动杆11的外侧设置有固定连接在水冷室7底部的复位弹簧12，活动杆11的底部固定连接有活动板13，水冷室7与水箱5之间设置有补水机构，补水机构包括分别开设在水冷室7与水箱5之间的补水孔14，补水孔14的下侧设置有密封板15，密封板15的上表面设置有与补水孔14贴合的密封垫，提高对补水孔14的封闭效果，密封板15的顶部固定连接有延伸至水箱5内部的连接杆16，连接杆16的外侧设置有连接弹簧17，连接杆16的顶部固定连接有限位板18。
23.使用时，可通过连接轴3使砂轮主体1与驱动装置的输出轴连接，以此带动砂轮主体1转动，使砂轮主体1可以对硅晶圆进行研磨加工，在驱动装置通过连接轴3带动砂轮主体1转动的过程中，连接轴3还会带动凸轮4同步转动，凸轮4转动时通过与复位弹簧12的配合作用带动活动板13上下往复运动，活动板13通过活动杆11带动活塞板10上下往复运动，活塞板10上移时可对水冷室7内部的冷却水进行挤压，使冷却水通过喷淋管8输送至雾化喷头9并雾化喷淋在砂轮主体1的外表面，以此实现对砂轮主体1的水冷散热，解决了砂轮主体1因长时间处于高温状态而导致的使用寿命受到影响的问题，活塞板10下移时，水冷室7内部压强减小，密封板15在压强作用下通过连接杆16及限位板18的配合作用压缩连接弹簧17并下移，使补水孔14不再被密封板15封闭，此时水箱5内部的水可通过补水孔14流至水冷室7的内部，起到补充水冷室7内部冷却水的效果。
24.实施例二
25.参照图2，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，活塞板10的外侧设置有密封圈，通过设置密封圈，能够提高活塞板10的密封性能。
26.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
28.以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。