一种直拉法单晶用真空吸盘的制作方法

文档序号:21435124发布日期:2020-07-10 16:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种直拉法单晶用真空吸盘,包括真空吸盘主体(1),其特征在于:所述真空吸盘主体(1)的顶部固定连接有吊环(2),所述真空吸盘主体(1)顶部的右侧连通有抽空管(3),所述真空吸盘主体(1)两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块(4),所述吸盘下端定位块(4)的内侧开设有密封圈安装槽(5)。

2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述吊环(2)的底部与真空吸盘主体(1)顶部的连接处通过安装板固定连接,且安装板顶部的两侧均设置有螺栓,且螺栓的底部与真空吸盘主体(1)的顶部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)的表面设置有真空阀,且真空阀的右侧设置有流量调节阀,且流量调节阀的右侧固定连接有调节把手。

4.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)的顶部连通有管道接头,且管道接头的内腔设置有内螺纹。

5.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)与管道接头为一体式成型结构,所述吸盘下端定位块(4)与密封圈安装槽(5)为一体式成型结构。


技术总结
本实用新型公开了一种直拉法单晶用真空吸盘,包括真空吸盘主体,所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环,所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管,所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块,所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽,所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接。本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合,达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点,解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀,不会导致石英坩埚破裂,不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故,减少经济损失和提高生产安全。

技术研发人员:王琳;郭樱花;金鑫
受保护的技术使用者:陕西西京电子科技有限公司
技术研发日:2019.11.21
技术公布日:2020.07.10
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