成膜掩模的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，特别是涉及可在掩模片的整个面赋予均等的张力地固定于框架上的成膜掩模的制造方法。
【背景技术】
[0002]现有的成膜掩模的制造方法使用抗蚀剂掩模蚀刻金属制片，形成贯通的多个开口图案，然后在将金属制片拉伸的状态下在该金属制片的周缘部点焊框状的金属框架(例如，参照专利文献I)。
_3] 现有技术文献
[0004]专利f献
[0005]专利文献1:特开2009 - 074160号公报
【发明内容】
_6] 发明要解决的问题
[0007]但是，在这样的现有的成膜掩模的制造方法中，直接将金属制片在向四方伸展的状态下固定于框架，所以难以对金属制片的整个面赋予均等的张力。因此，有如下问题:根据张力对金属制片的附加方式，在金属制片中发生起皱、挠曲或者相邻的开口图案间的金属部分发生断裂，或者所形成的开口图案变形。
[0008]因此，本发明的目的在于，应对这样的问题，提供可在掩模片的整个面赋予均等的张力而固定于框架上的成膜掩模的制造方法。
[0009]用于解决问题的方案
[0010]为了达成上述目的，第I发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤:第I步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接上述掩模片的周缘部；第2步骤，将与上述掩模片的内含上述多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模片的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；以及第4步骤，将上述网从上述掩模片除去。
[0011]另外，第2发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤:第I步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上，以使树脂制膜与片状的磁性金属构件的一面紧密接触的结构的掩模用构件的上述膜侧为上述网侧，粘接上述膜的周缘部，上述磁性金属构件设有内含至少一个上述开口图案的大小的多个贯通孔；第2步骤，将与上述掩模用构件的内含上述多个贯通孔的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模用构件的上述磁性金属构件的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；第4步骤，将上述网从上述掩模用构件除去；以及第5步骤，向与上述磁性金属构件的上述贯通孔内的上述开口图案对应的上述膜的部分照射激光，形成上述开口图案。
_2]发明效果
[0013]根据本发明，通过合成纤维的网将掩模片或者掩模用构件在张紧的状态下固定于框架，所以能在掩模片或者掩模用构件的整个面赋予均等的张力。因此，不用担心掩模片或者掩模用构件发生起皱、挠曲，或者所形成的开口图案变形。故此，能提高开口图案的形成位置精度。
【附图说明】
[0014]图1是表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。
[0015]图2是表示作为上述掩模片的金属掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。
[0016]图3是表示作为上述掩模片的复合型掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。
[0017]图4是表示上述复合型掩模片的开口图案形成前的掩模用构件的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。
【具体实施方式】
[0018]以下基于附图详细说明本发明的实施方式。图1表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。该成膜掩模的制造方法制造将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架的结构的成膜掩模，进行如下步骤:第I步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接掩模片的周缘部；第2步骤，将与掩模片的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网的部分切除；第3步骤，在掩模片的周缘部从与网相反的一侧接合、固定框架；以及第4步骤，将网从掩模片除去。以下对各步骤详细说明。此外，在此，对掩模片如图2所示是使用抗蚀剂掩模蚀刻片状的例如殷钢等磁性金属材料形成多个开口图案5的金属掩模片4的情况进行说明。
[0019]在上述第I步骤中，首先，如图1(a)所示，分别用夹具2夹着包含例如聚酯等的四边形的合成纤维的网I的四边缘部，以预先决定的一定张力将网I向四方拉伸。此时，利用网I自身具有的伸缩性，在网I的整个面内赋予均等的张力。
[0020]接着，如图1(b)所示，使包含例如铝(Al)等的支撑框3的端面与网I的一个面(在同图中为下表面)对接，从网I的上方将粘接剂涂敷于支撑框3的端面，利用通过网I的网眼浸入的粘接剂将网I粘接到支撑框3的端面。然后，沿着支撑框3的外周缘部切断网I，形成以拉伸的状态固定于支撑框3的网I。
[0021]接着，如图1(c)所示，例如在网I的里面侧，在支撑框3的内侧的网I中央部配置金属掩模片4，沿着金属掩模片4的边缘部从网I的上方涂敷粘接剂，利用通过网I浸入的粘接材料将金属掩模片4的周缘部粘接到网I。由此，第I步骤结束。此外，也可以在网I的表侧粘接金属掩模片4。在该情况下，只要使粘接了网I的支撑框3上下翻转，与上述同样地进行即可。
[0022]在上述第2步骤中，如图1(d)所示，利用例如刀具等将内含形成于金属掩模片4的多个开口图案5 (参照图2)的大小的、沿着图2中由虚线包围地表示的成膜有效区域6的周缘部的网I的部分切取而除去。由此，对网I赋予的均匀的张力转移到金属掩模片4，金属掩模片4以均等的张力向其四方被拉伸。
[0023]在上述第3步骤中，首先，如图1(e)所示，在金属掩模片4的周缘部从与网I相反的一侧使例如殷钢或者殷钢合金等的框架7的端面对接。此时，也可以利用相机观察金属掩模片4的边缘部和框架7的边缘部，调整框架7相对于金属掩模片4的位置偏移。另外，一边利用2台相机观察位于在金属掩模片4的左右离开一定距离的位置的开口图案5，一边用省略图示的其它夹具夹着支撑框3的内侧、金属掩模片4的外侧的网I的部分使网I伸缩来调整张力的大小，以使得该开口图案5的间隔成为预先决定的距离。
[0024]接着，如图1(f)所示，向金属掩模片4的周缘部照射激光L，将金属掩模片4和框架7点焊。由此，金属掩模片4在整个面内被赋予均等的张力的状态下固定于框架7。在该情况下，由于将金属掩模片4和框架7点焊，因此与使用有机粘接剂的粘接不同，不可能有如下情况:由于成膜时的热，接合部的金属掩模片4缓慢地变形，或者由于排气的产生，所形成的膜被污染。
[0025]在上述第4步骤中，如图1(g)所示，用例如刀具等将焊接部的外侧的网I沿着金属掩模片4的外周缘切断，从金属掩模片4除去网I。或者，向网I和金属掩模片4的粘接部照射激光而烧断网1，或者对上述粘接部赋予适当的温度而使粘接剂软化，从金属