使用内啮合齿轮50，则多个凹槽70(参照图14)连接，从而形成一个连续的环状凹槽71。在相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向(图15纸面的上下方向)上，环状凹槽71的宽度尺寸H71与托架60的啮合齿62的厚度值大致相等。在本实施方式中，示出了凹槽70从齿面52的齿尖侧成长的例子，但根据托架60的啮合齿62的形状与内啮合齿轮50的齿面52的形状之间的相互关系，凹槽70也可能从齿面52的侧面一侧的部分或齿面52的齿根发展。
[0079]参照图16，再继续使用内啮合齿轮50，于是环状凹槽71发展，从而形成环状凹槽72。环状凹槽72在相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向上具有上下弯曲的形状。环状凹槽72的宽度尺寸H72大于环状凹槽71的宽度尺寸H71 (参照图15)。当达到该状态时，内啮合齿轮50的齿面52已经形成了劣化的状态，内啮合齿轮50的齿面52难以适当地与托架60的啮合齿62啮合。对于在图12?图16中说明的内容，太阳齿轮40也同样如此。在太阳齿轮40的齿面42上形成有凹槽73 (参照图17)。
[0080]如图16所示，托架60在相对于与太阳齿轮40的旋转轴垂直的平面倾斜的状态下，还存在与太阳齿轮40和内啮合齿轮50啮合的情况。在托架60倾斜的状态下，在玻璃基板IG上进行研磨时，上研磨垫21的上研磨面22和下研磨垫31的下研磨面32因与倾斜的托架60接触而损伤。使用损伤的上研磨垫21和下研磨垫31进行研磨时，微细的坑或附着物作为缺陷形成在玻璃基板IG的两主表面上。当使用玻璃基板IG作为磁盘I时，该缺陷会诱发引脚/写入错误以及磁头碰撞等。
[0081](高度变更步骤S184)
[0082]在本实施方式的第2抛光步骤S18中，为了防止托架60倾斜，执行了高度变更步骤S184(参照图4)。高度变更步骤S184最好在执行了一定次数的第I滑动步骤S182后，在第I滑动步骤S182中的总研磨时间达到规定的时间(例如50小时)之后，或者在经过一定的期间(I个月等)之后执行。高度变更步骤S184在后述的第2滑动步骤S186之前执行。
[0083]参照图17，在本实施方式的高度变更步骤S184中，在太阳齿轮40与支承太阳齿轮40的部件48之间设有间隔部件46，在内啮合齿轮50与支承内啮合齿轮50的部件58之间设有间隔部件56。太阳齿轮40和内啮合齿轮50处于所谓的提高加固状态。图17中的虚线示出太阳齿轮40和内啮合齿轮50在被提高加固前被配置的位置。
[0084]在太阳齿轮40的齿尖43上形成的凹槽73的位置在相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向上向上方更变。在内啮合齿轮50的齿尖53上形成的凹槽70的位置也在相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向上向上方更变。
[0085]描绘相对于太阳齿轮40的轴向(旋转轴)垂直的虚拟平面90，将从虚拟平面90至轴向上的任意位置的尺寸设为高度。提高加固前具有高度位置H40的太阳齿轮40在提高加固后具有高度位置H41。提高加固前具有高度位置H50的内啮合齿轮50在提高加固后具有高度位置H51。
[0086]S卩，在将相对于太阳齿轮40的轴向平行的方向称作高度方向的情况下，将太阳齿轮40的齿面42中的第I滑动步骤S182中托架60已啮合的部分作为第I位置A，将太阳齿轮40的齿面42中的第2滑动步骤S186中托架60将啮合的部分作为第2位置B，则太阳齿轮40的齿面42内的第2位置B的高度方向的位置是与太阳齿轮40的齿面42内的第I位置A的高度方向的位置不同的位置。太阳齿轮40的齿面42内的第2位置B的高度方向上的位置经过高度变更步骤S184而从太阳齿轮40的齿面42内的第I位置A的高度方向上的位置被变更。
[0087]对于内啮合齿轮50同样地，将内啮合齿轮50的齿面52中的第I滑动步骤S182中托架60已啮合的部分作为第3位置C，将内啮合齿轮50的齿面52中的第2滑动步骤S186中托架60将啮合的部分作为第4位置D，则内啮合齿轮50的齿面52内的第4位置D的高度方向的位置是与内啮合齿轮50的齿面52内的第3位置C的高度方向的位置不同的位置。内啮合齿轮50的齿面52内的第4位置D的高度方向上的位置经过高度变更步骤S184而从内啮合齿轮50的齿面52内的第3位置C的高度方向上的位置被变更。
[0088]优选:在太阳齿轮40的下方设置间隔部件46的时机与在内啮合齿轮50的下方设置间隔部件56的时机一致。这些时机最好根据形成于太阳齿轮40的凹槽73的发展情况和形成于内啮合齿轮50的凹槽70的发展情况，适当地进行优化。
[0089]关于太阳齿轮40，优选的是最好在形成于太阳齿轮40的凹槽73的深度D73相对于托架60的外径以百分比计为0.14以上(例如深度D73为0.6mm以上)的时刻将间隔部件46设在太阳齿轮40的下方。这里所说的凹槽73的深度D73是从齿面42的齿尖43起至凹槽73中的位于太阳齿轮40的径向最内侧的部分为止的距离。
[0090]关于内啮合齿轮50也同样地，优选的是最好在当形成于内啮合齿轮50的凹槽70的深度D70相对于托架60的外径以百分比计为0.14以上(例如深度D70为0.6mm以上)的时刻将间隔部件56设在内啮合齿轮50的下方。这里所说的凹槽70的深度D70是从齿面52的齿尖53起至凹槽70中的位于内啮合齿轮50的径向最外侧的部分为止的距离。
[0091]参照图18，在高度变更步骤S184结束之后，执行第2设置步骤S185。在第2设置步骤S185中，其它玻璃基板IH固定在作为一个托架的托架60上。在此，可以使用处于未使用状态的其它托架作为一个托架以代替使用托架60。这是因为反复执行第I设置步骤S181之后，托架60的啮合齿62也可能劣化。
[0092]这里所说的其它玻璃基板IH是指未实施第I滑动步骤S182的玻璃基板，与实施了第I滑动步骤S182的玻璃基板1G(参照图9)不同。这里所说的未使用状态的其它托架是指双面研磨装置100中的一次研磨加工也没使用过的即新品状态的托架。
[0093]保持了其它玻璃基板IH的托架60配置在提高加固后的太阳齿轮40与提高加固后的内啮合齿轮50之间。不限于此结构，还可以在已配置在提高加固后的太阳齿轮40与提高加固后的内啮合齿轮50之间的托架60上，配置多个其它玻璃基板1H。
[0094]太阳齿轮40的齿面42(齿尖43)中的后述第2滑动步骤S186中托架60的啮合齿62所啮合的部分(第2位置B)具有平坦的面形状，并沿着相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向延伸。同样，太阳齿轮50的齿面52 (齿尖53)中的后述第2滑动步骤S186中托架60的啮合齿62所啮合的部分(第4位置B)具有平坦的面形状，并沿着相对于太阳齿轮40的旋转轴平行的方向延伸。
[0095]在第2滑动步骤S182 (参照图4)中，在使托架60的啮合齿62与太阳齿轮40的齿面42和内啮合齿轮50的齿面52这两者啮合的状态下，玻璃基板IH (参照图18)被夹入上研磨垫21与下研磨垫31之间。使用太阳齿轮40和内啮合齿轮50，使托架60旋转。玻璃基板IH的两主表面相对于上研磨垫21的上研磨面22和下研磨垫31的下研磨面32滑动接触。玻璃基板IH的两主表面被研磨。
[0096]在取出步骤S187(参照图4)中，从双面研磨装置100上取出玻璃基板1H。在第2滑动步骤S186结束后，玻璃基板IH可能保持在托架60上，有可能粘贴在上研磨垫21的上研磨面22上，也有可能粘贴在下研磨垫31的下研磨面32上。从双面研磨装置100上拆卸玻璃基板IH的情况，包括从托架60、上研磨垫21或下研磨垫31上拆卸玻璃基板1H。
[0097]在将执行第2抛光步骤S18 (参照图4)的玻璃基板IH还残留在他处的情况下，换言之，在执行了玻璃熔融步骤SlO至化学强化步骤S17的玻璃基板IH还残留在他处的情况下，最好对这些玻璃基板IH反复执行第2设置步骤S185、第2滑动步骤S186以及取出步骤S187o
[0098]在太阳齿轮40和内啮合齿轮50的各齿面42、52中的第2滑动步骤S186中所使用的部分(位置A、C)上，完全或者几乎没有形成凹槽，因此，当托架60旋转时能够有效抑制托架60倾斜。上研磨垫21的上研磨面22和下研磨垫31的下研磨面32完全或几乎没有受损，也有效地抑制了微细的坑或附着物作为缺陷形成在玻璃基板IH的两主表面上。因此，本实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法以及制造装置制造出的信息记录介质用玻璃基板具有更尚的表面品质。
[0099][实施方式2]
[0100]参照图19，在高度变更步骤S184(参照图4)中，可以使太阳齿轮40和/或内啮合齿轮50相对于太阳齿轮40的轴向上下翻转以代替使用间隔部件。该上下翻转动作可以在使用间隔部件的基础上进一步进行。
[0101]根据该结构，在将相对于太阳齿轮40的轴向平行的方向称作高度方向的情况下，将太阳齿轮40的齿面42中的第I滑动步骤S182中托架60已啮合的部分作为第I位置A，将太阳齿轮40的齿面42中的第2滑动步骤S186中托架60将啮合的部分作为第2位置B，则太阳齿轮40的齿面42内的第2位置B的高度方向的位置是与太阳齿轮40的齿面42内的第I位置A的高度方向的位置不同的位置。太阳齿轮40的齿面42内的第2位置B的高度方向上的位置经过高度变更步骤S184而从太阳齿轮40的齿面42内的第I位置A的高度方向上的位置被变更。
[0102]对于内啮合齿轮50也同样地，将内啮合齿轮50的齿面52中的第I滑动步骤S182中托架60已啮合的部分作为第3位置C，将内啮合齿轮50的齿面52中的第2滑动步骤S186中托架60将啮合的部分作为第4位置D，则内啮合齿轮50的齿面52内的第4位置D的高度方向的位置是与内啮合齿轮50的齿面52内的第3位置C的高度方向的位置不同的位置。内啮合齿轮50的齿面52内的第4位置D的高度方向上的位置经过高度变更步骤S184而从内啮合齿轮50的齿面52内的第3位