一种具有加料装置的坩埚盘机构及其操作方法与流程

文档序号:17327953发布日期:2019-04-05 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种具有加料装置的坩埚盘机构,包括有坩埚盘,所述坩埚盘包括有同心设置的容置盘及外盘,所述外盘上罩设有盘盖,所述容置盘上环绕设置有24个坩埚容置槽,所述坩埚容置槽中设有坩埚,所述外盘中部设有与外盘同心设置的驱动轴,所述驱动轴一端设置有驱动电机,盘盖在其中一个坩埚容置槽相对应位置开设有加料口,其特征在于:盘盖外壁靠近加料口设置有可对坩埚盘上暴露于加料口处的坩埚进行加料的加料装置,所述驱动电机处连接有脚踏开关,本发明的有益效果为:提升坩埚加料效率,减少员工作业动作,且员工作业更加方便。

技术研发人员:徐路辉
受保护的技术使用者:江西水晶光电有限公司
技术研发日:2018.12.24
技术公布日:2019.04.05
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1