一种装载机构及加工装置的制作方法

文档序号:35995134发布日期:2023-11-16 06:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种装载机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的装载机构,其特征在于,每一所述第一定位柱(12)包括第一导向段(121)和位于所述第一导向段(121)靠近所述承载座(11)的一端的第一定位段(123),所述第一导向段(121)的直径由远离所述第一定位段(123)的一端至靠近所述第一定位段(123)的一端逐渐增大,所述第一定位段(123)的直径与所述第一导向段(121)靠近所述第一定位段(123)的一端的直径相等;

3.根据权利要求1所述的装载机构,其特征在于,每一所述第二定位柱(13)包括第二导向段(131)和位于所述第二导向段(131)靠近所述承载座(11)的一端的第二定位段(133),所述第二导向段(131)的直径由远离所述第二定位段(133)的一端至靠近所述第二定位段(133)的一端逐渐增大,所述第二定位段(133)的直径与所述第二导向段(131)靠近所述第二定位段(133)的一端的直径相等;

4.根据权利要求1所述的装载机构,其特征在于,所述承载组件(10)还包括设置在所述承载面(a)上的多个限位柱(14),当所述承载座(11)与所述承载头(200)对接时,各个所述限位柱(14)用于与所述承载头(200)抵接,以限定所述承载头(200)与所述承载面(a)之间的距离。

5.根据权利要求4所述的装载机构,其特征在于,所述承载面(a)上开设有多个第二安装孔,各个所述限位柱(14)一一对应地穿设于各个所述第二安装孔,每一所述限位柱(14)的部分由对应的所述第二安装孔穿出所述承载面(a),且沿对应的所述第二安装孔的轴向可移动;

6.根据权利要求1所述的装载机构,其特征在于,所述承载面(a)包括吸附区域(a1)和围绕所述吸附区域(a1)布设的定位区域(a2),所述吸附区域(a1)可受控地吸附位于所述限定空间(b)的所述工件或者将所述工件吹出所述限定空间(b)。

7.根据权利要求6所述的装载机构,其特征在于,所述承载组件(10)包括设置在所述吸附区域(a1)的多个第一喷头(15),各个所述第一喷头(15)可选择性地与抽真空设备、供气设备和用于提供清洗液的供液设备中的任一个连通;

8.根据权利要求7所述的装载机构,其特征在于,所述承载组件(10)还包括用于检测气压的压力传感器,所述压力传感器布置在连接所述第一喷头(15)与所述抽真空设备的管路上。

9.根据权利要求6所述的装载机构,其特征在于,所述承载组件(10)还包括设置在所述定位区域(a2)的多个第二喷头(16),各个所述第二喷头(16)与用于提供清洗液的供液设备连通,以向所述承载头(200)喷射清洗液。

10.根据权利要求1所述的装载机构,其特征在于,所述第一定位柱(12)设置为三个或三个以上;和/或

11.一种加工装置,其特征在于,包括承载头(200)和如权利要求1至10任一项所述的装载机构(100),所述承载头(200)在所述装载机构(100)与加工工位之间运动,当所述承载头(200)位于所述加工工位时对拾取的工件进行加工,当所述承载头(200)位于所述装载机构(100)处时与所述承载座(11)对接,以将所述承载头(200)上的工件释放至所述限定空间(b)或者所述承载头(200)拾取所述限定空间(b)的工件。


技术总结
本发明涉及一种装载机构及加工装置。该装载机构包括:承载组件,包括承载座、多个第一定位柱和多个第二定位柱,承载座用于与承载头对接的一侧具有承载面,各个第一定位柱和各个第二定位柱均设置在承载面上,各个第一定位柱共同围合形成一用于容纳工件的限定空间,各个第二定位柱围绕限定空间布设,且各个第一定位柱位于各个第二定位柱与限定空间之间,各个第二定位柱用于对与承载座对接的承载头进行定位,各个第一定位柱用于对进入或退出限定空间的工件进行定位;及驱动组件,与承载座驱动连接,以驱动承载座与承载头对接或分离。

技术研发人员:沈凌寒
受保护的技术使用者:吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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