1.一种沉积设备,其特征在于,所述沉积设备包括:
2.根据权利要求1所述的沉积设备,其特征在于,所述第一外力施加部包括支撑所述第一部分的外表面的第一支撑件和使所述第一支撑件在所述第二方向上移动的第一驱动部,
3.根据权利要求1或2所述的沉积设备,其特征在于,所述第一外力施加部包括在所述第一方向上彼此间隔开的多个第一子外力施加部,
4.根据权利要求3所述的沉积设备,其特征在于,所述多个第一子外力施加部中的每个在所述第二方向上是独立地可移动的,
5.根据权利要求3所述的沉积设备,其特征在于,所述多个第二子外力施加部在所述第三部分的与所述第一部分相邻的一侧和所述第三部分的与所述第二部分相邻的相对侧处彼此间隔开,并且
6.根据权利要求1或2所述的沉积设备,其特征在于,所述沉积设备还包括其中限定有内部空间的腔室,所述掩模、所述掩模框架、所述平台以及所述第一外力施加部至所述第三外力施加部设置在所述内部空间中,所述第一部分设置为面对所述腔室的底表面,并且
7.一种沉积设备,其特征在于,所述沉积设备包括:
8.根据权利要求7所述的沉积设备,其特征在于,所述第一外力施加部包括在所述第一部分上在所述第一方向上彼此间隔开的多个第一子外力施加部,并且
9.根据权利要求7所述的沉积设备,其特征在于,所述沉积设备还包括:
10.根据权利要求9所述的沉积设备,其特征在于,所述第二外力施加部包括多个第二子外力施加部,并且所述第三外力施加部包括多个第三子外力施加部,并且