技术特征：
1.一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，包括砂轮主体(1)，其特征在于：所述砂轮主体(1)的外侧设置有外壳体(2)，所述砂轮主体(1)固定连接有穿过所述外壳体(2)的连接轴(3)，所述连接轴(3)的两端分别固定连接有设置在所述外壳体(2)前、后两侧的凸轮(4)；所述外壳体(2)的顶部固定连接有水箱(5)，所述水箱(5)的下侧分别固定连接有设置在所述外壳体(2)前、后两侧的水冷室(7)，所述水冷室(7)连通有插接至所述外壳体(2)内部的喷淋管(8)，所述喷淋管(8)远离水冷室(7)的一端活动连接有设置在所述外壳体(2)内部的雾化喷头(9)，所述水冷室(7)的内部可滑动地设置有活塞板(10)，所述活塞板(10)的下侧固定连接有穿出所述水冷室(7)外的活动杆(11)，所述活动杆(11)上套接有复位弹簧(12)，所述复位弹簧(12)的顶端固定连接在所述水冷室(7)底部外壁上，所述活动杆(11)的底端固定连接有用于抵触所述凸轮(4)的活动板(13)，所述水冷室(7)与所述水箱(5)之间设置有补水机构。2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，其特征在于：所述水箱(5)的上表面开设有补水口(6)。3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，其特征在于：所述活塞板(10)的外侧壁设置有密封圈。4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，其特征在于：所述补水机构包括分别连通所述水冷室(7)与所述水箱(5)的若干补水孔(14)，所述补水孔(14)的下端开口封堵有位于所述水冷室(7)内的密封板(15)，所述密封板(15)的顶部固定连接有延伸至所述水箱(5)内部的连接杆(16)，所述连接杆(16)的外侧套设有位于所述水箱(5)内的连接弹簧(17)，所述连接杆(16)的顶端固定连接有限位板(18)。5.根据权利要求4所述的一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，其特征在于：所述密封板(15)的上表面设置有密封垫。
技术总结
本实用新型涉及砂轮技术领域，公开了一种硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，包括砂轮主体，砂轮主体的内部固定连接有穿过外壳体的连接轴，连接轴的两端分别固定连接有凸轮，外壳体的顶部固定连接有水箱，水箱的下侧分别固定连接有水冷室，水冷室连通有插接至外壳体内部的喷淋管，活动杆的底端固定连接有用于抵触凸轮的活动板，水冷室与水箱之间设置有补水机构。该硅晶圆加工用树脂结合剂精磨砂轮，结构新颖，构思巧妙，能够在砂轮对硅晶圆进行研磨加工的过程中实现对砂轮的水冷散热，从而解决了砂轮因工作过程中长时间处于高温状态而导致的使用寿命受到影响的问题。致的使用寿命受到影响的问题。致的使用寿命受到影响的问题。
技术研发人员：李兴勇 吴建立 高巍巍
受保护的技术使用者：泰科材料技术（广州）有限公司
技术研发日：2022.07.29
技术公布日：2022/12/16