一种生长Fe掺杂单层WS2二维晶体的方法与流程

文档序号:20949406发布日期:2020-06-02 20:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于,包括以下步骤:以fe2o3、nacl、wo3、s为原料,在多温区管式炉里面以si/sio2为基底,通过s单质对wo3及fe2o3同时硫化,共同参与成键,使fe取代部分ws2单层二维晶体中w的位置,通过化学气相沉积的方式制备得到fe掺杂单层ws2二维晶体。

2.根据权利要求1所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:将s单质和wo3、fe2o3、nacl的混合物分别用刚玉舟置于多温区管式炉的上游和下游,进行加热硫化反应。

3.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述多温区管式炉的上游温度为150-210℃。

4.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述多温区管式炉的下游温度为900-980℃。

5.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述多温区管式炉中通入氩气,所述的氩气的流量为20-50sccm。

6.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述多温区管式炉管内压强为50-200pa。

7.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述硫化反应的升温时间为30-50min,反应时间为25-50min。

8.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述方法还包括硫化反应前对所用样品沉积基底si/sio2用丙酮进行超声清洗,后用乙醇清洗,最后用n2吹干。

9.根据权利要求2所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述方法还包括在硫化反应之前,进行清洗多温区管式炉及刚玉舟,并将装有反应源的刚玉舟放置于多温区管式炉的上下游。

10.根据权利要求9所述的一种生长fe掺杂单层ws2二维晶体的方法,其特征在于:所述清洗多温区管式炉及刚玉舟的步骤中,使用氩气进行清洗。


技术总结
本发明涉及一种生长Fe掺杂单层WS2二维晶体的方法,属于无机半导体纳米材料制备的技术领域,其包括以下步骤:以Fe2O3、NaCl、WO3、S为原料,在多温区管式炉里面以Si/SiO2为基底,通过S单质对WO3及Fe2O3同时硫化,共同参与成键,使Fe取代部分WS2单层二维晶体中W的位置,通过化学气相沉积的方式制备得到Fe掺杂单层WS2二维晶体。本发明所述的方法步骤简单、操作方便,合成速度快且成本低,制备得到的Fe掺杂单层WS2二维晶体结晶性好,化学及热力学性能稳定。

技术研发人员:聂安民;康梦克;向健勇;柳忠元;田永君
受保护的技术使用者:燕山大学
技术研发日:2020.02.17
技术公布日:2020.06.02
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