一种直拉法单晶用真空吸盘的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种直拉法单晶用真空吸盘。

背景技术：

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉法制备单晶硅工艺中，为缩减生产周期并减少污染，需要将原料预装在石英坩埚内再吊入石墨坩埚。

而在石英坩埚吊装时，需要使用到真空吸盘进行吊装，传统吊装方式，是将紧固式卡扣与石英坩埚进行固定，容易出现受力不均匀或紧固扳手用力过大，导致石英坩埚破裂，容易造成部分隐裂无法发现导致漏硅事故，会带来经济损失和生产安全的隐患。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种直拉法单晶用真空吸盘，具备可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体，所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环，所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管，所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块，所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽。

优选的，所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接，且安装板顶部的两侧均设置有螺栓，且螺栓的底部与真空吸盘主体的顶部固定连接。

优选的，所述抽空管的表面设置有真空阀，且真空阀的右侧设置有流量调节阀，且流量调节阀的右侧固定连接有调节把手。

优选的，所述抽空管的顶部连通有管道接头，且管道接头的内腔设置有内螺纹。

优选的，所述抽空管与管道接头为一体式成型结构，所述吸盘下端定位块与密封圈安装槽为一体式成型结构。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种直拉法单晶用真空吸盘，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。

2、本实用新型通过设置安装板，对吊环与真空吸盘主体在使用时起到了固定效果好的作用，通过设置真空阀，对抽空管在使用时起到了可以调节气流流量的作用，通过设置密封圈安装槽，对人们在使用密封圈时起到了便于装配的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1、真空吸盘主体；2、吊环；3、抽空管；4、吸盘下端定位块；5、密封圈安装槽。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1，一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体1，真空吸盘主体1的顶部固定连接有吊环2，吊环2的底部与真空吸盘主体1顶部的连接处通过安装板固定连接，通过设置安装板，对吊环2与真空吸盘主体1在使用时起到了固定效果好的作用，且安装板顶部的两侧均设置有螺栓，且螺栓的底部与真空吸盘主体1的顶部固定连接，真空吸盘主体1顶部的右侧连通有抽空管3，抽空管3与管道接头为一体式成型结构，吸盘下端定位块4与密封圈安装槽5为一体式成型结构，抽空管3的顶部连通有管道接头，且管道接头的内腔设置有内螺纹，抽空管3的表面设置有真空阀，通过设置真空阀，对抽空管3在使用时起到了可以调节气流流量的作用，且真空阀的右侧设置有流量调节阀，且流量调节阀的右侧固定连接有调节把手，真空吸盘主体1两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块4，吸盘下端定位块4的内侧开设有密封圈安装槽5，通过设置密封圈安装槽5，对人们在使用密封圈时起到了便于装配的作用，通过设置真空吸盘主体1、吊环2、抽空管3、吸盘下端定位块4和密封圈安装槽5的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。

使用时，两个操作员抬起真空吸盘主体1，将装有原料的石英坩埚上沿着真空吸盘主体1上的吸盘下端定位块4和密封圈安装槽5进行对接密封，然后将外置抽空设备接口与抽空管3进行连接，开启外置抽空设备10-20分钟，待真空吸盘主体1内压力稳定后关闭抽空管3上的真空阀，关闭将外置抽空设备后移除抽空设备，然后将外置起吊设备穿入吊环2后平稳起吊，依靠大气压力可将石英坩埚吊起，从而达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点。

本申请文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，本申请文件中所有的部件，根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。