单晶炉石英坩埚的安装装置的制作方法

文档序号:14423081阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种便于石英坩埚安装过程中定位,同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。该单晶炉石英坩埚的安装装置,设置在单晶炉内,所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩;所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器;石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘;所述坩埚托盘底部设置有拖杆;所述拖杆穿过单晶炉的底部;所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔;所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔;所述锅体的外表面设置有凹槽;所述坩埚托盘上设置有定位销轴;所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。采用该单晶炉石英坩埚的安装装置能够便于石英坩埚的安装定位,提高石英坩埚的加热效率。

技术研发人员:陈五奎;刘强;耿荣军
受保护的技术使用者:乐山新天源太阳能科技有限公司
文档号码:201721408252
技术研发日:2017.10.27
技术公布日:2018.05.11

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1