单晶炉石英坩埚的安装装置的制作方法

本实用新型涉单晶炉内的坩埚技术改进，尤其是一种单晶炉石英坩埚的安装装置。

背景技术：

众所周知的：石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。尤其是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。然而现有的单晶炉中，石英坩埚均通过坩埚托盘固定安装在单晶炉内，石英坩埚的锅底位于坩埚托盘内，因此在加热的过程中，石英坩埚的锅底加热较慢；需要首先加热坩埚托盘，然后通过坩埚托盘将热量传递到石英坩埚；从而加热效率较低。同时由于石英坩埚在工作的过程中需要转动，因此需要保证石英坩埚的中心线与拖杆的中心线共线，避免转动过程中出现石英坩埚偏心转动。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种便于石英坩埚安装过程中定位，同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉内，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘底部设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述石英坩埚底部为锅底，底部以上为锅体；

所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔，且所述坩埚托盘拖腔具有的开口延伸到石英坩埚的锅体部位；所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔；

所述锅体的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘上设置有定位销轴；所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。

进一步的，所述通孔内设置有石墨加热棒。

进一步的，所述石英坩埚底部设置有对中凸台，所述坩埚托盘底部设置有与对中凸台匹配的对中凹槽。

进一步的，所述拖杆与单晶炉底部之间设置有拖杆套。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的单晶炉石英坩埚的安装装置由于在坩埚托盘上设置有定位销，同时在石英坩埚的锅体上设置有凹槽，因此在安装过程中通过定位销，能够便于石英坩埚的安装定位；同时坩埚托盘上设置有通孔，从而使得石英坩埚的底部部分直接暴露在加热环境能，能够实现对坩埚底部的直接加热，从而能够提高石英坩埚的加热效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例中单晶炉石英坩埚的安装装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中单晶炉石英坩埚的安装装置的坩埚托盘内安装石墨加热棒的结构示意图；

图中标示：1-单晶炉，2-保温罩，3-石墨加热器，4-石英坩埚，5-坩埚托盘，51-通孔，6-定位销，7-拖杆，8-拖杆套。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1所示，本实用新型所述的单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉1内，所述单晶炉1内腔的内壁上设置有保温罩2；所述单晶炉1的内腔内设置有石英坩埚4以及石墨加热器3；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘5；所述坩埚托盘5底部设置有拖杆7；所述拖杆7穿过单晶炉1的底部；所述石英坩埚4底部为锅底41，底部以上为锅体42；

所述坩埚托盘5具有与石英坩埚4匹配的拖腔，且所述坩埚托盘5拖腔具有的开口延伸到石英坩埚4的锅体42部位；所述坩埚托盘5上设置有连通拖腔的通孔51；

所述锅体42的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘5上设置有定位销轴6；所述定位销轴6穿过坩埚托盘5延伸到锅体42外表面的凹槽内。

在对石英坩埚的安装过程中：

将石英坩埚4放置到坩埚托盘5的拖腔内，然后通过转动石英坩埚4，使得坩埚托盘5上的定位销能够插入到石英坩埚4外表面的凹槽内，从而实现石英坩埚4在坩埚托盘5上的安装定位。

同时由于所述坩埚托盘5上设置有连通拖腔的通孔51；从而使得石英坩埚4的锅底部分直接暴露在单晶炉1内腔的加热环境中，从而实现对石英坩埚4的锅底41的直接加热，提高加热效率。

综上所述，本实用新型所述的单晶炉石英坩埚的安装装置由于在坩埚托盘上设置有定位销，同时在石英坩埚的锅体上设置有凹槽，因此在安装过程中通过定位销，能够便于石英坩埚的安装定位；同时坩埚托盘上设置有通孔，从而使得石英坩埚的底部部分直接暴露在加热环境能，能够实现对坩埚底部的直接加热，从而能够提高石英坩埚的加热效率。

为了便于对石英坩埚4的锅底41的加热，进一步的，所述通孔51内设置有石墨加热棒9。

为了便于石英坩埚4安装过程中的对中，避免石英坩埚转动过程中出现偏心；进一步的，所述石英坩埚4底部设置有对中凸台43，所述坩埚托盘5底部设置有与对中凸台43匹配的对中凹槽。

为了避免拖杆7在旋转过程中造成拖杆7与单晶炉1之间的磨损；进一步的，所述拖杆7与单晶炉1底部之间设置有拖杆套8。