真空镀膜装置、真空双面镀膜装置及带材的位置调整方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜领域，具体地，涉及一种金属带材的真空镀膜装置。此外，本发明还涉及一种金属带材的真空双面镀膜装置和金属带材的位置调整方法。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是在真空室内经加热源离析出来的靶材打到被镀物体的表面上的过程。
[0003]常见的金属带材的真空镀膜通常包括:大气环境中的放卷机放出的金属带材穿过数个水平布置的真空室(例如各级密封气锁、各真空预备室、各真空蒸发室等)串连组成的真空室串，并把锌、锌合金、不锈钢等材料镀在金属带材上，金属带材镀膜完成后，收卷在大气环境中的收卷机上。由于各真空室沿水平方向布置，并且金属带材水平穿过各真空室，同时真空室串又非常长(一般在30?80米)，为了保证真空室串中的金属带材处于同一水平面，真空室中设置有多组包括托辊和夹辊的夹紧滚筒组，以便夹紧定位金属带材。由于真空室中的各个夹紧滚筒组之间不可能调整到完全平行，导致金属带材经过各个夹紧滚筒组时，被托辊和夹辊之间的夹紧力压缩变形，从而经过真空室串后，金属带材出现各种缺陷(例如马刀弯、荷叶边等等)，降低金属带材真空镀膜的良品率。
[0004]有鉴于此，需要提供一种防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷的真空镀膜装置。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是提供一种金属带材的真空镀膜装置，该真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。
[0006]本发明的另一个目的是提供一种金属带材的真空双面镀膜装置和一种真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，该真空双面镀膜装置能够进行双面镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷，该真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法能够调整金属带材的悬垂高度。
[0007]为了实现上述目的，本发明提供一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒和输入夹送辊组，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒和输出夹送辊组，所述金属带材由所述输入夹送辊组夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
[0008]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材的悬垂高度的悬垂高度检测装置，所述悬垂高度检测装置位于所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间。
[0009]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置，所述偏移检测装置设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒之间。
[0010]优选地，所述输出端辊筒能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材。
[0011]优选地，所述输出端辊筒包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端和所述第二辊轴端分别可枢转地安装，所述真空镀膜装置还包括用于顶推所述第二辊轴端绕所述第一辊轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构。
[0012]优选地，所述真空镀膜室包括依次连接的多个真空室，各个所述真空室的端部形成有端盖板，所述端盖板中设有供所述金属带材穿过的通过孔；其中，所述真空镀膜装置还包括位于所述端盖板的一侧且以所述金属带材为界的下密封座和上密封座，所述下密封座中安装有下固定托辊，所述上密封座中安装有能够相对于所述下固定托辊上下浮动的上浮动辊，所述上浮动辊与所述下固定托辊联动转动，所述上浮动辊与所述上密封座之间形成有上浮动真空密封间隙，所述下固定托辊与所述下密封座之间形成有下真空密封间隙；所述真空镀膜装置还包括用于密封所述上浮动真空密封间隙的上柔性刮板以及用于密封所述下真空密封间隙的下柔性刮板，所述上柔性刮板的一端安装在所述上密封座上，且另一端抵靠于所述上浮动辊的外周面上，所述下柔性刮板的一端安装在所述下密封座，且另一端抵靠于所述下固定托辊的外周面上。
[0013]优选地，所述下固定托辊的外周面与所述金属带材相切。
[0014]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于驱动所述上浮动辊上下浮动的驱动缸。
[0015]优选地，所述真空镀膜室包括用于进行镀膜的真空蒸发室以及设置于所述真空蒸发室的输入侧的并且用于预热活化所述金属带材的真空预热活化室。
[0016]优选地，所述真空镀膜室还包括分别设置于所述真空蒸发室的输入侧和输出侧的输入端转向室和输出端转向室，所述输入转向室中设置有与所述输入端棍筒平行的输入端转向棍筒，所述输出端转向室中设置有与所述输出端棍筒平行的输出端转向棍筒，所述金属带材经由所述输入端转向辊筒变向后进入所述真空蒸发室，并且经由所述输出端转向辊筒变向后输出，所述输入端转向棍筒与所述输出端转向棍筒之间的所述金属带材形成为悬链线状态。
[0017]优选地，所述真空镀膜室还包括设置于所述真空蒸发室的输出侧的真空冷却室，该真空冷却室中依次设置有多个冷却滚筒，所述金属带材部分地包覆于所述多个冷却滚筒的外周面。
[0018]优选地，在所述输出夹送辊组输出侧以及在所述输入夹送辊组输入侧，所述真空镀膜装置还包括用于储存所述金属带材的储带装置。
[0019]在上述金属带材的真空镀膜装置的技术方案基础之上，本发明还提供一种金属带材的真空双面镀膜装置，包括两组本发明的金属带材的真空镀膜装置，其中，所述两组真空镀膜装置包括依次连接的第一真空镀膜装置和第二真空镀膜装置，所述金属带材包括彼此相对的第一带面和第二带面，所述第一带面在所述第一真空镀膜装置中镀膜，所述第二带面在所述第二真空镀膜装置中镀膜。
[0020]优选地，所述真空双面镀膜装置还包括连接在所述第一真空镀膜装置的输出端与所述第二真空镀膜装置的输入端之间的真空连接室，所述第一真空镀膜装置的所述输出端辊筒和所述第二真空镀膜装置的所述输入端辊筒设置于真空连接室中。
[0021]此外，在上述金属带材的真空镀膜装置的技术方案基础之上，本发明还提供一种真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，包括通过调节所述输入夹送辊组的夹持阻尼和/或输送速度，并且/或者调节所述输出夹送辊组的夹持牵引力和/或输送速度，控制所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材的悬垂高度。
[0022]本发明的金属带材的真空镀膜装置通过使金属带材由输入夹送辊组夹持并向前输送，经由输入端辊筒、真空镀膜室和输出端辊筒，最终由输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，金属带材在真空镀膜室进行真空镀膜加工，与此同时，通过输入夹送辊组和输出夹送辊组对金属带材的夹持阻尼和夹持牵引力，使得输入端辊筒与输出端辊筒之间的金属带材至少部分地形成为悬链线状态，从而避免金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷，进而提高金属带材真空镀膜的良品率。此外，本发明的真空双面镀膜装置能够进行双面镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷，本发明的真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法能够通过调节输入夹送辊组的夹持阻尼和/或输送速度，并且/或者调节输出夹送辊组的夹持牵引力和/或输送速度，而调整真空镀膜室中的金属带材的悬垂高度。
[0023]本发明的其它特征和优点将在随后的【具