真空镀膜装置、真空双面镀膜装置及带材的位置调整方法_2

文档序号:9745535阅读:来源:国知局
体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0024]附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0025]图1是根据本发明的【具体实施方式】的金属带材的真空镀膜装置的结构示意图;
[0026]图2是图1中的悬垂高度检测装置的示意图;
[0027]图3是图1中的偏移检测装置的示意图;
[0028]图4是图1中的输出端辊筒的结构示意图;
[0029]图5是图4中的输出端辊筒的俯视图;
[0030]图6是图1中的真空室的局部示意图;
[0031]图7是图6中的真空室的剖视图;
[0032]图8是根据本发明的【具体实施方式】的包括真空预热活化室的真空镀膜装置的结构示意图;
[0033]图9是根据本发明的另一种实施方式的真空镀膜装置的结构示意图;
[0034]图10是根据本发明的【具体实施方式】的包括真空冷却室的真空镀膜装置的结构示意图;
[0035]图11是根据本发明的【具体实施方式】的储带装置的结构示意图;
[0036]图12是根据本发明的【具体实施方式】的金属带材的真空双面镀膜装置的结构示意图;
[0037]图13是根据本发明的另一种实施方式的金属带材的真空双面镀膜装置的结构示意图;
[0038]图14是图13中的输出端辊筒的结构示意图;
[0039]图15是图14中的输出端辊筒的俯视图。
[0040]附图标记说明
[0041]5a、上柔性刮板5b、下柔性刮板
[0042]6、偏移检测装置8a、输入端转向棍筒
[0043]8b、输出端转向棍筒11、输入端棍筒
[0044]12、输出端辊筒13、输入夹送辊组
[0045]14、输出夹送辊组17a、输入端转向室
[0046]17b、输出端转向室18、关节轴承
[0047]31、真空预备室32、真空隔离室
[0048]33、一级密封气锁室35、二级密封气锁室
[0049]37、真空蒸发室38、上浮动辊
[0050]39、下固定托辊41、电子枪
[0051]50、真空预热活化室51、真空冷却室
[0052]52、冷却滚筒80a、第一导轨
[0053]80b、第二导轨81、检测头
[0054]82、检测辊筒83b、第一识别装置
[0055]83b、第二识别装置100、金属带材
[0056]104、悬垂高度检测装置116、储带装置
[0057]300、第一顶推机构305、第一辊轴安装臂
[0058]306、第二辊轴安装臂404、第一铰座
[0059]406、第二顶推机构413、销轴
[0060]414、第二铰座412、真空连接室
[0061]501、下密封座502、上密封座
[0062]514、驱动缸518、传动机构
【具体实施方式】
[0063]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0064]本发明提供一种金属带材的真空镀膜装置,具体地参见图1-图11所示,该真空镀膜装置包括真空镀膜室,所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒11和输入夹送辊组13,所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒12和输出夹送辊组14,所述金属带材100由所述输入夹送辊组13夹持并向前输送,该金属带材100经由所述输入端辊筒11以及所述输出端辊筒12由所述输出夹送辊组14夹持并牵引向前,其中,所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
[0065]需要说明的是,输入端辊筒11、输出端辊筒12、输入夹送辊组13和输出夹送辊组14的具体结构形式可以根据需要设置,这些均属于本发明的技术构思范围之内。具体地,输入夹送辊组13和输出夹送辊组14均包括相对设置并且朝向相反的方向旋转的两个主动辊,金属带材100夹持于两个主动辊之间。此外,悬链线为常规的技术术语,因此不再赘述。
[0066]本发明的金属带材的真空镀膜装置通过使金属带材100由输入夹送辊组13夹持并向前输送,经由输入端辊筒11、真空镀膜室和输出端辊筒12,最终由输出夹送辊组14夹持并牵引向前,其中,金属带材100在真空镀膜室进行真空镀膜加工,与此同时,通过输入夹送辊组13和输出夹送辊组14对金属带材100的夹持阻尼和夹持牵引力,使得输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100至少部分地形成为悬链线状态,从而避免金属带材100在镀膜过程中产生变形缺陷,进而提高金属带材真空镀膜的良品率。
[0067]在本发明的真空镀膜装置中,优选地,所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材100的悬垂高度的悬垂高度检测装置104,具体地,所述悬垂高度检测装置104位于所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间,更具体地,悬垂高度检测装置104位于输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100的较低悬垂位置处,进一步具体地,如图2所示,所述悬垂高度检测装置104包括抵接于金属带材100的上下带面且可滑动地安装于第一导轨80a的检测头81和与所述检测头81配合的第一识别装置83a (例如电阻尺或者光栅尺),该第一识别装置83a位置可调节地安装于第一导轨80a,从而通过该悬垂高度检测装置104能够测得输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100悬垂高度的变化。
[0068]在本发明的真空镀膜装置中,同样优选地,所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材100在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置6,所述偏移检测装置6设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒11之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒12之间,具体地,如图3所示,所述偏移检测装置6包括弹性地沿金属带材100的宽度方向抵接于属带材100且可滑动地安装于第二导轨80b的检测辊筒82和与所述检测辊筒82配合的第二识别装置83b (例如电阻尺或者光栅尺),从而通过该偏移检测装置6能够测得金属带材100在其自身宽度方向的偏移。
[0069]在上述真空镀膜装置中,更优选地,如图4和图5所示,所述输出端辊筒12和所述输入端棍筒11均能够绕预定枢转中心枢转,以调正所述输入端棍筒11与所述输出端棍筒12之间的所述金属带材100,具体地,所述输出端辊筒12和所述输入端辊筒11均包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端,所述第一辊轴端通过关节轴承18可枢转地安装于第一棍轴安装臂305的一端,第一棍轴安装臂305的另一端固定于安装基础,所述第二棍轴端通过关节轴承18可枢转地安装于第二辊轴安装臂306的一端,第二辊轴安装臂306的另一端铰接安装于安装基础,所述真空镀膜装置还包括用于顶推第二辊轴安装臂306使得所述第二棍轴端绕所述第一棍轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构300,从而当偏移检测装置6检测到金属带材具有宽度方向的偏移时,通过驱动所述第一顶推机构300调正所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100。
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