一种降低硅料铸锭功耗的热场结构的制作方法

文档序号:12183643阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,包括炉体,其特征在于:所述炉体内吊装有隔热笼(1),所述隔热笼(1)顶部设有上保温板(11),所述隔热笼(1)底部设有下保温板(10),所述下保温板(10)竖直方向上设有石墨柱(9),所述石墨柱(9)底端穿过下保温板(10)后固定在炉体上,所述隔热笼(1)内由上至下的设有加热器(2)、坩埚(4)和石墨导热块(7),所述加热器(2)固接在上保温板(11)上,所述石墨导热块(7)设置在石墨柱(9)顶部,该石墨导热块(7)顶面设有底护板(5),所述坩埚(4)设置在底护板(5)上,所述石墨导热块(7)上部周缘固接有第一隔热条(6),所述第一隔热条(6)和其对应的隔热笼(1)侧壁间隙配合,所述石墨导热块(7)下部周缘设有第二隔热条(8)。

2.根据权利要求1所述的一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,其特征在于:所述石墨导热块(7)顶面设有凸台,所述第一隔热条(6)设置在凸台四周。

3.根据权利要求2所述的一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,其特征在于:所述第一隔热条(6)和凸台等高度设置。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,其特征在于:所述第一隔热条(6)和其对应的隔热笼(1)侧壁间的间隙为2-5mm。

5.根据权利要求1所述的一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,其特征在于:所述第二隔热条(8)外沿和底护板(5)外沿平齐。

6.根据权利要求1所述的一种降低硅料铸锭功耗的热场结构,其特征在于:沿底护板(5)顶面四周设有侧护板(3),所述侧护板(3)和底护板(5)构成容纳腔,所述坩埚(4)设置在容纳腔内。

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